2023势银光刻胶产业发展蓝皮书

光刻胶(photoresist，PR)又称光致抗计2023年我国显示光刻胶市场规模将达106.6亿元同比增长10.29%2022年10月美国计市场规模达到42.02亿元。势银(TrendBank)为中国领先的产业研究与咨询机构，持续跟踪显示与半导体供应链势银(TrendBank) 1日录 2 51u光刻胶简介 51.2光刻胶的分类及应用6 10 10 112.1.2ITO电极应用 132.1.3TFT制备应用 13 142.1.5OLED应用 14 1522TFT正性光刻胶16 17 182.2.4PS光刻胶 192.2.5OC光刻胶 20 212.3.1显示用光刻胶大陆企业212.3.2案例研究阜阳欣弈华"24L企业背景24M技术分析25M产品布局28IV.供应链分析29客户分析29VI.行业地位分析2.4半导体光刻胶应用 312.5半导体光刻胶市场 362.5.1G/线光刻胶 372.5.2krF光刻胶 392.5.3ArF光刻胶 402.5.4EUV光刻胶 41 42 443.1国家政策443.2地方政策"48 56 56 56 574.2光刻胶企业投融资 594.2.1光刻胶企业融资分析59 61 64 64 67 68 69企业背景M核心团队情况技术分析72产品布局73产业链分析77M行业地位分析78 80 81 81 82 83附录 86第一章概述篇光刻胶(photoresist简称PR)又称光致抗蚀剂，是一种对光敏感的有机混合物，是电50%-90%光敏剂1%-6%树脂10%-40%添加剂(单体、助剂)来源：势银(TrendBank)1.2光刻胶的分类及应用b.一种光分解反应(248nm正性光刻胶)c.一种光聚合反应(248nm负性光刻胶)表1.2光刻胶的分类引发树脂(含不饱和键)的聚合300-450nm深紫外光刻胶248/193nm极紫外光刻胶13.5nmX射线光刻胶X射线来源：势银(TrendBank)整理PCB显示来源：势银(TrendBank)、容大感光2022年半年度报告OLED显示中光刻胶的应用。LCD显示推出a-siTFT技术,在a-si的基础上又诞生了LTPS、第二章产业篇(organicLight-EmittingDiode,OTFT正性光刻胶TFT微细加工来源：势银(TrendBank)分TFT正性光DNQ酚醛树脂Hg365nm/436nma-si:4-5LTPS:8-9胶系为主313nm/365nm/405nm3胶系为主313nm/365nm/405nm系为主313nm/365nm/405nmOC光刻胶Hg313nm/365nm/405nm1-2Hg365nm/436nm4在显示面板领域,LCD的基本构造如图2.1所示。彩色滤光片(colorFilterCF)是LCD包括红(R)、绿(G)、蓝(B)三种颜色、保护层(overcoat，简称。/C)及ITO导电整体需求量接近3%。面板生产工艺不同造成LCD和。LED用光刻胶产品有差异化,LTPS-LCD/OLED用TFT正胶需高感光度、高分辨率；非晶硅LCD用TFT正胶需高感光度、图2.4中国。LED/LCD光刻胶市场需求量占比100%50%20192020202120222023EOLED占比LCD占比来源：势银(TrendBank)2.2显示用光刻胶市场跌2022年中国显示用光刻胶市场规模共96.3亿元。势银(TrendBank)根据需求端测算,120100图2.52016-2023E中国大陆面板光刻胶市场规模(亿元)20162017201820192020202120222023E显示面板光刻胶(亿元)同比增长40.00%30.00%20.00%10.00%0.00%-10.00%来源：势银(TrendBank)TFT正性光刻胶黑色光刻胶彩色光刻胶PS光刻胶。C光刻胶来源：势银(TrendBank)2.2.1TFT正性光刻胶中国TFT正性光刻胶的市场规模为16.52亿元势银(TrendBank)根据需求端测算，受国2550图2.72016-2023E中国大陆TFT正性光刻胶市场规模(亿元)20162017201820192020202120222023E来源：势银(TrendBank)28.20%。图2.82016-2023E中国大陆TFT正性光刻胶市场需求(吨)25000200001500010000500020162017201820192020202120222023E来源：势银(TrendBank)2.2.2黑色光刻胶6000500040003000600050004000300020001000中国黑色光刻胶的市场规模为8.52亿元势银(TrendBank)根据需求端测算，86420图2.92016-2023E中国大陆黑色光刻胶市场规模(亿元)20162017201820192020202120222023E来源：势银(TrendBank)达到5018吨。2022年黑色光刻胶中国国内供应量约1000吨本土化率目前19.53%。图2.102016-2023E中国大陆黑色光刻胶市场需求量(吨)20162017201820192020202120222023E来源：势银(TrendBank)2.2.3彩色光刻胶2022年中国彩色光刻胶市场需求量为15518吨，市场规模41.63亿。势银(TrendBank)5050企业占比80%以上,本土化率仅12.37%。图2.112016-2023E中国大陆彩色光刻胶市场规模(亿元)20162017201820192020202120222023E来源：势银(TrendBank)图2.122016-2023E中国大陆彩色光刻胶市场需求量(吨)200001500010000500020162017201820192020202120222023E来源：势银(TrendBank)2.2.4PS光刻胶2022年中国PS光刻胶市场需求量为5962吨，市场规模17.85亿。2023年预计PS光25570006000500040003000200010002557000600050004000300020001000图2.132016-2023E中国大陆PS光刻胶市场规模(亿元)20172018201920202021202220162023E2017201820192020202120222016来源：势银(TrendBank)图2.13-22016-2023E中国大陆PS光刻胶需求量(吨)20172016201920182021202220202023E2017201620192018202120222020来源：势银(TrendBank)2.2.50C光刻胶86428642图2.142016-2023E中国大陆。C光刻胶市场规模(亿元)020162017201820192020202120222023E来源：势银(TrendBank)图2.152016-2023E中国大陆。C光刻胶需求量(吨)20001500100050020162017201820192020202120222023E来源：势银(TrendBank)企业TFT正胶PSPIPS胶oc胶上海彤程(北旭)来源：势银(TrenkBank)2022-2023年，势银(TrendBank)预计显示用光刻胶本土化率将有大的提升，份额提2.3.2案例研究──阜阳欣弈华生态建设。2022年8月，阜阳欣奕华完成5亿元人35.80%219.46%37.38%44.92%53.81%中金佳泰叁期(深圳)私募股权投资基金合伙企业3.81%2.1核心团队总经理兼CEO黄常刚2.3专利布局2022-04-29限公司2022-03-15限公司2022-11-25限公司2021-05-042020-04-14限公司2021-12-07限公司2019-12-13限公司来源：势银(TrendBank)整理(一)显示光刻胶(二)半导体光刻胶(三)特种光刻胶(四)OLED材料图2.172022年中国彩色光刻胶国产化份额欣奕华企业XXX其他来源：势银(TrendBank)图2.182022年中国黑色光刻胶国产化份额欣奕华企业XXX来源：势银(TrendBank)2.4半导体光刻胶应用加敏感，要求更高。随着集成电路精密度的发展2015年及2016年16nm、10nm制程开90nm以下制程试剂要求颗粒数为。。SEMI等级GradeC7Grade2C8Grade3C12Grade4Grade5金属杂质/(ug/L)=100=10=1=0.1=0.01控制粒径/um=1.0=0.5≤0.5≤0.2particle/(ea/mL)=25=25=5--um适用于>适用于适用于适用于适用于<1.2μmlc0.8-1.2μ0.2-0.6μ0.09-0.2μ0.09制造mlc制造mlc制造mlc制造mlc制造来源:SEMIresolutioncontrastsensitivity光刻胶上产生一个良好的图形所需一定波长光的最小能量值(或更短的深紫外光(DUV)、极深紫外光(EUV)等尤为重要。粘滞性/黏度viscosity粘附性指光刻胶adherence形变形。anti-etchingsurfacetensionstorageandtransmission能量(光和热)可以激活光刻胶。光刻胶应当存储于密闭、低温、比重specificGravity来源：汶颢股份，势银(TrenkBank)整理节点及用途身(300-450nm)3um以上集化合物(300-450nm)2m以上集物I线(365nm)6英寸晶圆-0.5μm以上6&8英寸晶圆-0.35m~0.5um集成电路8英寸晶圆248nm光刻胶-0.25m~0.13um集193nm光刻胶物ArF(193nm干ArF(193nm浸没法)-130~65nm-45nm,32nm(EUV,13.5nm)12英寸晶圆-32nm,22nm路丙烯酸酯类:环氧树脂;乙烯基醚发剂，阳离子光紫外光来源：势银(TrenkBank)2.5半导体光刻胶市场2016-2022年中国大陆半导体光刻胶市场规模年复合增速18.86%,2022年半导体光刻胶市场规模市场规模为39.18亿元，预计2023年半导体光刻胶市场规模42.02亿元。占比krF光刻胶,i线g线和紫外负胶。图2.202016-2023E中国大陆半导体光刻胶市场规模(亿元)20162017201820192020202120222023E市场规模(亿元)同比(%)40.00%30.00%20.00%10.00%0.00%来源：势银(TrenkBank)ArF光刻胶krF光刻胶i线光刻胶线光刻胶紫外负胶来源：势银(TrenkBank)2.5.1G/线光刻胶800700600500800700600500400300200100图2.222016-2023E中国大陆G线光刻胶市场需求量(吨)50040030020010020162017201820192020202120222023E来源：势银(TrenkBank)图2.232016-2023E中国大陆I线光刻胶市场需求量(吨)020162017201820192020202120222023E来源：势银(TrenkBank)1.611.61.210.80.60.40.2图2.242016-2023E中国大陆G线光刻胶市场规模(亿元)020162017201820192020202120222023E来源：势银(TrenkBank)6543210图2.252016-2023E中国大陆I线光刻胶市场规模(亿元)20162017201820192020202120222023E来源：势银(TrenkBank)2.5.2krF光刻胶3503002502001501001510535030025020015010015105图2.262016-2023E中国大陆krF光刻胶市场需求量(吨)20162017201820192020202120222023E来源：势银(TrenkBank)图2.272016-2023E中国大陆krF光刻胶市场规模(亿元)020162017201820192020202120222023E来源：势银(TrenkBank)2.5.3ArF光刻胶255255需求量228吨，市场规模约18.3亿元，势银(TrendBank)预计2023年ArF光刻胶市场图2.2820162023E中国大陆ArF光刻胶市场需求量(吨)30025020015010020162017201820192020202120222023E来源：势银(TrenkBank)图2.292016-2023E中国大陆ArF光刻胶市场规模(亿元)020162017201820192020202120222023E来源：势银(TrenkBank)2.5.4EUV光刻胶如EUV光刻机对中国大陆的出口受到严格限制2022年全年ASML出货EUV光刻机40台2.6半导体光刻胶企业竞争格局(一)EUV光刻胶为ArF光刻胶。(二)ArF光刻胶(三)krF光刻胶目前中国大陆能够批量供应的半导体光刻胶产企业G线krFArF上海彤程(科华)晶瑞股份(瑞红)来源：势银(TrenkBank)第三章政策篇见表3.1。表3.1光刻胶产业相关国家政策2019/11/《国家集成电路产业发展推进纲要》三、主要任务和发展重点(四)突2020/9/24《关于扩大战略性新导意见》(四)加快新材料产业强弱项。围高性能纤维材料、高强高导耐热材封装材料等领域实现突破。(责任等按职责分工负责)2021/3/29海税《关于支持集成电路知》硅单晶、8英寸及以上硅片)生产企品。(四)集成电路用光刻胶、掩模备)零配件。2021/3/《关于做好享受税收要求的通知》2021/4/《关于2021-2030通知》示器件，下同)生产企业进口国内不生产性(含研发用，下同)原材料、(包括进口设备和国产设备)零配偏光片、彩色滤光膜)生产企业进口进口关税2022/3/国家发展改《关于做好2022年知》(靶材、光刻胶、掩模版、封装载板、晶、8英寸及以上硅片)生产企业可2022/9/业"三品"实施方案2023/3/国家发展改《关于做好2023年企业，线宽小于。.25微米(含)的知》路线宽小于。.5微米(含装载板、抛光垫、抛光液、8英寸及来源：势银(TrendBank)3.2地方政策"十四五"规划、半导体与集成电路产业发展行动计划、战略性新兴产业发展"十四五"规划、工业和信息化发展"十四五"规划四部政策均将光刻胶及相关产业纳入其中。广州、深来源：势银(TrendBank)省市省级安徽/2022/2/23《关于印发安徽省"十四五"科技创新规划的通知》省级安徽/2022/7/5安徽经信厅单》省级北京/2021/1/13会省级甘肃/2022/1/10《甘肃省"十四五"制造业发展省级广东/2023/07/25荐工作的通知》市级广东深圳2021/4/2深圳市发展会《关于组织申报享受税收优惠件企业清单的通知》市级广东深圳2023/07/31和信息化局市级广东广州2022/2/17四五"规划的通知》市级广东广州2022/3/17业发展行动计划(2022-2024年)》市级广东广州2022/4/8产业发展"十四五"规划的通知》市级广东广州2022/6/2化发展"十四五"规划的通知》市级广东深圳2022/6/6深圳市发展(2022-2025年)》市级广东深圳2022/6/6发展未来产业的意见》市级广东佛山2022/6/22(2022-2025年)》省级河北/2021/3/24导向目录(2021-2022年)》省级河北/2021/11/14《关于印发河北省建设全国产业转型升级试验区"十四五"规划的通知》省级河北/2022/1/17河北省政府《关于印发河北省制造业高质量发展"十四五"规划的通知》省级河北/2022/12/16目录(2022年版)》有关工作省级河南/2021/10/21河南省人民《关于印发河南省先进制造业-2025年)的通知》市级河南新乡2022/1/28量发展的实施意见》市级河南南阳2022/7/29南阳市人民江/2021/9/30府-2035年)的通知》省级湖北/2021/11/23湖北省人民展"十四五"规划的通知》省级湖北/2021/12/31和信息化厅市级湖北潜江2022/2/22局四五"规划的通知》省级湖南/2021/8/26政府办公厅《湖南省"十四五"战略性新兴产业发展规划》省级湖南/2023/04/07市级/重庆2023/07/14"渝西跨越计划"(2023-2027年)的通知》省级江苏/2021/8/26室《江苏省"十四五"制造业高质量发展规划》省级宁夏/2021/11/2府造业高质量发展"十四五"规划省级宁夏/2021/12/7"十四五"发展规划的通知》府市级山东潍坊2021/5/25发展的实施意见》省级山东/2022/4/7政府《关于印发"十大创新""十强行动计划的通知》省级山西/2021/4/30《关于印发山西省"十四五"新材料规划的通知》省级山西/2021/7/22年行动计划》省级陕西/2021/12/13《关于印发"十四五"制造业高质量发展规划的通知》市级陕西西安2022/1/10《关于印发"十四五"科技创新发展规划的通知》省级上海/2021/7/14五"规划》省级上海/2021/7/21导产业发展"十四五"规划》省级上海/2022/6/27《上海市2022年度"科技创新报指南》省级四川/2021/3/1展技术指南(2021)》省级天津/2021/7/1量发展"十四五"规划的通知》省级天津/2021/8/12四五"规划的通知》省级云南/2022/5/11《关于印发云南省"十四五"制省级浙江/2021/6/16浙江省发展牌强省建设"十四五"规划》市级浙江杭州2023/07/24《杭州市人民政府办公厅关于印发加快推进新材料产业高质来源：势银(TrenkBank)第四章投融资篇基于企业对外公开披露信息，势银(TrendBank)分析整理了近年中国光刻胶产业投融4.光刻胶上游原料投融资4.1.光刻胶上游原料融资分析图4.1图4.12019-2023年8月光刻胶上游企业融资笔数(单位：个)65402019年2020年2021年2022年-2023年8月321来源：势银(TrenkBank)企业(按首字母排序)3起圣泉集团3起久日新材2起威迈芯材来源：势银(TrenkBank)4.1.2光刻胶上游原料投资分析个,终止项目1个总投资金额97.35亿元。其中2019年投资总金额15.87亿，2020年总投资5.82亿2021年已投资金额35.66亿，2022-2023年8月已投资40亿用于新建项目。图4.22019-2023年8月光刻胶上游企业投资项目数2019年2020年2021年2022-2023年8月投资金额(亿元)投资项目数(个)76543210来源：势银(TrenkBank)图4.32019-2023年8月光刻胶上游企业投资项目分析(单位：个)55新建项目完成项目终止项目建设中项目来源：势银(TrenkBank)840三木集团江苏华伦万润股份强力新材圣泉集团世名科技怡达股份百川股份来源：势银(TrenkBank)4.2光刻胶企业投融资4.2.1光刻胶企业融资分析2019-2023年8月，中国光刻胶企业共发生53笔融资行为，涉及光刻胶企业20家年融资8笔，2023年截至目前共5笔。势银(TrendBank)推测2023年度是光刻胶企业50图4.52019-2023年8月光刻胶企业融资数量(单位：个)2019年2020年2021年2022年2023年1-8月u半导体光刻胶企业u显示用光刻胶企业来源：势银(TrenkBank)图4.62019-2023年8月光刻胶企业融资分析(单位：件)4435已披露具体金额未披露具体金额仅披露数量级来源：势银(TrenkBank)表4.32019-2023年光刻胶企业融资笔数7起徐州博康5起鼎材科技4起恒坤股份2起来源：势银(TrenkBank)4.2.2光刻胶企业投资分析16个2022年到2023年8月已新建项目6个。图4.72019-2023年8月光刻胶企业投资分析096302019年2020年2021年2022年至今投资金额(亿元)投资项目数(个)来源：势银(TrenkBank)25258新建项目持续建设完成项目终止项目来源：势银(TrenkBank)图4.92019-2023年8月光刻胶企业投资项目应用分析(单位：个)半导体用显示用来源：势银(TrenkBank)86420江苏浙江上海山东安徽广东四川河北内蒙古湖南湖北福建来源：势银(TrenkBank)3%3%0.30%31%3%3%0.30%31%第五章供应链篇5.1关键原料市场19.20%19.20%43%色浆光引发剂树脂其他添加剂色浆光引发剂树脂其他添加剂单体5%12%56%25%溶剂单体颜料液光引发剂溶剂单体颜料液光引发剂其余添加剂15%80%15%80%3%3%15%80%2%溶剂树脂光引发剂添加剂89.40%89.40%10%0.40%0.20%溶剂树脂感光剂其他添加剂5%0.20%溶剂树脂感光剂其他添加剂5%5%0.20%0.40% 94.40%溶剂树脂感光剂其他添加剂来源：势银(TrendBank)降这一情况将在2023年得到缓解。势银(TrendBank)预计2023年总体需求量预计达4.57万吨。5000040000300002000010000020162017201820192020202120222023E黑色色浆感光剂彩色色浆树脂溶剂来源：势银(TrendBank)4.5%4.4%4.5%8.3%溶剂树脂彩色色浆黑色色浆感光剂来源：势银(TrendBank)54322543221200015001000500感光剂树脂溶剂20162017201820192020202120222023E来源：势银(TrendBank)5.2关键原料企业发展情况2025305202530来源：势银(TrendBank)5.2.光敏剂企业企业数据来源：势银(TrendBank)5.2.2案例研究──威迈芯材19992002201120142017krFPAG市场领先、PSPI材料开发完成、zr前驱体投入市场20182019202120222023中国客户交付近20款ArF/krFPAG、韩国工厂扩建PAG和BARC树脂产能、1.2股权情况江苏亚威机床股份有限公司(002559.SZ)234578技术为其材料品质覆盖高精密的EUV级别(5-7nm)和ArF/krF级别(14nm/0.35μm),来源：威迈芯材、势银(TrendBank)整理术已受理已受理已受理已受理已受理已受理来源：威迈芯材、势银(TrendBank)整理TFTarrayopticalFilmsTFTarrayopticalFilms®®来源：威迈芯材、势银(TrendBank)整理(1)PAG(光致产酸剂)(Resolution)、光敏感性(sensitivity)和粗糙度(LER/LWR)。图5.9典型的化学增幅型248nm光刻胶成像原理(2)BARC层光刻胶树脂BARC是DUV光刻工艺中的核心材料，是130nm-10nm节点芯片的必用光刻材料(并成像或图形化(patternformation)和图形转移(patterntransfer)。193nm光刻工艺)中的核心原材料。下图展示了抗反射涂层BARC在DUV光刻工艺中使用(3)P(光引发剂)：作为LCD彩色光刻胶(包括彩胶colorpR和黑胶BM2大类)的核心4.2威迈芯材未来产品布局ArF/krFArF/krFPAG已量产:30款左右配合日韩客户:定制化ArF/krF/EUV产品高端产品高端产品光敏聚酰亚胺PSPOLED新型显示有机发光层核心材料来源：威迈芯材、势银(TrendBank)整理华等,20余款半导体ArF/krFPAG产品实现了稳定供货。来源：威迈芯材、势银(TrendBank)整理17.00%17.00% 49.00%日本德国韩国中国：威迈芯材(唯一量产)、其他企业来源:势银(TrendBank)整理Midori***********Ncchem****TAKOMA**来源势银(TrendBank)整理导体光刻胶本土化的"跃迁时代"贡献一份力量。5.2.3树脂企业威迈芯材BARC树脂微芯新材krF用树脂研发阶段八亿时空G/I线;krF用树脂认证阶段TFT-LCDArray正胶酚醛树脂珠海雅天ArF用树脂数据来源：势银(TrendBank)5.2.4溶剂地域企业地域企业数据来源：势银(TrendBank)5.2.5单体款2022年以来新开发20款单体，其中包含13款ArF光刻胶单体,2款krF光刻胶威迈芯材中国VV徐州博康中国√√强力新材中国√瑞联新材中国√√数据来源：势银(TrendBank)5.2.6色浆地域企业地域企业数据来源：势银(TrendBank)第六章总结光刻胶(photoresist简称PR)又称光致抗蚀剂，是一种对光敏感的有机混合物，是电年，势银(TrendBank)预计显示用光刻胶本土化率将有5-10个百分点的提升，份额提升光刻胶市场规模市场规模为39.9亿元势银(TrendBank)预计2023年中国大陆半导体光(四)国家政策导向下，近三年光刻胶产业投融资活跃长。势银(TrendBank)预计未来3(五)光刻胶原料市场大有可为根据势银(TrendBank)数据显示,2022年受到终端市场传递影响，中国大陆显示光金额2022/11/012022/03/14创东方资本威迈芯材3700万股权投资2022/02/07恒坤股份大晶信息未披露股权投资2021/6/30中信证券强力新材未披露定向增发2021/07/19恒坤股份大晶信息2000万战略投资2021/8/10公开发行圣泉集团19.46亿IPO上市2021/9/30华泰证券百川股份未披露定向增发2021/01/212020/10/142019/1/1汇泽投资圣泉集团未披露股权2019/11/05公开发行久日新材18.54亿IPO来源：势银(TrenkBank)整理时间方金额业务范围/项目名称投资类型20213.747亿2019年10月10.9748亿产50000吨UV-LED高性能树脂36个2022年10月江苏省2020年4月1.2亿8t/a的LCD用吖啶系列光增感剂,23t/a的20t/a的LCD用其他24个2022年4月2020年9月徐州2019年9月公司2021年7月9.1847亿2022年2021年7月1.523亿高端电子化学品项目新建项目2022年万润18.0467亿建设期2第4年2022年4月百川百川9043万2022年4月投产2022年1.1亿30000吨"湿电子化学品(Thinner液)混2022年产2021年1月2.2亿年产56000吨先进光敏材料及1000吨光已终止2022年4月终止市2021年12月3.2112亿项目年产10,000吨高频覆2020年6000万2022年4月20亿2020年4月开工2021年9月15.8亿年产20万吨合成树脂、5万吨苯酐、10建设期3年2020年6月3.02亿目2020年6月开工山东省来源：势银(TrenkBank)整理金额2023/4/17徐州博康6亿元股权投资2023/3/28清枫资本徐州博康数千万战略投资2022/9/202022/5/122021/8/10华为哈勃投资徐州博康3亿元战略融资2021/1/4华懋科技5.8亿2020/4/132020/11/162019/7/12023/2/5京东方集团阜阳欣奕华未披露战略投资2022/8/102021/4/222019/12/31新潮集团上海新阳未披露定向增发2021/7/28易方达资产管理南大光电未披露战略投资2021/7/27国家集成电路产业基金南大光电1.83亿元战略投资2021/5/10南京大学资本运营有限公司南大光电未披露股权转让2020/12/31陕西煤业彤程新材未披露股权融资2019/12/31信达证券彤程新材未披露定向增发2023/1/3恒坤股份未披露pre-IPO2022/7/27创合鑫材基金恒坤股份未披露股权融资2020/4/27恒坤股份1.67亿定向增发2019/5/282021/4/21中信证券潍坊星泰克未披露股权融资2020/6/12山科控股潍坊星泰克未披露股权融资2021/6/29IDG资本2019/2/3艾森半导体未披露A轮2020/1/6公开发行八亿时空10.6亿IPO上市2019/5/6丝路华创八亿时空未披露定向增发2022/8/1中信建投资本国科天骥1亿A轮2020/12/30宏华聚信国科天骥未披露股权投资2022/1/192020/11/11苏州润邦未披露A轮来源：势银(TrenkBank)整理金额2020/3/31兴业证券雅克科技未披露定向增发2019/6/302023/3/232021/10/292021/4/212020/12/8国投创业鼎材科技未披露股权融资20