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400—3500nm波段抗激光损伤薄膜工艺浅谈532nm（绿光）632.8nm（红光）808nm（红光）905nm（红外）1064nm（红外）1540—1570nm（红外）一、常见激光波段

与一般光相比，激光具有四个特点

（1）亮度高：由于激光的发射能力强和能量的高度集中，所以亮度很高，它比普通光源高亿万倍，比太阳表面的亮度高几百亿倍。亮度是衡量一个光源质量的重要指标，若将中等强度的激光束经过会聚，可在焦点出产生几千到几万度的高温。与一般光相比，激光具有四个特点（2）方向性好激光发射后发散角非常小，激光射出20公里，光斑直径只有20——30厘米，激光射到38万公里的月球上，其光斑直径还不到2公里。与一般光相比，激光具有四个特点（3）单色性好光的颜色由光的不同波长决定，不同的颜色，是不同波长的光作用于人的视觉的不同而反映出来。激光的波长基本一致，谱线宽度很窄，颜色很纯，单色性很好。由于这个特性，激光在通信技术中应用很广。与一般光相比，激光具有四个特点（4）相干性好相干性是所有波的共性，但由于各种光波的品质不同，导致它们的相干性也有高低之分。普通光是自发辐射光，不会产生干涉现象。激光不同于普通光源，它是受激辐射光，具有极强的相干性，所以称为相干光。二、激光应用实例1064连续激光1064脉冲激光低功率激光笔民用大功率激光激光打标机激光焊接机激光水平仪实例军用大功率激光军用激光测距机三、影响抗激光损伤阈值因素1、材料因素：造成薄膜损伤的主要因素是膜层材料本质对激光的吸收，不同薄膜材质本质差异造就了不同的抗激光损伤阈值。2、工艺因素：同样材质的薄膜，因制备条件不同造成膜层本身附着力、膜层缺陷不同，从而导致抗激光损伤阈值的不同。不同材料抗激光损伤阈值比较通常情况下，氧化物比氟化物的抗激光损伤阈值高。具有较好抗激光损伤阈值的氧化物：HfO2、ZrO2、Ta2O5、Al2O3、SiO2;影响膜层抗激光损伤阈值

的工艺因素1、真空度（残余气体组分）。2、膜层沉积基底表面光洁度、温度。3、膜料沉积方式。4、离子源辅助。四、提高膜层抗激光损伤阈值的工艺方式1、真空系统尽量选择无油系统。洁净度对比：冷凝泵系统＞分子泵系统＞扩散泵系统成膜本底真空尽量高。四、提高膜层抗激光损伤阈值的工艺方式2、膜料沉积（蒸发）方式（1）蒸发镀膜：适用于绝大部分膜料，沉积速率稳定，成本较低，应力小。（2）溅射镀膜：靶材选择有限，成本高，成膜质量好，应力大。四、提高膜层抗激光损伤阈值的工艺方式3、膜层沉积基底要求基底表面光洁度高，基底沉积温度高，能有效增加膜层附着力，减少膜层缺陷。注意事项：基底温度过高，对于超大零件要慎重，容易引起零件裂。降温褪火要控制好。四、提高膜层抗激光损伤阈值的工艺方式4、离子源辅助：目前没有哪一种离子源可以覆盖全领域。要针对不同的

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