铸锭炉保养指导书(REV.01)

铸锭炉保养指导书

一般作业指导书

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.页:1OF7一、目的：行。二、范围：本操作指导书适用于全部多晶铸锭炉。三、定义：无四、保养要求如下表：１．做任何检查前应首先确认有无触电、撞伤、夹伤、烫伤等各种危急，特别是在电源端子，真空泵、风机等处；必要时停顿设备运行，甚至关闭水、电、气开关、阀门等做必要的安全防护措施。２．以下全部保养工程均由修理技术员执行，并记入《DSS保养类型 保养工程1.下腔提升系统维护

保养方法丝杠系统加润滑油。用黄油枪从加油口加黄油，每个丝杠加黄油约7克.2．检查每个刹车，确保摩擦材料无磨损和松弛。抓住连接轴并试着用手转动，应当不动。检查全部的连接螺丝是否紧固。

冷却水流量计清洁及放出进水出水铜总管底部沉淀杂物

先关闭供水阀,再关闭对应回水阀。在维护炉腔的任一流量计时，〔流入炉腔的不同水路之间可能没有封死〕；折弯捏住要清洁流量计的红色水管；移开流量计的塑料盖。用一个的内六角套筒反时针旋转塑料盖中30拆下叶轮、陶瓷轴和垫片。检查其是否完好并用干净的白洁布去除上述零件上的沉积物；拆下盖子上的OO型圈已损坏，则更换。装回O型圈前，先给其外表抹少许真空油，再将它装在盖子上或流量计腔室中；去除流量计腔室中的沉积物,检查腐蚀状况及内部构造；将陶瓷轴装在轴孔上；装上叶轮,任一面朝里都可以；将盖子装在流量计上：将盖子边缘突起局部与腔室中的对应狭槽的位置对好；铸锭炉保养指导书Reason(s)forUpdate更缘由：修正、补充

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.页:2OF7保养类型 保养工程 保养方法用双手平稳地按压盖子使其突起局部少许插入流量计腔室的狭30松开红色回水管；杂物排出，直至排出的水干净无杂物。流压力冲击给水路造成损坏；关球阀时也要缓慢。紧到位。假设还不能解决泄漏，则卸掉盖子清洁重装再看结果。检查冷却水管、接头局部是否有渗漏。用手拧动检查加热器上螺母是否有松动，假设有松动则用手拧紧。月保养

热区检查MFC正

验证绝缘性：a)用万用表检查加热器与隔热笼顶部隔热板及隔热笼侧壁是否绝缘，测得电阻必需在1000欧以上，否则予以修理处理〔清理绝缘陶瓷片和绝缘陶瓷套上的石墨灰尘〕；b)用万用表检查加1000欧以上〔清理绝缘陶瓷片和绝缘陶瓷套上的石墨灰尘〕。用水平尺检查隔热笼是否水平以及位置是否正确，否则调整。检查DS-BLOCK检查DS-BLOCK上热电偶在“手动屏幕”上的显示读数：当炉腔完全冷却时，读数应当接近室温〔20-30°C〕。回到Manualscreen600mbar从V/G框中选G，从In/Outlet框中选Outlet，并将Inlet%设定20600，V2V3〔按扭显示绿色〕；从MFC19-21%〔20%±1%〕；假设反响值不正确，确保氩气压力在1.5-2.5mbar，然后依据MFC确，则须换MFCDSSReason(s)forUpdate更缘由：修正、补充

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.页:3OF7保养类型保养工程 保养方法“MFC12“Overviewscreen”的“GasoutOutlet5060%600±1mbarInlet30%，等压力稳定后〔2〕，Outlet值必需围绕一个比第一步更高的值变动，同时压力还须掌握在600±1mbar月保养

Herion阀工作状况检查

Inlet102Outlet值必需围绕一个比第一步更低的值变动，同时压力还须掌握在600±1mbar假设Herion阀不能依据上述方式执行并掌握压力OutletPIDPIDHerion清洁”所述的方法清洁阀。假设还不能解决问题，则换阀体和/或阀的放大器。风扇检查。全部的假设不正常则更换，假设正常则断电进展清洁〔在不拆卸零部件的状况下必要时用吸尘器对电气部件上的灰尘进展清洁。掌握柜及电源柜和相关配件检查、试验 2.翻开空气掌握盒子，渐渐调小调整器的压力直到报警被激活—PS1000空气检测器上的红色LED50-55psi将被激活，假设不是这样，则调整PS1000开关上的红色螺丝直到正常。确认在临界点四周升降压力时工作正常，再将压力调整到65-68psi〔70psi〕；铸锭炉保养指导书

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.页:4OF7保养类型 保养工程 保养方法4.UPSLEDLEDLineINV.应亮并稳定，BatLoad灯不亮，参考制造商手册；月保养

真空泵特别音特别震惊

检查泵的固定螺丝螺母有没松动，吸气管道有没松动，阀门有没松动拆开油雾分别器排气管，让机械泵正常运转，检查排出的雾是否看得8.机械泵上油雾见。正常应当是看不见的。假设看得见，则说明滤芯破损〔假设压力分别器压力检查表读数是0.5PSI以下，则说明是滤芯破损〕或滤芯安装不正确，则进展对应处理；9.真空泵油标线和系统检查

检查机械泵的玻璃视窗口的油标线，油标线应位于视窗口的1/3与2/3铸锭炉保养指导书

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.页:5OF7保养类型 保养工程真空计校正-粗真空计校正季度保养Herion洁

保养方法30分钟。粗真空计校正：为调整粗真空计的零点，炉膛压力必需在0.1毫巴以下。翻开大〔V1〕并启动真空泵抽真空使炉腔压力降至0.1下。在“Manualscreen”点击“Maintscreen”,输入密码则消灭“MAINTANCESCREEN假设屏幕显示的粗真空计的读数不为零，则调整位于粗真空计顶部的电位计〔调整前必需确保该真空计已通电30分钟以上〕，直至显0±0.5回到“Manualscreen”，关闭V130Maintscreen”980±10假设气压读数超出偏差范围，则反时针旋转粗真空计顶部的红色环形盖子以使分压计〔左手边〕露出来。调整该分压计直至到达上述压力范围。最终装好红色环形盖子。确保炉腔及真空管路在大气压下并且两个泵都是关闭的。Herion阀位于机器的后面V1用螺丝刀松开螺丝继而卸掉放大器的插头；卸掉夹持器，卸下阀。留神不要掉了密封圈；松开但不卸掉阀端面盖板上的四个内六方螺丝；用一只手压住盖板从而压住弹簧，另一只手卸下四个螺丝；留神的松开盖板，露出弹簧和O型圈；取出里边全部的部件：弹簧﹑O型圈和阀芯；然后再松开电磁铁一端的四个螺丝，取出铜导套和O用干净布或纸蘸酒精去除阀体内积尘；用干净布或纸蘸酒精对上述取出的全部零件进展清洁；把阀芯插入阀体〔尖部在前〕；插上弹簧，并把O型圈放入槽中；留神地压上盖板，并对准螺丝孔，插上螺丝，均匀的上紧螺丝；将电磁阀一端的铜套和O型圈正确装配，并拧紧螺丝；把Herion加紧器；把阀的放大器连接上并检查阀的运作。铸锭炉保养指导书

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.页:6OF7保养类型 保养工程 保养方法1．放油：运行泵直到油温到达正常运转时温度〔63-75°C〕，确认炉腔内压力在980mbar左右，且V1阀关闭，停顿泵运转，关闭机械泵断路器以保安全。泵里边残留的油放干净，关阀。机械泵换油

加油：O2/33．确保真空隔离阀〔V1〕是关闭的，启动泵。观看游标线，一两分钟后关泵，并从上注油孔加油到油标线到达视窗中间。半年保养

2.罗茨泵换油

关泵并关闭断路器以保安全。用低而小的油盆放在泵的两端放油口下，卸下磁性油塞放油，放完油后，拧紧油塞。3．卸下两个注油塞，给每个注油孔中加半夸脱油，确保游标线接近凹槽上线，需要时再加油。拧紧油塞，开机械泵，约20分钟后设定真空模式为V，等待压力到达50mbar以下时加强泵开启。5．在加强泵运转几分钟后，检查游标线。假设游标线变化很大，停顿泵运转，加油或放油。3连轴器橡胶块1．检查时觉察破损请马上跟换，两个带轮的定位及与轴连接的严密气镇功能检查状况，再检查带的磨损状况，假设磨损严峻，则换带；2.气体通路的状况。铸锭炉保养指导书

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