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文档简介

振動？or震動？潔淨室微振說明2016-07-16課程大綱一、何為振動二、振動與潔淨室之關係三、防振基座介紹一、何為振動—振/震動的種類依時域特性區分一、何為振動—振/震動的種類依振幅區分(位移量)二、振動與潔淨室之關係廠區的振動來源廠內振動來源廠外振動來源廠外振動來源二、振動與潔淨室之關係如何克服這些振動？二、振動與潔淨室之關係請試想下以下情景：一個人如何安穩地站立在海灘上？一棟房子如何建造在海灘上？一座天文望遠鏡如何建造在海灘上？型式說明備註(A)、鋼板及補強腳機台無振動或剛性需求，但重量稍重，以鋼板或輕重型補強腳座分散機台重量。(補強高架地板強度的不足)如:一般輕型機台(B)、荷重隔離基座機台本身會產生振動或本身重量很重，高架地板無法承受，必須拆除高架地板設置鋼結構基座。(原高架地板需拆除)如:曝光機機械手臂(Robot)(C)、水泥隔離基座機台本身對於微振動(位移)特別敏感，必須拆除高架地板,以水泥基座來達到最佳的隔振效果。(原高架地板需拆除)如:檢查機

防振基座之分類三、防振基座介紹克服人員站立海灘克服房屋建置海灘克服望遠鏡建置海灘重型腳座輕型腳座鋼板分散板

防振基座之分類A-鋼板分散板及補強腳座適用於機台無振動或剛性需求,但重量稍重時使用三、防振基座介紹克服人員站立海灘

防振基座之分類機台有振動需求或本身重量很重，需要作隔離平台與高架地板作區隔。B-荷重隔離基座三、防振基座介紹克服房屋建置海灘

防振基座之分類C-水泥隔離基座

CTYPE側視圖

CTYPE立體圖對於微振動位移極為敏感的機台，以水泥基座來達到最佳的隔振效果(抗低頻效果佳)。三、防振基座介紹克服望遠鏡建置海灘C-水泥隔離基座此基座型式適合對於微振動極為敏感的機台，防止其他外部振動源傳遞進來。如：檢測機台，

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