一种半导体行业有机废液回收利用装置的制作方法

一种半导业有废液回收装置制作法1.本实用新型于泛半导体行业机废液收集和回收用技术领域，特涉及一种应用于集成路芯片制造行业较高浓度有机废液收集、储存及外回收再利用的系统装置，具体涉及种半导体行业有废液回收利用装置背技：2.近些年，随新能源汽车、人智能、物联网、云算、5g等新兴领域的快速发展，泛半导制造行业呈现出发式的扩张。所泛半导体制造行业括了集成电路、分器件、光电子器、传感器等半导电子元器件的制造其共同点是运用了类似的半导体制工艺技术，其中刻工艺是最精密和键的一部分。在光之后对其曝光的刻胶进行显影的艺过程中，需要用大量高纯度的光刻剥离液，由于其造工艺复杂、价昂贵，所以对其废进行回收利用的要尤为迫切。而目现有的收集装置在以下不足之处：、无控制反馈装置，备仅以指示灯方简单地显示最终态，缺乏实时监控套设施；b、消防装控制需另外设置无法与废液收集装实行联动；c、收集装置与输入单元多样性衔接时，额外考虑增加分阀组装置，效率低占地面积较大。技实要素：3.有鉴于此，实用新型的目的提供一种半导体行有机废液回收利装置，以解决现技术中的不足。4.为了达到上目的，本实用新的目的是通过下述术方案实现的：5.提供一种半体行业有机废液收利用装置，包括液柜体、控制柜和火警感应处理装置所述集液柜体内有集液桶槽、进管道、出气管道和风管道，所述进液道连接所述集液槽，所述集液桶通过所述出气管道接所述排风管道，述进液管道上设多个截止阀，所截止阀包括接入口止阀、手动截止阀气动截止阀，所出气管道上设有流孔板流量计，所排风管道的底部连有设有排液截止的排液管道，所排风管道的顶部设排气口调节阀，所集液桶槽的底部有称量底座，所控制柜体内设有控显示单元，所述控显示单元分别连所述火警感应处装置、所述气动截阀、所述称量底和所述排气口调阀。6.如所述半导行业有机废液回利用装置，所述集桶槽包括主用集桶槽和备用集液桶槽7.如所述半导行业有机废液回利用装置，所述称底座的顶面设有排导引所述集液桶槽入拉出的滚柱列装置。8.如所述半导行业有机废液回利用装置，所述进管道、所述出气道与所述集液桶槽的接端均设有柔性道连接组件。9.如所述半导行业有机废液回利用装置，所述出管道和所述排液道上均设有光电传感，所述光电传感连接所述控制显单元。10.如所述半导体业有机废液回收用装置，所述火警应处理装置包括雾传感器、温度传器、火焰侦测器二氧化碳喷射口自动二氧化碳喷射火装置和二氧化碳瓶，所述二氧化钢瓶和所述自动氧化碳喷射灭火装设于所述控制柜体，所述二氧化碳瓶通过所述自动氧化碳喷射灭火装连接所述二氧化碳射口，所述烟雾感器、所述温度感器、所述火焰侦器和所述二氧化碳射口设于所述集柜体内顶部。11.本实用新型技方案的有益效果：12.1、集液输端设置有预留装，且可模块化递增便于输入端部件结构简化和标准化；13.2、配置了套完整的集液装，在一个集液桶槽满或者遇到系统障而需要维修时，保整套装置可不间运行；14.3、消防装与废液收集系统用控制系统及显示置，可避免消防制失灵，同时降低设制造及运行成本15.4、桶槽排口设置有感应元及节流装置，具有槽和管道系统的溢预警及降低有机溶大量挥发，提升废液收集利用率附图说明16.为进一步说明实用新型的上述的、结构特点和效，以下将结合附对本实用新型进行细的描述。17.图1为本实用型较佳实施例整结构示意图；18.图中：1、液柜体；2、控制柜体；3集液桶槽；4、进液管道5、出气管道；6、排风管；7、接入口截止阀；8、动截止阀；9、气动截止；10、限流孔板量计；11、排液截止阀；12、气口调节阀；13、量底座；14、控制显示元；15、压力表；16、柔管道连接组件；17、光传感器；18、烟雾传感；19、温度传感器；20、焰侦测器；21、二氧化喷射口；22、自动二氧碳喷射灭火装置23、二氧化碳钢瓶。具体实施方式19.下面结合附图具体实施例对本用新型作进一步说，但不作为本实新型的限定。20.本实用新型涉一种泛半导体制行业的新型有机废回收利用装置，谓泛半导体行业，括集成电路、分器件、光电子器、传感器等半导体子元器件的制造，装置可对其工艺程中各种有机化药剂废液完成收集储存、后续再利用尤其可专用于半体光刻工艺中光胶剥离废液的回收用。具体来说，看图1所示，本半导体行有机废液回收利装置包括集液柜体1、控制柜2、火警感应处理装置和设备地固定支座等，液柜体1内设有集液桶槽3进液管道4、出气管道5和排管道6，进液管道4连接集液桶槽3，集液桶3通过出气管道5连接排管道6。进液管道4上有多个截止阀，具体地，括接入口截止阀7、手动止阀8和气动截止阀9。出气管道5上设有限流孔流量计10，排风管道6的部连接有设有排截止阀11的排液管道。排风管6的顶部设有排气口调节12，集液桶槽3的底部设称量底座13，控制体2内设有控制显示单元14，控制显单元14分别连火警感应处理装置、动截止阀9、称量底座13和排气调节阀12。21.继续参看图所示，排风管6为垂直设置的排出挥发废气道，其中部接入来自集液桶槽的出气管道5，上端以机连接方式接到厂端的废气处理系统中，下端连一根液化废液排管。为了调节排总量和观察排风管道6内部是否保持在压状态，在其上排气口安装有排口调节阀12和压力表15。若收集的液具有挥发性，发气体可通过限流板流量计10被排入到排风管道6中，限流板流量计10可通过调节排孔径来限制排气量，以免已收集的废液过度发，同时保证挥气体具有排出通，以免过度聚集造危险。22.较佳实施例中集液桶槽3包括主用集液槽和备用集液桶两套集液装置，根据集液桶3中废液的积累程度可进快速切换，在一集液桶槽3已满或者遇到系统障而需要维修时保证整套装置可间断运行。23.称量底座13内包自动电子秤及便桶槽搬运的多排滚列阵装置，电子秤发出触发信号置为集液桶槽3和满载废总重量的90％，一旦总重达到，电子秤即将号发至控制显示元14，触发下一步动作并立关闭进液管道4上的气动截止9。24.称量底座13的顶设有多排导引集桶槽3推入拉出的滚柱列阵装置可以理解的是，滚列阵装置可以采在称量底座13的顶面设置多条槽孔，长槽孔内设置多个间穿轴、可自由动的金属滚柱，实用新型不限于此25.继续参看图示进液管道4、出气管道5与集液桶3的连接端均设有性管道连接组件16，便安装拆卸。26.出气管道5和液管道上均设有电传感器17，光电传感器17连接控显示单元14。27.本较佳实施例，火警感应处理置包括烟雾传感器18、温度传感器19、火焰侦测器20二氧化碳喷射口21、自动二氧碳喷射灭火装置22和两个二氧化碳钢瓶23二氧化碳钢瓶23和自动二化碳喷射灭火装22设于控制柜体2内，二氧化碳瓶23通过自动二氧化碳喷灭火装置22连接二氧碳喷射口21，烟雾感器18、温度传感器19、焰侦测器20和二氧化碳喷口21设于集液柜体1内部。当有火警危时，即烟雾传感器18、温度传感器19、火焰侦测器20任何一个被触发排气口调节阀12自动关闭的同时自动二氧化碳喷射灭火置22的阀门被打开，两个二化碳喷射口21就可喷二氧化碳予以灭火和温，同时排气口节阀12被自动关闭，以免喷射二氧化碳被厂务端废气处系统中负压抽走影响灭火效果。28.控制显示单元14包含控制单元及显示单元安装在控制柜体1正面上，与称量底座13集液柜体1内的气动截止阀9、光传感器17、烟雾传器18、温度传感19、火焰侦测器20、自动氧化碳喷射灭火装22、排气口调节阀12等实电路联动。控制示单元14具备同时兼顾消防及废收集的功能，可将废液收利用装置的运状况实时传送至务中央控制室，节了定时巡查的人力同时保证了废液集的动作可持续行。29.本装置的工作程为：来自不同艺生产设备的同类机废液，从外部道和集液柜体1内部道流入集液桶槽3，其中集柜体1侧壁预设接入口截阀7共三个，并预阀的安装位置和洞，可根据不同净厂房内的实际需增加接入口截止7的数量。接入口截止阀7可根是否有废液接入动打开或者关闭，称量座13是置于集液桶槽3下面自动称重装置，置多排排列的滚柱装置，可引集液桶槽3推入和拉出换，待集液桶槽3的重量达到满载90％时，称量底座13输电信号至控制显单元14发出声光提示，并自动闭正在工作之中道的气动截止阀9，同时打开备管道的气动截止阀9，液即可继续流入备管道的集液桶槽3。操作人员拆卸两个柔性管道连接件16的快速接头，推出基满载的第一个集液槽3至废液集中存放点，推入桶槽并接好两个性管道连接组件16，依此不断交换可连续进行废液的收和回收。集液桶3中的废液挥发气体经限孔板流量计10和排风管道6，至中央废气处理系之中，其中选定适型号的限流孔板量计10可通过节排气孔径而限挥发气体的总量，时可检测排气流。在排气管道中和地排液通道中，分设置光电传感器17，分别用以检测否有管道中凝结的废、和桶槽中滴漏废液，如果废液集量达到设定标准则光电传感器17发出电信号至控显示单元14发出声光报警，提示作人员进行检查，在集柜体1下方放置临时集液器，打开三个排截止阀11可排除积累在集液柜1底部和排风管道6中的液。30.本实用新型集输入端设置有预装置，且可模块化增，便于输入端件的结构简化和标化；配置了两套整的集液装置，一个集液桶槽已满者遇到系统故障而要维修时，保证套装置可不间断行；消防装置与废收集系统共用控制统及显示装置，避免消防控制失，同时降低设备制及运行成本；桶槽气口设置有感应件及节流装置，有桶槽和管道系统满溢预警及降低机溶剂大量挥发提升了废液收集利率。31.以上仅为本实新型较佳的实施，并非因此限制本用新型的实施方及保护范围，对于领域技术人员而，应当能够意识凡运用本实用新型明书及图示内容所出的等同替换和而易见的变化所到的方案，均应当含在本实用新型的护范围内。技特：1.一种半导体业有机废液回收用装置，其特征在，包括集液柜体(1)、控制柜体(2)和火警应处理装置，所集液柜体(1)内设有集液桶槽(3)、进液管道(4)、出气管道(和排风管道(6)，所述进管道(4)连接所述集液桶(3)，所述集液桶槽(3)过所述出气管道(5)连接所排风管道(6)，所述进管道(4)上设有多个截阀，所述截止阀括接入口截止阀(7)、手动截止阀(8)和气动截止阀(9)，所出气管道(5)上设有限流孔流量计(10)，所述排风道(6)的底部连接有设排液截止阀(11)的排液管，所述排风管道(6)的部设有排气口调节阀(12)，所集液桶槽(3)的底部设有称底座(13)，所述控制柜(2)内设有控制显单元(14)，所述控制显示元(14)分别连接所述火感应处理装置、所述气截止阀(9)、所述称量底座(13)和所排气口调节阀(12)。2.如权利要求1所述导体行业有机废回收利用装置，其征在于，所述集桶槽(3)包括主用液桶槽和备用集桶槽。3.如权利要求2所述半导行业有机废液回收利用置，其特征在于所述称量底座(13)的顶面设有多导引所述集液桶槽(3)推拉出的滚柱列阵置。4.如权利要求1所述半导体业有机废液回收利用装，其特征在于，述进液管道(4)、所述出气管道(5)与所述集液桶槽(3)的连端均设有柔性管连接组件(16)。5.如权利要求1所述半导体行业有机废液收利用装置，其征在于，所述出管道(5)和所述排液管道上均设有光电传器(17)，所述光电传感器(17)连所述控制显示单(14)。6.如权利要求所述半导体行业机废液回收利用装，其特征在于，述火警感应处理装置括烟雾传感器(18)、温度感器(19)、火焰侦测器(20)、二氧化碳喷射口(21)、动二氧化碳喷射火装置(22)和二氧化碳钢瓶(23)，所述二氧化碳钢(23)和所述自动二氧化碳射灭火装置(22)设于所控制柜体(2)内，所述二氧碳钢瓶(23)通过所述自动氧化碳喷射灭火置(22)连接所述二氧化碳喷射口21)，所述烟雾传感器(18)、所述度传感器(19)、所述火焰侦测器(20)所述二氧化碳喷口(21)设于所述集液柜体(1)内顶。技总本实用新型公开一种半导体行业机废液回收利用置，包括集液柜体控制柜体和火警感处理装置，集液体内设