半导体硅锗的晶体结构

本章主要讨论:定性介绍能带理论，利用Schrodinger方程和Kroning-Penney模型近似推导关于半导体中电子的状态和能带特点。阐述本征半导体的导电机构，引入了空穴的概念。最后简单介绍几种半导体材料的能带结构。第一章半导体中的电子状态重点和难点：半导体硅、锗的晶体结构（金刚石结构）及其特点半导体的闪锌矿结构及其特点本征半导体及其导电结构、空穴本章主要讨论:第一章半导体中的电子状态重点和难点：半导体硅锗的晶体结构

晶体结构化学键Si，Ge

金刚石型共价键

GaAs

闪锌矿型混合键(共价键+

离子键）§1.1半导体的晶格结构和结合性质能带结构决定材料的性质§1.1半导体的晶格结构和结合性质能带结构决定材料的性质1.1.1金刚石型结构和共价键现代电子学中，重要的半导体材料：硅和锗，它们的最外层电子（价电子）都是四个，它们组合成晶体靠共价键结合。GeSi1.1.1金刚石型结构和共价键GeSi硅和锗的共价键结构共价键共用电子对+4+4+4+4表示除去价电子后的原子形成共价键后，每个原子的最外层电子是八个，构成稳定结构。硅和锗的共价键结构共价键共+4+4+4+4表示除去价电子后的共价键有很强的结合力，使原子规则排列，形成晶体。+4+4+4共价键中的两个电子被紧紧束缚在共价键中，称为束缚电子，常温下束缚电子很难脱离共价键成为自由电子，因此本征半导体中的自由电子很少，所以本征半导体的导电能力很弱。共价键有很强的结合力，使原子规则排列，形成晶体。+4+4+4

在硅和锗晶体中，原子按四角形系统组成晶体点阵，每个原子都处在正四面体的中心，而四个其它原子位于四面体的顶点，每个原子与其相临的原子之间形成共价键，共用一对价电子。硅和锗的晶体结构在硅和锗晶体中，原子按四角形系统组成晶体点阵可看成是两个面心立方晶胞沿立方体的空间对角线互相位移了1/4的空间对角线长度套构而成的金刚石型结构的晶胞将许多正四面体累积起来就得到金刚石结构可看成是两个面心立方晶胞沿立方体的空间对角线互相位移了1/4硅、锗基本物理参数晶格常数硅：5.43089埃锗：5.65754nm埃原子密度硅：5.00×1022/cm-3锗：4.42×1022/cm-3共价半径硅：0.117nm锗：0.122nm数量级硅、锗基本物理参数晶格常数数量级1.1.2闪锌矿型结构和混合键材料：

Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料以及部分

Ⅱ-Ⅵ族化合物如GaAs,InP,AlAs·····化学键：共价键具有一定的极性（两类原子的

电负性不同）共价键+离子键晶胞特点：两类原子各自组成面心立方晶格，沿空间对角线方向彼此位移1/4空间对角线长度套构而成1.1.2闪锌矿型结构和混合键材料：Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体闪锌矿型结构的晶胞闪锌矿型结构的晶胞1.1.3纤锌矿型结构材料：ZnS,ZnSe，CdS与闪锌矿型结构相比相同点：

以正四面体结构为基础构成区别：

具有六方对称性，而非立方对称性共价键的离子性更强1.1.3纤锌矿型结构材料：ZnS,ZnSe，CdS纤锌矿型结构晶胞图属于纤锌矿型结构的晶体有：BeO、ZnO、AIN等纤锌矿型结构晶胞图属于纤锌矿型结构的晶体有：BeO、ZnO、1.2半导体中的电子状态和能带

重点：

电子的共有化运动原子能级分裂以及能带的形成导带、价带与禁带1.2.1原子的能级和晶体的能带1.2半导体中的电子状态和能带重点：1.2.1原一、电子的共有化运动孤立原子：1s,2s,2p,3s,3p,···等电子壳层晶体：不同原子的内外各电子壳层出现交叠，电子可由一个原子转移到相邻的原子，因此，电子可以在整个晶体中运动，称为电子的共有化运动一、电子的共有化运动孤立原子：1s,2s,2p,3s,二、原子能级分裂以及能带的形成二、原子能级分裂以及能带的形成分裂的每一个能带称为允带允带之间无能级称为禁带内层原子受到的束缚强，共有化运动弱，能级分裂小，能带窄；外层原子受束缚弱，共有化运动强，能级分裂明显，能带宽。分裂的每一个能带称为允带允带之间无能级称为禁带内层原子受到的

以金刚石结构单晶硅材料为例能级sp3杂化后，硅原子最外层有四个能量状态；若晶体中有N个原子，能级分裂后形成两个能带，各包含2N个状态。能量高的能带有2N个状态，全空，称为导带；能量低的能带有2N个状态，全满，成为满带或价带。以金刚石结构单晶硅材料为例2学时2学时半导体（硅、锗）能带的特点：存在轨道杂化，失去能级与能带的对应关系。杂化后能带重新分开为上能带和下能带，上能带称为导带，下能带称为价带低温下，价带填满电子，导带全空，升温或光照下价带中的一部分电子跃迁到导带，使晶体呈现弱导电性。导带与价带间的能隙（Energygap）称为禁带（forbiddenband）.禁带宽度取决于晶体种类、晶体结构及温度。当原子数很大时，导带、价带内能级密度很大，可以认为能级准连续半导体（硅、锗）能带的特点：能带产生的原因：定性理论（物理概念）：晶体中原子之间的相互作用（电子共有化运动），使能级分裂形成能带。定量理论（量子力学计算）：电子在周期场中运动，其能量不连续形成能带。能带产生的原因：能带（energyband）包括允带和禁带。允带（allowedband）：允许电子能量存在的能量范围。禁带（forbiddenband）：不允许电子存在的能量范围。允带又分为空带、满带、导带、价带。空带（emptyband）：不被电子占据的允带。满带（filledband）：允带中的能量状态（能级）均被电子占据。导带（conductionband）：电子未占满的允带（有部分电子。）价带（valenceband）:被价电子占据的允带（低温下通常被价电子占满）。能带（energyband）包括允带和禁带。允带又分为空带共价键理论

共价键理论主要有三点：晶体的化学键是共价键，如Si，Ge。共价键上的电子处于束缚态，不能参与导电。处于束缚态的价电子从外界得到能量，有可能挣脱束缚成为自由电子，参与导电。共价键理论共价键理论主要有三点：能带理论共价键理论价带中电子共价键上的电子导带中电子挣脱共价键的电子禁带宽度脱离共价键所需的最小能量定量理论定性理论能带理论与共价键理论的对应关系能带理论共价键理论能带理论与共价键理论的对应关1.2.2半导体中电子的状态和能带重点E(k)～k关系波函数：描述微观粒子（如电子）的运动薛定谔方程：揭示粒子运动的基本规律1.2.2半导体中电子的状态和能带重点（1）自由电子的E与k关系一维恒定势场的自由电子，遵守薛定谔方程：V=0时，方程解为：其中，Ψ(x)为自由电子波函数，k为波矢。上式代表一个沿x方向传播的平面波。由粒子性和德布罗意关系p=hk,E=hv，可得（1）自由电子的E与k关系自由电子的E与k成抛物线关系自由电子的E与k成抛物线关系Uk(x)随x作周期性变化（2）晶体中电子的E与k关系

1.晶体中薛定谔方程及其解的形式晶体中的势场是一个与晶格同周期的周期性函数布洛赫定理指出此方程具有下列形式的解：Uk(x)随x作周期性变化（2）晶体中电子的E与k关系

1自由电子：即自由电子在空间作等几率运动，自由运动而晶体中电子说明晶体中电子的出现的几率是周期性变化的，不同的k说明了不同的共有化运动。自由电子：求解2.布里渊区与能带可得到晶体中电子的E(k)-k关系求解2.布里渊区与能带可得到晶体中电子的E(k)-k关系虚线：自由电子的E(k)-k关系虚线：自由电子的E(k)-k关系

布里渊区特征：（1）k=n/2a(n=±1，±2···)时，能量不连续，形成一系列相间的允带和禁带，其中第一布里渊区：-1/2a<k<1/2a

第二布里渊区：-1/a<k<-1/2a，（2）E(k)=E(k+n/a),E(k)是k的周期性函数，周期为k；（3）禁带出现在k=n/2a处；（4）每一个布里渊区对应一个能带布里渊区特征：E(k)-k的对应意义：1）每一个k对应一个能量状态(能级）2）每个能带有N个能级，而每个能级可以容纳自旋方向相反的两个电子，因此，每个能带可以容纳2N个电子。E(k)-k的对应意义：1.2.3导体、半导体、绝缘体的能带能带理论认为：电子能够导电是因为在外力作用下电子的能量状态发生了变化满带：存在外电场E时，满带中所有电子均以dk/dt=-qE/h逆电场方向运动，但A和a点状态完全相同，满带电子不参与导电。1.2.3导体、半导体、绝缘体的能带能带理论认为：电子能半满带：在外电场作用下，电子吸收能量跃迁到未被电子占据的能级上，能量改变，能参与导电半满带：在外电场作用下，电子吸收能量跃迁到未被电子占据的能级空穴：带正电荷的准粒子价带电子导电等效为带正电的准粒子，即空穴导电半导体的能带空穴：带正电荷的准粒子半导体的能带Eg(禁带宽度):

脱离共价键所需的最低能量Ev(价带顶)：是价带电子的最高能量Ec(导带底)：导带电子的最低能量本征激发：温度一定时，价带电子激发成为导带电子的过程∴Eg=EC-EVEg(禁带宽度):脱离共价键所需的最低能量导带价带禁带导带价带禁带半满带价带禁带绝缘体半导体导体绝缘体、半导体和导体能带示意图导带价带禁带导带价带禁带半满带价带禁带绝缘体半导体导体绝缘体金属中，由于组成金属的原子中的价电子占据的能带是部分占满的，所以金属是良好的导电体

半导体和绝缘体的能带类似，即下面是已被价电子占满的满带（其下面还有为内层电子占满的若干满带），亦称价带，中间为禁带，上面是空带。半导体中导带的电子和价带的空穴参与导电，这是与金属导体的最大差别。绝缘体的禁带宽度很大，激发电子需要很大的能量，在通常温度下，能激发到导带中的电子很少，所以导电性很差。金属中，由于组成金属的原子中的价电子占据的能带是部分占满的，绝缘体、半导体和导体区别绝缘体：禁带宽度很大，激发电子需要很大能量，通常温度下，很少电子能够被激发到导带半导体：电子、空穴参与导电两种载流子使半导体表现出许多奇异的特性，用来制造形形色色的器件导体：电子参与导电绝缘体、半导体和导体区别绝缘体：禁带宽度很大，激发电子需要很半导体硅锗的晶体结构1.电子能带结构由它们所在的势场决定，与组成晶体的原子结构与晶体结构（），与晶体中原子数目的多少（）。

A.有关B.无关2.处于低能级的内壳层电子共有化运动()，所以能级分裂()，能带较()；处于高能级的外壳层电子共有化运动()，能级分裂()，因而能带较宽。弱，强，大，小，窄,宽1.电子能带结构由它们所在的势场决定，与组成晶体的原子结构与1.3.1半导体中E(k)与k的关系半导体中，起作用的是接近于能带底部或能带顶部的电子。将E(k)在k=0附近按泰勒级数展开

K值很小，所以(dE/dk)k=0=0EC:导带极小值1.3半导体中电子的运动有效质量1.3.1半导体中E(k)与k的关系EC:导带极小值1.3对确定的半导体，(d2E/dk2)k=0是定值，令得到

mn*:能带底电子的有效质量

E（k）＞Ecmn*＞0与自由电子的E(k)-k关系相似对确定的半导体，(d2E/dk2)k=0是定值，令与自由电子同理，设价带极大值EV令可得mn*:价带顶电子有效质量而价带顶附近E(k)<EV,mn*<0同理，设价带极大值EVmn*：可利用回旋共振实验测出∴导带底和价带顶附近E(k)与k的关系能够确定mn*：可利用回旋共振实验测出∴导带底和价带顶附近E(k)1.3.2半导体中电子的平均速度讨论：导带底：

mn*＞0，K为“+”时，V也为正值价带顶：

mn*<0，

K为“+”时，V为负值电子的运动可以看成波包的运动，波包的群速即电子运动的平均速度。1.3.2半导体中电子的平均速度讨论：电子的运动可以看成波1.3.3半导体中电子的加速度在外力作用下，半导体中电子的加速度为：1.3.3半导体中电子的加速度在外力作用下，半导体中电子的半导体硅锗的晶体结构F为外力

F=mn*a电子所受真实合力为：外力+原子核势场和其它电子势场力而根据势场的作用由有效质量反映，mn*的正负反应了晶体内部势场的作用。∴外力F与电子的加速度就通过mn*联系起来而不用涉及内部势场1.3.4有效质量的意义F为外力F=mn*a1.3.4有效质量的意义有效质量的特点(1)有效质量的正负与位置有关。能带顶部附近，有效质量为负；能带顶部附近，有效质量为正。(2)有效质量的大小由共有化运动的强弱有关。能带越窄，二次微商越小，有效质量越大（内层电子的有效质量大）；能带越宽，二次微商越大；有效质量越小（外层电子的有效质量小）。有效质量的特点（3）有效质量与惯性质量不同，存在类比关系

（4）有效质量概括了半导体内部势场的作用，使得在解决半导体中电子在外力作用下的运动规律时，可以不涉及到半导体内部势场的作用。（5）可以直接由实验测定，因而可以很方便地解决电子的运动规律.（3）有效质量与惯性质量不同，存在类比关系（4）有效质量概1.E~k曲线表示了两种可能导带结构，说明其中哪一种对应电子有效质量较大。为什么？1.E~k曲线表示了两种可能导带结构，说明其中2.电子的有效质量变为∞的物理意义是什么?

从能量的角度讨论.电子能量的变化从上式可以看出，当电子从外场力获得的能量又都输送给了晶格时,电子的有效质量变为∞.此时电子的加速度即电子的平均速度是一常量.或者说,此时外场力与晶格作用力大小相等,方向相反.2.电子的有效质量变为∞的物理意义是什么?此时电子的加速度已知一维晶体的电子能带可写为式中，a为晶格常数。试求：（1）能带的宽度；（2）电子的波矢k状态时的速度；（3）能带底部和顶部电子的有效质量。应用题已知一维晶体的电子能带可写为应用题解答：由E(k)关系得：令，得：所以（1）（2）解答：由E(k)关系得：（1）当时，代入式（2）得对应E(k)的极小值。

当时，代入式（2）得对应E(k)极大值当时，代入式（2）得根据上述结果，求得Emin和Emax即可求得能带宽度。因为将代入得根据上述结果，求得Emin和Emax即可求得能带宽度。将代入得故：能带宽度（2）将代入得（3）（3）1.4半导体的导电机理导电条件：有外加电压、有载流子载流子：晶体中荷载电流（或传导电流）的粒子载流子产生途径：升温、光照等等导电机构：电子导电、空穴导电本征(intrinsic)半导体：不含任何杂质的半导体1.4半导体的导电机理导电条件：有外加电压、有载流子空穴的概念

在牛顿第二定律(a=F/mn*)中要求有效质量为正值，但价带顶电子的有效质量为负值。为了解决这一问题，引入空穴的概念。价带中不被电子占据的空状态价带顶附近空穴有效质量>0

数值上与该处的电子有效质量相同，即

mp*＝－mn*

，空穴带电荷＋q（共价键上少一个电子，破坏局部电中性，显正电）。空穴的能量坐标与电子的相反，分布服从能量最小原理。空穴的概念在牛顿第二定律(a=F/mn*)中要求有效质量为在绝对0度（T=0K）和没有外界激发时,价电子完全被共价键束缚着，本征半导体中没有可以运动的带电粒子（即载流子），它的导电能力为0，相当于绝缘体。在常温下，由于热激发，使一些价电子获得足够的能量而脱离共价键的束缚，成为自由电子，同时共价键上留下一个空位，称为空穴。载流子、自由电子和空穴在绝对0度（T=0K）和没有外界激发时,价电子完全被共价键束共价键共用电子对+4+4+4+4表示除去价电子后的原子绝对温度为零时共价键共+4+4+4+4表示除去价电子后的原子绝对温度为零时+4+4+4+4自由电子空穴束缚电子热激发后+4+4+4+4自由电子空穴束缚电子热激发后两种情况下的能带图两种情况下的能带图如何理解空穴导电？设价带有电子跃迁到导带。设电子电流密度为J，则

J＝价带（k状态空出）电子总电流设想以一个电子填充到空的k状态，

k状态电子电流＝（-q）v（k）

v(k):k状态电子的运动速度如何理解空穴导电？设价带有电子跃迁到导带。设电子电流密度为J填入这个电子后，价带又被填满，总电流应为零，即

J＋（-q）v（k）＝0

J＝（＋q）v（k）这就是说，当价带k状态空出时，价带电子的总电流，就如同一个正电荷的粒子以k状态电子速度v（k）运动时所产生的电流。填入这个电子后，价带又被填满，总电流应为零，即引入空穴的意义把价带中大量电子对电流的贡献用少量的空穴表达出来。半导体中有电子和空穴两种载流子，而金属中只有电子一种载流子（1）空穴具有正的有效质量（2）空穴具有正电荷+q，价带导电I=(+q)v(ke)（3）空穴的速度与导带电子方向相反。（4）价带中缺少一个电子，就失去了这个电子能量Ee(ke),相当于在全满价带中加入一个空穴，其能量为Eh(kh)，使价带减少Ee(ke)的能量

(5)价带中缺少一个电子，空出ke状态，相当于在价带中加入一个空穴设其状态为kh表示，加入一个kh相当于加入一个-ke状态到价带。引入空穴的意义把价带中大量电子对电流的贡献用少量的空穴表达出1在一个电子能带图中，较高能量状态中的电子具有较大的能量；而对于空穴的能量是由上到下（）。

A.递减；B.递增；C.不变2与半导体相比较，绝缘体的价带电子激发到导带所需的能量（）

A.比半导体的大

B.比半导体的小C.与半导体的相等

1在一个电子能带图中，较高能量状态中的电子具有较大的能量；1.5回旋共振实验目的：测量电子的有效质量，以便采用理论与实验相结合的方法推出半导体的能带结构1.5.1k空间等能面k空间等能面为k空间能量相同的各k值点所构成的曲面1.5回旋共振实验目的：测量电子的有效质量，以便采用理论与半导体硅锗的晶体结构简单情况下设k空间的三个基矢为,则波矢表示为简单情况下设k空间的三个基矢为,则波矢表示为当E(k)为确定值时，(kx,ky,kz)构成一个封闭的曲面

是一个半径为

的球面。在这个面上能值相等当E(k)为确定值时，(kx,ky,kz)构成一个封闭的曲面设极值点出现在处，

令分别表示沿三个方向的导带底的电子有效质量（对空穴也一样）

更一般的情况下1）对于各向异性的晶体，E(k)与k的关系沿不同k

方向不一定相同,不同k方向,电子有效质量不同2）能带极值不一定位于k＝0处设极值点出现在处，更一般的情况下其中上式代表的是一个椭球等能面，等能面上的一个波矢k代表一个电子状态，对应一个能量E(k)其中上式代表的是一个椭球等能面，等能面上的一个波矢k代表一个1.晶体中电子在磁场作用下运动半导体样品置于均匀恒定磁场运动轨迹为螺旋线，圆周半径为r，回旋频率为1.5.2回旋共振1.晶体中电子在磁场作用下运动半导体样品置于均匀恒定磁场1.实验目的测量电子的有效质量，以便采用理论与实验相结合的方法推出半导体的能带结构实验原理固定交变电磁场的频率，改变磁感应强度以观测吸收现象。磁感应强度约为零点几T2.回旋共振实验实验目的2.回旋共振实验

等能面的形状与有效质量密切相关

球形等能面

有效质量各向同性，即只有一个有效质量

椭球等能面有效质量各向异性，在不同的波矢方向对应不同的有效质量等能面的形状与有效质量密切相关

等能面为球面半导体样品置于均匀恒定磁场中，回旋频率为以电磁波通过半导体样品，交变电场频率等于回旋频率时，发生共振吸收测出频率和电磁感应强度便可得到mn*等能面为球面

等能面为椭球（有效质量各向异性）电子受力电子运动方程等能面为椭球（有效质量各向异性）电子做周期性运动，取试解

代入前式得电子做周期性运动，取试解代入前式得要使有异于零的解，系数行列式必须为零，即：回旋频率为式中要使有异于零的解，当交变电磁场频率ω与ωc相同时，就得到共振吸收为能观测出明显的共振吸收峰，就要求样品纯度要高，而且实验一般在低温下进行，交变电磁场的频率在微波甚至在红外光的范围。实验中常是固定交变电磁场的频率，改变磁感应强度以观测吸收现象。磁感应强度约为零点几T。当交变电磁场频率ω与ωc相同时，为能观测出明显的共振吸收峰，1.6Si导带结构的回旋共振结果

1)若B沿[111]方向，只有一个吸收峰

2)若B沿[110]方向，有2个吸收峰

3)若B沿[100]方向，有2个吸收峰

4)若B沿任意方向，有3吸收峰1.6Si导带结构的回旋共振结果

根据以上结果,可以假设:1)导带最小值不在k空间原点,在[100]方向上,即是沿[100]方向的旋转椭球面2)根据硅晶体立方对称性的要求,

也必有同样的能量在方向上3)如图l-22所示,共有六个旋转椭球等能面,电子主要分布在这些极值附近根据以上结果,可以假设:设是第S个极值所对应的波矢，S＝1、2、…、6，极值处能级为Ec，则设是第S个极值所对应的波矢，S＝1、2、…、6，极值处

以沿[001]方向的旋转椭球为例：设k3轴沿[001]方向，k1,k2轴位于(001)面内，互相垂直，这时沿k1,k2轴有效质量相同设,,则等能量方程为以沿[001]方向的旋转椭球为例：选取k1使磁感应强度B位于k1轴和k3轴所组成的平面内，且同k3轴交角，B的方向余弦分别为：选取k1使磁感应强度B位于k1轴和k3轴所组成的平面内，且同由上讨论可得如下结果：(1)磁感应沿[111]方向，则与上述六个<100＞方