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文档简介
电子衍射结构分析第1页,课件共23页,创作于2023年2月[011]
∥[012]
;[111]
∥[001]
In740合金晶内魏氏组织
相的TEM形貌及其电子衍射图第2页,课件共23页,创作于2023年2月主要内容透射电镜的基本结构和成像原理主要部件的结构和工作原理电子衍射概述第3页,课件共23页,创作于2023年2月1透射电镜的基本结构和成像原理第4页,课件共23页,创作于2023年2月第5页,课件共23页,创作于2023年2月第6页,课件共23页,创作于2023年2月电子光学系统电源与控制系统真空系统透射电子显微镜的构造第7页,课件共23页,创作于2023年2月电子光学系统照明系统成像系统观察记录系统电子枪聚光镜物镜中间镜投影镜第8页,课件共23页,创作于2023年2月透射电镜的构造原理和光路图1电子枪2阳极3聚光镜光阑4聚光镜5样品6物镜物镜光阑选区光阑中间镜投影镜荧光屏或底片照明系统成像系统第9页,课件共23页,创作于2023年2月电子光学系统中各部件的作用(1)电子枪照明系统聚光镜产生束斑直径几十微米的高速电子调节照明强度、孔径角和束斑大小第10页,课件共23页,创作于2023年2月电子光学系统中各部件的作用(2)成像系统物镜中间镜投影镜形成第一副高分辨电子显维图象,透射电镜的分辨率主要取决于物镜控制电镜的总放大倍数;控制成像或衍射操作把中间镜成像进一步放大或缩小,达到照相要求第11页,课件共23页,创作于2023年2月透射电镜成像与衍射操作的原理(1)中间镜的物平面与物镜的焦平面重合中间镜的物平面与物镜的像平面重合成像
衍射第12页,课件共23页,创作于2023年2月透射电镜成像与衍射操作的原理(2)第13页,课件共23页,创作于2023年2月2主要部件的结构和工作原理样品平移与倾斜装置(样品台)消像散器光阑第14页,课件共23页,创作于2023年2月1)样品平移与倾斜装置(样品台)样品台的作用:承载样品;使样品在物镜极靴孔内平移、倾斜、旋转第15页,课件共23页,创作于2023年2月2)消像散器把固有的椭圆形磁场校正成接近旋转对称的磁场第16页,课件共23页,创作于2023年2月3)光阑光阑
聚光镜光阑物镜光阑选区光阑限制照明孔径角衬度光阑,提高成像衬度视场光阑,特定视场成像或衍射分析用第17页,课件共23页,创作于2023年2月3
电子衍射概述电子衍射的特点(与X—射线衍射对比)单晶体、多晶体及非晶体的电子衍射花样特征第18页,课件共23页,创作于2023年2月3.1电子衍射的特点(与X—射线衍射对比)1)电子波的波长比X—射线短的多,在同样满足布拉格定律时,它的衍射角θ非常小,约为10-2rad,而X射线衍射时,最大角可接近π/2.
原因:
根据布拉格定律:sinθ=λ/2d≤1
常见晶体的晶面间距为1—0.1nm范围,所以用于衍射的X射线波长在0.05—0.25nm范围,θ接近π/2.
通常透射电镜的加速电压为100—200kV,即电子波的波长在10-2—10-3nm数量级,θ约为10-2rad.第19页,课件共23页,创作于2023年2月2)电子衍射操作时采用薄膜样品,薄膜样品的倒易阵点会沿样品的厚度方向延伸成杆状,于是,增加了倒易阵点和厄瓦尔德球相交的机会,结果使略微偏离布拉格条件的电子束也能发生衍射.第20页,课件共23页,创作于2023年2月3)由于电子波的波长短,采用厄瓦尔德图解时,反射球的半径很大,在衍射角θ较小的范围内,反射球面可以近似看成一个平面.可以认为,电子衍射产生的衍射斑点大致分布在一个二维倒易截面内.这个结果使晶体产生的衍射花样能比较直观地反映各晶面的位向,便于实际结构分析.第21页,课件共23页,创作于2023年2月4)原子对电子的散射能力远高于它对X—射线的散射能力(约高出4个数量级),故电子衍射束的强度较大,摄取衍射花样时曝光时间仅需数秒钟.第22页,课件共23页,创作于2023年2月3.2单晶体
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