EBL基本组成及工作原理-课件

EBL基本结构与工作原理EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/261EBL基本结构与工作原理EBL基本组成及工作原理ppt课件EBL=ElectronBeamLithography=电子束光刻EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/262EBL=ElectronBeamLithography=EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/263EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/263一、电子束曝光系统结构EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/264一、电子束曝光系统结构EBL基本组成及工作原理ppt课件2EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/265EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/265columnEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/266columnEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3电子源的分类

直热式W，2700K热发射电子源旁热式LaB6，1800K电子源

热场发射ZrO/W，1800K场发射电子源

冷场发射EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/267电子源的分类四种电子源对比电子源三个关键参数：有效源尺寸，亮度，电子能量分布热发射源能量分布大，聚焦斑束大，产生严重相差。冷场致发射稳定性差，对真空要求高。故EBL系统选用热场致发射源。EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/268四种电子源对比电子源三个关键参数：有效源尺寸，亮度，电子能量旁热式&热场致电子源结构示意图阳地超高电场阴阴阳EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/269旁热式&热场致电子源结构示意图阳地超高电场阴阴阳EBL基本组EBL中电子源结构示意图EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2610EBL中电子源结构示意图EBL基本组成及工作原理ppt课件几个牌子的EBL性能参数EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2611几个牌子的EBL性能参数EBL基本组成及工作原理ppt课件二次电子探测器DetectorEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2612二次电子探测器DetectorEBL基本组成及工作原理ppIllustrationswithdifferentsignalsourcesEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2613IllustrationswithdifferentsEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2614EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2614ImagingbymeansofSE2detector:>5mmWDImagingbymeansofInlensdetector:<=10mmWD(dependingonhighvoltagesetting)ImagingbymeansofBSEdetector:8-10mm(OptimumoftheBSelectrondetection)EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2615ImagingbymeansofSE2detectInfluenceofAccelerationVoltageEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2616InfluenceofAccelerationVoltInfluenceofBeamCurrentEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2617InfluenceofBeamCurrentEBL基本InfluenceofWorkingDistanceEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2618InfluenceofWorkingDistanceE二、坐标系的对准EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2619二、坐标系的对准EBL基本组成及工作原理ppt课件2021建立坐标系EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2620建立坐标系EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/写场对准EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2621写场对准EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2三、曝光EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2622三、曝光EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2扫描模式EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2623扫描模式EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2ExposureparameterEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2624ExposureparameterEBL基本组成及工作原理AreadoseEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2625AreadoseEBL基本组成及工作原理ppt课件202LinedoseEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2626LinedoseEBL基本组成及工作原理ppt课件202DotdoesEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2627DotdoesEBL基本组成及工作原理ppt课件2021AreamodeEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2628AreamodeEBL基本组成及工作原理ppt课件202EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2629EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2629LinemodeEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2630LinemodeEBL基本组成及工作原理ppt课件202CirclemodeEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2631CirclemodeEBL基本组成及工作原理ppt课件2ExposurestrategiesUsedbyRaithEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2632ExposurestrategiesUsedbyRa四、临近效应EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2633四、临近效应EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3VisualizationofEnergyDepositionGrid(EDG)EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2634VisualizationofEnergyDeposi高能电子打断PMMA内高分子链示意图EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2635高能电子打断PMMA内高分子链示意图EBL基本组成及工作原理前散射和背散射随PMMA厚度的变化关系EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2636前散射和背散射随PMMA厚度的变化关系EBL基本组成及工作原MonteCarloSimulationsEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2637MonteCarloSimulationsEBL基本组成EnergydepositionEBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2638EnergydepositionEBL基本组成及工作原理ProximityfunctiontrajectoriesenergydepositionenergydistributiondoubleGaussianProximityfunctionproximityfunctionhasthesame

shapeasenergydistribution

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energyandPE!(it’sjustamodel)EBL基本组成及工作原理ppt课件2021/3/2639ProximityfunctiontrajectorieInfluenceofbeamen