版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
集成电路工艺讲义2024/3/211第1页,课件共24页,创作于2023年2月目的:把经过曝光,显影后的光刻胶微图形中下层材料的裸露部分去掉,即在下层材料上重现与光刻胶相同的图形。2024/3/212第2页,课件共24页,创作于2023年2月§2VLSI对图形转移的要求保真度选择比均匀性清洁度2024/3/213第3页,课件共24页,创作于2023年2月dmdmdfdfdfdm保真度:A=|df-dm|/2h1<A<0
2024/3/214第4页,课件共24页,创作于2023年2月选择比:如SiO2的刻蚀中对光刻胶和硅的腐蚀速率很低对SiO2的腐蚀速率很很高2024/3/215第5页,课件共24页,创作于2023年2月均匀性平均厚度h,厚度变化因子,1≤
≤0,最厚处h*(1+),最薄处h*(1-)平均刻蚀速率V,速度变化因子,1≤
≤0,最大速度V*(1+),最小速度V*(1-)2024/3/216第6页,课件共24页,创作于2023年2月刻蚀时间差TM-Tm=[h*(1+)/V*(1-)]
-[h*(1-)/V*(1+)]粗细线条兼顾,折中洁净度防止沾污2024/3/217第7页,课件共24页,创作于2023年2月§3刻蚀方法干法刻蚀:横向腐蚀小,钻蚀小,无化学废液,分辨率高,细线条操作安全,简便;处理过程未引入污染:易于实现自动化,表面损伤小缺点:成本高,设备复杂2024/3/218第8页,课件共24页,创作于2023年2月湿法刻蚀:操作简单,成本低廉,用时短湿法干法结合湿法去表层胶,干法去底胶2024/3/219第9页,课件共24页,创作于2023年2月一.干法刻蚀原理基本原理:腐蚀剂气体与被腐蚀样品表面接触来实现腐蚀。2024/3/2110第10页,课件共24页,创作于2023年2月反应腔加上射频电场,刻蚀气体放电产生等离子体,等离子体处于激发态,有很强的化学活性,撞击在硅片上,发生反应,腐蚀硅化物。1.多晶硅、氧化硅、氮化硅,采用CF4刻蚀两类物质的腐蚀:2024/3/2111第11页,课件共24页,创作于2023年2月CF4CF3+F*CF3CF2+F*CF2CF+F*Si+4F*SiF4SiO2+4F*SiF4+O2Si3N4+4F*3SiF4+2N22024/3/2112第12页,课件共24页,创作于2023年2月2.铝及其合金----氯基CCl4,CHCl33.难熔金属--氯基或氟基TaSiX+nF--TaF5+SiF4TaSiX+nCl--TaCl5+SiCl44.光刻胶---O22024/3/2113第13页,课件共24页,创作于2023年2月二.常用材料的腐蚀剂2024/3/2114第14页,课件共24页,创作于2023年2月三.影响刻蚀速度的条件气体压力气体流量射频功率温度负载效应腐蚀剂选择比2024/3/2115第15页,课件共24页,创作于2023年2月刻铝中的问题铝表面的氧化铝难刻中间产物AlCl4,BCl3淀积在表面,阻止刻蚀2024/3/2116第16页,课件共24页,创作于2023年2月四.湿法腐蚀湿法的刻蚀原理:湿法是接触型腐蚀,以HF酸腐蚀SiO2为例:SiO2+4HF=SiF4+2H2O此反应的产物是气态的SiF4和水,其反应速率R可用Arrhenius方程描述:R=R0exp(-Ea/kT),其中R0是常数,Ea是反应的激活能,k是玻耳兹曼常数,T是温度。2024/3/2117第17页,课件共24页,创作于2023年2月去胶等离子去除胶底膜紫外光分解去胶原理:光刻胶薄膜在强紫外光照射下,分解为可挥发性气体(如CO2、H2O),被侧向空气带走。2024/3/2118第18页,课件共24页,创作于2023年2月五.等离子刻蚀设备圆筒型平板型2024/3/2119第19页,课件共24页,创作于2023年2月2024/3/2120第20页,课件共24页,创作于2023年2月反应离子刻蚀结构示意图(硅片接地)2024/3/2121第21页,课件共24页,创作于2023年2月反应离子刻蚀结构示意图2024/3/2122第22
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 《导游技能大赛》理论题库-判断题附有答案附有答案
- 年度喷雾通风冷却塔市场分析及竞争策略分析报告
- 年度三坐标测量机产业分析报告
- 年度补偿装置竞争策略分析报告
- 2024年04月浙江宁波市奉化区招考聘用医疗卫生单位事业编制工作人员47人笔试笔试历年典型考题及考点研判与答案解析
- 2024年04月河北环境工程学院招考聘用工作人员64人笔试笔试历年典型考题及考点研判与答案解析
- 2024年04月江苏南通市通州区教育体育系统招考聘用教师94人笔试笔试历年典型考题及考点研判与答案解析
- 2024年04月广西互联网舆情中心2024年度公开招考8名工作人员笔试笔试历年典型考题及考点研判与答案解析
- 2024年04月广东深圳市光明区招考聘用特聘专干34人笔试笔试历年典型考题及考点研判与答案解析
- 2024年04月山西长治市武乡县事业单位招考聘用52人笔试笔试历年典型考题及考点研判与答案解析
- 婴幼儿早期阅读环境创设
- 二十大报告应知应会自测试题含答案
- 2024-2029年中国风电叶片行业市场发展分析及投资前景预测报告预测
- 2024年1月浙江首考英语试题和答案
- 编制说明-《自动驾驶乘用车线控底盘性能要求及试验方法 第2部分:制动系统》
- 融资员奖励方案
- 急性化脓性扁桃体炎个案护理
- 犯罪记录封存制度的规范及运行困难
- 急诊科室运营情况分析报告
- 运用多种方法理解难懂句子1
- 噪声监测服务投标方案
评论
0/150
提交评论