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波谱仪结构及工作原理波谱仪定义结构形式工作原理

波谱仪（WDS）根据布拉格方程2dsinθ=λ，从试样激发出的X射线经适当的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角2θ。利用这个原理制成的谱仪就叫做波长色散谱仪，简称波谱仪（WDS）。结构

波谱仪主要由分光晶体（衍射晶体）、X射线探测器、控制和数据处理用电脑等。分光晶体（衍射晶体）X射线探测器等控制和数据处理用电脑波谱仪分光仪分光晶体X射线样品台检测器电子设备控制和数据处理用电脑X射线探测器分光晶体形式

波谱仪常用的有：直进式波谱仪回转式波谱仪直进式波谱仪X射线照射分光晶体的方向固定，即出射角Ψ保持不变，聚焦圆圆心O改变，这可使X射线穿出样品表面过程中所走的路线相同也就是吸收条件相等回转式波谱仪聚焦圆的圆心O不动，分光晶体和检测器在聚焦圆的圆周上以1：2的角速度转动，以保证满足布拉格条件。这种波谱仪结构较直进式简单，但出射方向改变很大，在表面不平度较大的情况下，由于X射线在样品内行进的路线不同，往往会造成分析上的误差

。工作原理工作原理若在样品上方水平放置一块具有适当晶面间距d的晶体（分光晶体），入射X射线的波长、入射角和晶面间距三者符合布拉格方程2dsin

＝

时，这个特征波长的x射线就会发生强烈衍射，见图13-2。不同波长的x射线以不同的入射方向入射时会产生各自的衍射束，若面向衍射束安置一个接收器，便可记录下不同波长的x射线，从而使样

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