化学程维福程站

11周报11月——W2程维福—化学站一.重大事项概述提纲2三.本周自我总结二.异常处理心得3一、重大事项概述机台：自动清洗橱（ITO蚀刻机台）警报信息：chuckmotionistimeout异常原因：机台点位异常处理过程：1.到现场查看时发现机台手臂在3#槽down端，且机台已跳手动状态；2.手动取出片源，查看其中一篮片源已在溶液槽过泡2分钟，另一篮片源无法取出，将取出的片源放入水槽进行冲洗后交付工艺进行判定，另一篮片源降温排酸后，将其取出放入水槽进行冲洗后交付工艺判定；3.检查发现手臂在Tank3夹取位置存在偏差；4.重新调节各槽及LD/ULD端的点位，测试OK；5.并检查各个点位的位置正常后，将其切为自动模式，多次空run测试无误后，交付工艺。4一、重大事项概述机台：自动清洗橱（ITO蚀刻机台）警报信息：chuckmotionistimeout异常原因：固定chuckopen/close动作的螺丝有松动导致chuckmotionsensor感应异常处理过程：1.在补酸升温测温完成后，将机台切为自动时，发现无法切为自动模式；2.将Robot顶端盖子拆掉进行检查，做chuckopen/close动作，发现手臂在做open动作时，此点的chuckmotionsensor处于常亮状态；3.检查发现固定chuckopen/close动作的螺丝有松动，将其重新紧固后，做chuckopen/close动作，测试OK；4.检查各个点位的位置正常后，将其切为自动模式，多次空run测试无误后，交付工艺。5一、重大事项概述日期:2014-11-22机台：馗鼎等离子去胶机异常原因：压力显示异常处理过程：1.机台在正常RUN货时发现压力显示异常为0；

2.检查发现压力计损坏；3.更换新的压力计，空run数次显示无异常；4.测试OK交工艺。6日期:2014-11-22机台：自动清洗橱（BOE）警报信息：LD-1-2CSTDetectsensorerror异常原因：LD端sensor被酸腐蚀导致WPR取货后LD端信号未消除处理过程：1.查看机台各槽体内当时均无片源；2.检查发现LD端sensor处结晶严重，sensor被酸腐蚀导致无法正常感应信号；3.将腐蚀的sensor拆下，更换新的sensor后测试信号感应正常；4.将机台切为自动模式，多次空run测试OK后交付工艺。一、重大事项概述7一、重大事项概述日期:2014-11-27机台：刮边机异常原因：生产操作不规范导致破片处理：1.生产反应破片后到现场查看发现CST2侧翻，12片4寸片源破片；2.将破片片源清理出机台，模拟事故现场，并与生产领班确认后，确定异常发现原因为机台报警后，产线人员进行复位后未把手臂上及作业台上的片源取出，导致启动后手臂在CST2-2位置作业时存在两片片源，手臂卡住卡塞，导致卡塞倒下，片源破裂；3.由于在复位后手臂上片源未取下的情况下仍会取货，存在隐患，故此机台目前暂停作业。二、异常处理心得8馗鼎等离子去胶机也是站内的重要机台，作用是相当于生产设备的瓶颈机台，因此及时的处理异常直接关系到片源产出。当发现压力显示异常时，要在尽量短的时间里判断出最可能的原因，然后检查相应的零部件是否正常运作，如果发现问题，及时进行更换。

自动清洗橱是重要的生产设备，对于BOE机台及ITO蚀刻机台尤其要注意，因为片源在BOE溶液或者ITO蚀刻液里过泡很有导致片源返工甚至报废，因此发生异常时，首先要做的就是取出槽体内片源并进行清洗，然后再检查并处理机台异常，处理问题时必须要仔细。

对于刮边机异常，在进行机台复位后务必取出气缸及手臂上片源，规范生产操作，以严谨的态度处理。三、本周自我总结9通过慢慢的实践，现在逐渐对站内机台有了更深刻的认识，接触到之前没有见过的机台异常，不仅增长了自己的见识，更重要的是自身得到了锻炼，对这些机况的处理能够更加的得心应手，不至于在遇到事情的时候无从