真空磁控溅射镀膜设备中罗茨泵的保养与维护_第1页
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文档简介

真空磁控溅射设备的真空度高低及稳定性直接决定了镀膜产品性能，真空条件控制是镀膜的关键技术之一。通过开发使用罗茨泵关键零部件的安装、拆卸装置，可以有效降低罗茨泵的日常自主保养成本和周期。罗茨泵是容积真空泵的一种，在泵腔内，有2个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，一个转子由连接轴直接由驱动电机驱动，另一个转子通过安装在罗茨泵转子上的齿轮进行传动。通过转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间内，再经排气口排出。图1为罗茨泵结构示意图。图1罗茨泵结构示意图罗茨泵使用过程的维护（1）轴套拆卸装置：以前的方法不但耗时较长，并且很容易对主轴表面造成损伤，从而保证不了泵腔内的真空度。为此，研制了一个由轴套夹、连接杆、连接面、冲击块和端面组成的装置，通过冲击块在连接杆上的空行轨迹对端面施加作用力，使其端面向外拉伸，通过连接杆带动轴套夹向外运行，快速的将硬度较高的且与轴静密封的轴套拆卸下来。轴承拆卸装置示意图见图2。图2轴承拆卸装置图（2）转子安装固定装置：为解决人工安装出现的问题，在罗茨泵驱动端安装可调整角度的驱动轴固定装置，如图3所示。首先将该装置的固定环套入罗茨泵传动杆内，通过固定销插入固定环和传动杆原有销孔内。然后通过在两个转子之间插入0.3mm的塞尺，在竖直转子和罗茨泵内壁之间插入1mm的塞尺，确定转子的位置，将连接板根据角度固定到带有螺纹的支撑杆上，用螺母紧固好，防止在紧固齿轮过程中出现位移。图3转子安装固定装置图（3）活塞安装装置：研制的一种活塞环安装工具如图4所示，使用该工具可以有效降低活塞的安装难度，有利于活塞快速放置到套筒内，而且放置过程中避免了活塞环的损坏，保证了活塞的密封性能。可实现活塞的快速安装，在任何需要更换活塞的地方均能使用，无使用场所的限制。图4活塞环安装工具图真空磁控溅射镀膜过程中，设备状态对生产工艺控制难度的影响很大，设备损耗快，维护频繁，通过辅助装置的开发

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