年产2.8万片碳化硅晶体项目（一期工程）环评报告公示

1项目名称年产2.8万片碳化硅晶体项目(一期工程)建设单位法人代表李文勇联系人陈荣坤通讯地址18号联系电话传真——邮政编码——建设地点河北省清河县庐山南路18号立项审批部河北清河经济开发区行政审批局批准文号清开审投资备[2020]331号建设性质新建☑改扩建口技改□行业类别及代码电子专用材料制造占地面积(平方米)绿化面积(平方米)0总投资(万元)其中：环保投资(万元)环保投资占总投资比例(%)评价经费(万元)预期投产日期工程内容及规模：碳化硅(SiC)是由硅和碳组成的化合物半导体材料，是目前晶体生产中技术水平最成熟、应用最广泛的半导体材料，拥有高频、高功率、抗高温、抗高辐射、光电性能优异等特点，特别适合于制造射频通信器件、光电子器件、电力电子器件等。碳化硅晶片是对碳化硅晶体进行精加工，使其成为一定规格的晶片，方便外延等后续工艺，在5G通信、新能源和军工方面有广泛应用。为满足市场需求，体技术股份有限公司决定投资16673.6万元，租用清河县庐山南路18号宇腾羊绒制品有限公司(下称宇腾公司)厂区内现有厂房，实施“河北天达晶阳半导体技术股份有限公司年产2.8万片碳化硅晶体项目”。项目分两期建设，其中一期建设一条4英寸半绝缘型碳化硅晶片的生产线及其配套设施，年产1.2万片4英寸碳化硅晶片；二期建设一条6英寸半绝缘型碳化硅晶片生产线及其配套设施，年产1.6万片6英寸碳化硅晶片。项目已于2020年11月16日在河北清河经济开发区行政审批局备案(清开审投资备〔2020〕331号)。本次仅针对项目一期建设内容(以下简称“本项目”)进行评价，二期工程暂不建设，后续2如需扩建，另行备案及履行环评。1、工程内容及规模本项目租用河北清河经济开发区庐山南路18号宇腾公司厂区内的现有厂房(产权归属于河北清河经济开发区管委会),建设一条4英寸半绝缘型碳化硅晶片生产线。本项目总建筑面积5000m²,其中生产车间2900m²,办公区、宿舍区合计2100m²,新购置设备67台。项目建成后年产4英寸碳化硅晶片1.2万片。2、产品方案本项目产品为4英寸半绝缘型碳化硅晶片，其产品方案为见表1。表1产品方案一览表产品名称产量(万片/年)规格用途4英寸碳化硅晶片直径99.5-100mm厚度0.5mm片状圆柱体5G通讯军用雷达3、主要生产设备设施及经济技术指标本项目主要建构筑物见表2,主要生产设备情况见表3,主要经济技术指标见表表2主要建构筑物一览表序号工程名称数量(座)占地面积建筑面积层数功能结构备注1生产车间11门厅、生长区、生产辅助房间、动力区轻钢结构租赁2办公区12员工办公钢筋混凝土租赁3生活区15员工住宿钢筋混凝土租赁4合计一————表3主要生产设备一览表序号设备名称台(套)规格型号用途14英寸半绝缘型单晶炉单晶生长2单线切割机1切割晶体3数控外圆磨床1MK1320-500磨圆晶体4混料机1QM-Q4X混合原料5纯化器9PS4-MT3-R-2纯化6检漏仪1ZQJ-2000检测设备7洁净石墨坩埚——耗材3续表3主要生产设备一览表序号设备名称台(套)规格型号用途8已粘接籽晶的洁净石墨坩埚盖——耗材9配变电站1用电负荷：三相380V、三相208V、单相220V——纯水制备系统1双阀双罐全自动软水器，6m³/h为循环冷却水、冷冻水系统提供纯水通风排气系统2————换热系统1板式换热器冷冻水与冷却水换热空调系统2组合式空调机组——空压机组1——为设备控制提供动力照明系统1————冷冻系统1螺杆式冷水机组和冷却塔循环水冷却系统冷源油环真空泵1——长晶、退火工序抽真空序号指标名称单位指标产品指标碳化硅晶片1产量万片/年2直径英寸4工艺指标1长晶温度℃2长晶时间小时3长晶压力4退火温度℃5退火时间天6退火压力kPa动力消耗1新水耗量m³/d31.28(34.28)2电力万kWh/a综合指标1项目建设总投资万元2税后财务内部收益率%20.063投资回收期年4年工作时间天注：括号外为采暖季，括号内为非采暖季。44、主要原辅材料消耗本项目主要原辅材料存储量、包装形式和使用方式见表5。表5主要原辅材料一览表序号名称存储量单位包装形式存储位置1高纯SiC原料公斤袋装原料间2高纯石墨毡公斤箱装石墨毡存放室3高纯Ar气(50L装)瓶瓶装氩气瓶间4已粘接的SiC籽晶片存储箱石墨毡存放室5、公辅设施(1)供电本项目总用电量514万kWh/a,用电来自市政电网，由开发区两路10kV电缆线路引入。项目建设配电系统基于原有厂房，根据需求设变配电站、装设高压开关柜、直流电源装置、干式变压器、低压配电屏等。(2)供热本项目供热分为生产供热和生活供热，生产供热采用4英寸碳化硅单晶生长炉自带的电炉；生活供热为采暖期宿舍取暖用热依托宇腾公司的现有采暖设施，热源为园区供热站。(3)空调系统本项目有洁净厂房要求，一层晶体生产以及切割为J9级。生产区通风系统排风为热排风，采用统一排风系统直接排放。生长区设排风系统，气体直接排放。本项目生产厂房无自然通风的洁净区疏散走道，生长区、展厅设计了排烟系统，在排烟支管和风机入口处设有当烟气温度超过280℃时能自动关闭的排烟防火阀，防火阀与风机联锁，排烟风机采用混流风机。(4)纯水制备本项目新建1套纯水制备系统，为本项目工艺循环冷却系统补水、循环水冷却系统补水等供应纯水，本项目非采暖季纯水用量为6.5m²/d,采暖季纯水用量3.5m³/d。以市政供应新水为水源，使用双阀双罐的全自动软水器制备，采用离子交换工艺，纯水制备能力6m³/h,可满足项目需求。(5)特种气体供应本项目使用的特殊气体为氩气，作为长晶过程的保护气使用。氩气直接对外采5购50L/罐的罐装气体，所产生的废罐由厂商回收。(6)压缩空气本项目新建压缩空气系统1座，为本项目供应压缩空气。由无油风冷涡旋空压机制备。干燥器为微热再生吸附式干燥器，配两级后过滤，达到工艺要求品质。(7)制冷设备本项目冷冻水制备采用螺杆式冷水机组，使用R134A作为制冷剂，制备出的冷冻水为7/12℃。冷冻水主要用作空调、工艺冷却水冷源。R134A为环保制冷剂，无毒无腐蚀性，不易燃易爆，对臭氧层无损害。(8)循环水冷却系统本项目循环水冷却系统分为采暖季和非采暖季，非采暖季采用冷冻水系统，通过螺杆式冷水机组制取冷冻水；采暖季采用冷却塔系统。循环水冷却系统主要作为工艺冷却系统冷源。(1)给水本项目非采暖季总用水量为16834.28m²/d,重复用水量为16800m³/d,新水用量为34.28m³/d,水重复利用率99.8%;采暖季总用水量为12031.28m³/d,重复用水量为12000m³/d,新水用量为31.28m³/d,水重复利用率99.7%。①新水本项目新水由清河经济技术开发区园区管网集中供水，非采暖季用量为34.28m³/d,采暖季用量为31.28m³/d,主要用于纯水制备系统和冷却塔外循环系统的补充水、切割磨圆清洗水和生活用水。纯水制备系统制的纯水用于工艺冷却系统和循环水冷却系统补充水。工艺冷却系统主要用于长晶和退火阶段的快速冷却；循环水冷却系统主要为空调和工艺冷却系统提供冷源。工艺冷却系统补充水2.8m³/d,循环水冷却系统非采暖季补充水2.4m³/d,冷却塔外循环系统补充水24m²/d,生活用水3.74m³/d,切割用水0.02m³/d,磨圆用水0.02m²/d,采暖季按4个月计算。其中工艺冷却系统补水、循环水冷却系统为间歇性补水，5-10小时补水一次，根据循环水水温进行控制。循环水冷却系统非采暖季采用闭式冷冻水系统作为冷源。②重复用水本项目重复用水量非采暖季16800m³/d,采暖季12000m³/d。重复用水主要为工艺冷却系统循环水7200m³/d、循环水冷却系统循环水4800m³/d、冷却塔外循环系统循环水4800m³/d。6本项目废水产生量非采暖季为8.732m³/d,采暖季为9.332m³/d,其中生活污水3m²/d、磨圆废水0.016m/d、切割废水0.016m²/d、纯水制备排污水非采暖季1.3m/d,采暖季0.7m³/d、冷却塔外循环水5m³/d。生活污水经宇腾厂区现有化粪池预处理后进入园区市政污水管网，切割、磨圆废水和纯水制备排污水直接排入园区市政污水管网。本项目水量平衡图见图1,括号内为非采暖季水量，括号外为采暖季水量，无括号为全年水量。A纯水制备纯水制备0.7(1.3)循化水冷却系统(夏季)0.7(1.3)55水切割用水园区污水管网园区污水管网磨圆用水生活用水本项目水量平衡见表6。水量平衡一览表 序号用水单元总用水量新水用量重复用水量损耗水量废水量循环用水量合计产生量排放量1工艺冷却系统7202.8002循环水冷却系统(夏季)00480048000003纯水制备系统0004冷却塔外循环系统482448004800555切割废水000.0040.0160.0167水量平衡一览表序号用水单元总用水量新水用量重复用水量损耗水量废水量循环用水量合计产生量排放量6磨圆废水007生活用水00338合计本项目占地内共分生产区、办公区、生活区，建筑面积为5000m²,生产区为1层构造，占地面积2900m²,生产区功能有长晶区、参观大厅、动力区、生产辅助区等；生活区位于生产区南侧，为5层单元楼，占地面积330m²;办公区位于生产区北侧，为2层构造，占地面积225m²。8、劳动定员及工作制度本项目劳动定员34人，全年生产天数为365天，三班制，年工作8760小时。9、产业政策符合性本项目生产4英寸半绝缘型碳化硅晶片，根据《产业结构指导目录(2019年本) (修正)》,本项目为其中的“第二十八、信息产业”中第22类“半导体、光电子元件、新型电子元件”,属于鼓励类项目；不属于《关于印发河北省新增限制和淘汰类产业目录(2015年版)的通知》(冀政办发[2015]7号)中淘汰类项目，且该项目已由河北清河经济开发区行政审批局以清开审投资备〔2020〕331号备案(见附件),本项目的建设符合国家产业政策。本项目属于电子专用材料制造项目，属于高新技术产业，《河北清河经济开发区总体规划(2019-2030年)环境影响报告书》中高新技术产业发展方向为加快推动信息安全产业全面发展、推动电子商务蓬勃发展、重点推动既有产业关联性电子信息产业快速发展；同时适宜的发展航空航天、新材料技术、高技术服务业、新能源及节能技术、资源与环境技术、高新技术改造传统产业等高新技术产业。本项目符合新材料技术的发展方向，符合主导产业定位，园区管委会也出具意见同意项目入8本项目选址位于河北清河经济开发区中宇腾公司厂区内现有厂房，占地为二类工业用地，不属于环境准入负面清单中的项目，河北清河经济开发区管委会已出具意见同意项目入区。12、与“三线一单”符合性分析《河北清河经济开发区总体规划(2019-2030年)环境影响报告书》针对开发区提出了明确的“三线一单”管控要求，本项目与开发区“三线一单”符合性分析见表7。表7“三线一单”符合性分析一览表类别“三线一单”要求项目情况是否符合生态保护红线根据《河北省生态保护红线》,清河县红线区域为沿清凉江-老沙河呈东北-西南方向分布的红线区、沿漳卫南运河间断分布的红线区、南水北调输水管线、南水北调构筑物、主要交通道路红线区、丰收渠和胜利渠水域、产城融合区、文物保本项目在宇腾公司区内现有厂房建设，一区占地不在生态保护红线范围内符合环境质量底线大气环境质量底线将环境空气质量满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准、《环境空气质量非甲烷总烃限值》(DB13/1577-2012)、《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2-2018)附录D中的限值等标准要求作为大气环境质量底线要求，建议园区现有企业及入驻企业污染物排放满足排放标准要求。本项目颗粒物排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2颗粒物无组织排放限值符合地表水环境质量底线《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)V类标准。本项目生产废水和生活污水均由污水管网排入清河经济开发区污水处理厂进行进一步处理，不直接外排符合地下水环境质量底线-2017)《地下水环境质量标准》(GB/T3838-8-2017)Ⅲ类标准。本项目为IV类项目，不会对地下水环境产生明显影响符合声环境质量底线根据《声环境质量标准》(GB3096-2008)声环境功能区分类规定划定，工业生产、仓储物流区执行《声环境质量标准》(GB3096-2008)规定的3类区标准。本项目各生产设备采取隔声降噪措施后，满足《声环境质量标准》(GB3096-2008)要求符合9类别“三线一单”要求项目情况是否符合资源利用上限水资源利用上限根据《河北省人民政府关于公布平原区地下水超采区、禁采区和限采区范围的通知》(冀政函[2017]48号),本项目所在地属于深层地下水严重超采区和禁地下水开采量为0万m³/a,开发区再生水综合利用效率达到100%,南水北调水资源取用量不超过1350.5万m²/a,本项目用水量符合规划水资源利用上限符合土地资源利用上限严格控制土地开发利用规模，对耕地“先补后占，实现占补平衡”,杜绝耕地数量的减少。本项目在宇腾公司现有厂区内现有厂房实施，不新增用地。符合环境准入负面清单禁止资源消耗高、环境污染重、废物难处理、不符合不满足河北省区域禁(限)批项目相关要求、不符合国家产业政策要求、不符合行业准入条件要求、不符合节能减排要求的项目进入。本项目符合现行国家产业政策要求，不属于禁止类和限制类行业。符合与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题：本项目为新建项目，位于清河经济技术开发区，利用宇腾公司厂区内现有闲置厂房(隶属于开发区管委会)进行生产，该厂房于2012年建成，后作为宇腾公司羊绒分拣车间，无机械设备，无污染物。在天达晶阳公司租赁厂房前，宇腾公司已将厂房腾空。本项目属于高新技术，对车间有洁净度要求，目前车间未达到项目所需的洁净度要求，后续施工会完善厂房洁净程度。距27km,面积501km²,境域位于东经115°30′～115°50′,北纬36°55′~本项目位于河北清河经济开发区庐山南路18号宇腾公司厂区现有闲置厂房(隶属于开发区管委会),厂址中心坐标北纬37°1’46.08",东经115°39’11.80"。本项目北临闽江路，南临顶佳佳羊绒制品有限公司，西临庐山路，东为宇腾羊绒有限公司厂房。本项目南距鹏程学校新校区230m,东距陈二庄村380m,西距堂上村350m。距离本项目最近的敏感点为本项目南侧230m处的鹏程学校。厂址地理位置图见附图1,周边关系图见附图2。要分布在坝营镇南部一带，最低处海拔高程为27.6m;是清河县的主要粮棉区；本项目所在区域属于沙丘平地，地势平坦。折处，发育较大规模。在北北东(或北东)断裂的控制下，形成了一系列北东相向结合区域地质资料，对本项目所在区进行了地层时代划分，按照由新到老(由第四系平原组(Q)地层，底界深度370m～600m,厚度300m～600m,地层岩性少量的暗色矿物，分选性—磨圆度中等，底界埋深1160m,厚度790m。上第三系馆陶(Ng)底层底界埋深1756m,厚度180m。本组底层岩性上部为紫本项目所在地层属于第四系全新统，岩性为粉砂性土壤、粘土、沙土等。5、地表水系卫运河源于河南辉县苏门山，汇漳河、卫河、经馆陶、临西县在本县东部入境，凉江，全长26.4km,底宽28～32m,边坡1:2,纵坡1/20000,控制面积380km²,出口渠底高程21.6m,设计流量165m²/s,最大蓄水能力345万m²。流量112m²/s,蓄水能力220万m³。丰收渠来水水源主要为清河县城及南部10个乡担负着西部10个乡镇的排灌任务，是县内主要排灌渠道之一。丰收一支渠西起刘20m³/s,最大蓄水能力20万m²,属于排灌渠。距离本项目最近的地表水体为东南侧约0.3km处的丰收渠，项目产生的废水经园区污水管网送至园区污水处理站进一步处理，不直接外排。项目所在区域属暖温带半湿润大陆性季风气候，四季分明，春季干旱多风，夏主要气象气候参数见表8。表8主要气候气象参数一览表序号单位数据序号单位数据1年平均气温℃6年日照时数h2极端最高气温℃7无霜期d3极端最低气温℃8年平均风速4年平均降雨量mm9年最大风速5最大降雨量日数d4年平均相对湿度%□O社会环境简况(社会经济结构、教育、文化、文物保护等):布的《2020年清河县人民政府工作报告》,2019年全年完成生产总值增长7%,固定资产投资增长8.3%,社会消费品零售总额增长7.6%,城镇居民人均可支配收入增长7.5%,农村居民人均可支配收入增长11%,完成全部财政收入17.42亿元，公共财产预算收入9.37亿元，增长9.6%。本项目位于清河经济开发区，周边交通便利。2、环境功能区划本项目不涉及自然保护区、风景名胜区和其他需要特殊保护的区域，环境3、工业园区规划河北清河经济开发区总规划面积约为40平方公里，四至范围为：清水河以东区域为东至京九铁路、北至赣江街、南至沅江街；清水河以西区域为北至邢清公路、南至闽江街(珠峰路以西为东大线)、西至清河县界。《河北清河经济开发区总体规划环境影响评价报告书》已于2020年9月通过河北省生态环境厅审查。(1)产业规划根据《河北清河经济开发区总体规划(2019-2030年)环境影响报告书》,清河厂于2017年8月建成投运，设计供水能力为12万m³/d,目前已分配南水北调供水该污水处理厂于2012年7月建成投运，日处理规模为4.0万m³,收水范围为河北清300mg/L、NH₃-N35mg/L、TN45mg/L、TP3mg/L。区污水处理厂，处理规模4万m³/d,处理后达一级A标准后，经深度处理后回用于本项目生活污水经宇腾厂区现有化粪池预处理后由市政管网送至污水处理站处理，生产废水收集后排入污水管网送至清河经济开发区污水处理厂进行进一步处理。③供热设施规划采暖期本项目宿舍依托宇腾厂区现有采暖设施，由园区供热管网统一供热。生产车间不设采暖设施，生产使用的感应加热真空炉使用电加热。区东、西区。日供气量1.4万Nm³/d。本项目生产过程不使用天然气。《河北清河经济开发区总体规划(2019-2030年)环境影响报告书》与2020年表9规划环评审查意见符合性一览表规划环评审查意见本项目符合性加强环境准入，推动产业转型升级和绿色发展入区企业应符合《产业结构调整指导目录(2019年本)》(发改委令2019第29号)、《河北省新增限制和淘汰类产业目录(2015年版)》地区经济社会和生态环境保护协调的指导意见》等文件规定要求，严格落实环评报告中生态环境准入清单的要求。本项目属于新建项目，项目建设内容符合《产业结构调整指导目增限制和淘汰类产业目录(2015年本)》等现行相关文件规定要求。本项目符合园区规划布局及空间管控、负面清单要求。符合加强空间管制，优化生产空间和生活空间尽快落实村庄搬迁计划，控制开发区边界外居民点向开发区方向发展，确保开发区内企业与敏感点保持足够的防护距离，减少突发事件可能对居民区产生的影响。开发区村庄搬迁完成前，应严格落实报告书提出的空间管控要求，合理控制开发区发展规模和开发强度。本项目距最近的村庄堂上村350m,符合开发区发展规模。符合加强总量管控，推进环境质量改善。按照最不利条件并预留一定安全余量的原则，提出的污染物排放总量控制上线作为开发区污染物排放总量管控限值。结合区域污染物减排控污水平，推动环境质量改善。本评价对SO₂、NO、COD和氨氮提出了总量控制指标。符合加强区域环境污染防治加强固体废物处理，危险废物坚持无害化、减实园区环境风险防范和环境应急预案，提高环本项目所在工业园区已开展环境风险应急预案，同时本评价对项目环境风险可能发生的事故提出了完善的环境风险防范措施和应急处置方案。符合综上分析可知，本项目符合规划环评审查意见要求。建设项目所在地区域环境质量现状及主要环境问题(环境空气、地面水、地下水、声环境、生态环境等)1、环境空气质量状况年平均浓度值为111μg/m³,PM₂s年平均浓度值为59μg/m³,SO₂年平均浓度值为23μg/m²,NO₂年平均浓度值为31μg/m²,CO24小时平均第95百分位数值为2mg/m²,0₃最大8小时滑动平均值的第90百分位数值为200μg/m³,清河县环境空气综合指污染物年评价指标现状浓度评价标准占标率(%)达标情况年平均质量浓度超标年平均质量浓度超标年平均质量浓度达标年平均质量浓度达标24小时平均第95百分位数值24达标最大8小时滑动平均值的第90百分位数值超标影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2-2018)中6.4.1项目所在区域达标判断规定：2、声环境质量状况根据《河北清河经济开发区总体规划(2019-2030年)环境影响报告书》中声环境质量现状监测结果可知，区域昼间声级值在52.0～59.0dB(A)之间，夜间声级3、地下水质量状况根据《河北清河经济开发区总体规划(2019-2030年)环境影响报告书》,区域标。同时，根据《中国水利水电科学研究院学报》第12卷第4期中《河北省清河县高氟地下水处理的实验研究》,清河县的地下水根据《河北清河经济开发区总体规划(2019-2030年)环境影响报告书》可知，区域土壤采样点各项监测因子其标准指数均<1,均满足《土壤环境质量建设用地表1及表2第二类用地筛选值。主要环境保护目标(列出名单及保护级别):本项目所在区域无自然保护区、风景名胜区、世界文化和自然遗产地等特殊保护目标，根据该项目污染物排放特征及所处环境特点，大气环境质量评价为三级，不设大气环境保护目标；本项目距丰收渠300m,生产废水排入园区污水管网，生活污水经化粪池处理后通过污水管网送至清河经济开发区污水处理厂进一步处理，故不设置地表水环境保护目标；本项目不进行地下水和土壤环境影响评价，故不设地下水和土壤环境保护目标；本项目为现有厂区内新建项目，区域声环境质量现状为3类，周边200m范围内无声环境敏感目标，故不设声环境保护目标；项目风险物质为废油，根据《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ169-2018),本项目环境风险潜势为I,展开简单分析，环境风险保护目标为周边3km内村庄，见表11。表11建设项目周边环境敏感目标分布表序号敏感目标名称相对方位属性人口数影响途径1陈二庄村E居住大气2堂上村居住大气3焦石佛村S居住大气4孙石佛村居住大气5张武庄村W居住大气6焦官营村W居住大气7张屯村居住大气8小马屯村居住大气9大马屯村居住大气后坝营村居住大气焦三店村S居住大气靳家那村居住大气王王仙庄村居住大气张王仙庄村居住大气刘保庄村E居住大气周家那村居住大气邱家那村N居住大气牛家屯村居住大气标准见表12。表12环环境质量标准环境要素污染物名称取值时间标准值单位环境空气年平均《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准24小时平均年平均24小时平均NO₂年平均24小时平均1小时平均SO₂年平均24小时平均1小时平均24小时平均4mg/m1小时平均O₃日最大8小时1小时平均声环境昼间《声环境质量标准》(GB3096-2008)3类夜间污染物排放标准表4三级标准和清河经济开发区污水处理厂进水水质要求。控制标准》(GB18599-2001)及修改单(环境保护部公告2013第36号);危险废保护部公告2013年第36号)。污染物排放标准见表13。类别污染源排放限值单位废气切割废气厂界颗粒物1mg/m《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2颗粒物无组织排放限值磨圆废气废水生产废水一污水综排污水处理厂进水综合执行 《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准及清河经济开发区污水处理厂进水水质要求无量纲mg/LNH₃-N一一一33厂界噪声昼间《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类区标准夜间总量控制指标1、本项目污染物排放量本项目通过对各工序污染源采取相应有效的治理措施，实现各类污染物的达标排放，有效的控制各类污染物的排放量。污染物废气废水颗粒物SO₂NOxNH₃-N排放量002、总量控制目标值的确定根据《关于印发<建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法>的通知》(环发[2014]197号)及《河北省环境保护厅关于进一步改革和优化建设项目主要污染物排放总量核定工作的通知》(冀环总[2014]283号),总量控制因子为SO₂、NO、COD和NH₃-N。本项目不涉及SO₂、NOx的产生，因此本项目对切割、磨圆废水和生活污水进行总量控制核算。本项目废水污染物排放总量按照排放标准(《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准及清河经见表15。表15本项目废水总量控制目标值核算污染源标准限值排水量(m³/d)运行时间污染物总量外排废水COD8.732NH₃-N0.117核算公式①污染物排放总量(t/a)=标准限值(mg/L)*非采暖季排水量(m/d)*非采暖季生产时间(d/a)/10°+标准限值(mg/L)*采暖季排水量(m/d)*采暖季生产时间(d/a)/10°核算结果污染物排放总量为：COD:1.666t/a;NH₃-N:0.117t/a。本项目产生固体废物全部综合利用或妥善处理。因此，本评价建议本项目工业固体废物总量控制目标值为0t/a。工艺流程简述(图示):本项目建设1条4英寸半绝缘型碳化硅晶片生产线，主要包括长晶工段和精加工括坩埚装填、装炉升温、降压生长、降温出炉、称重、晶体退火。精加工工段是指将生产出的碳化硅晶体进行磨圆、切割等工序使其达到合适规格的步骤。生产工艺流程总图见图2。SiCSiC粉末、石墨坩埚、粘好籽晶的石墨坩锅盖坩埚装填装炉升温降压生长降温出炉晶体称重新水新水氩气检验入库切割磨外圆晶体退火图2生产工艺流程总图(1)工艺流程简述①坩埚装填将外购的的碳化硅粉末人工称量装入直接购置合格的干净石墨坩埚中，每个坩埚装入0.2公斤左右，盖上粘接好籽晶(单晶片)的石墨坩埚盖，装配组合。目，不容易起尘。碳化硅粉末的装填采用人工称量的方式。②装炉升温将准备好的石墨坩埚放入感应加热的真空炉中，坩埚外部包裹石墨毡进行保温处理，利用真空泵对炉内进行抽真空处理，然后向炉内通入氩气作为保护气。装炉完成后开始升温加热，加热采用感应加热，加热温度为2400℃。本项目采用的是PVT法生长SiC,基本原理是将SiC粉料放置于石墨坩埚底部，籽晶位于石墨坩埚顶部，在感应线圈的作用下，坩埚内部产生一个高温温场，位于坩埚底部的温度较高。SiC粉料在高温下分解成Si原子和Si-C原子团，在温度梯度的驱动下输运到位于冷端的籽晶表面，进行晶体生长。高温下，PVT法的基本生长过程包括原料的分解升华、质量运输和籽晶表面结晶结晶两个过程。在本工段中，固态SiC粉末首先会分解升华成几种不同的气相组分，其中主要的气态成分为Si、SiC、Si₂C、SiC₂,另外还Si₂C₃等，因含量较少可以忽略不计。在高温下坩埚内SiC粉料发生的分解反应有：2SiCs)=Si₂Cg)+Si,g)石墨坩埚中的C可以与Si蒸汽发生反应，继续生成SiC₂和Si₂C,最后分解而形成的各种气相组分在温度梯度驱动下在位于冷端的生长界面上发生结晶过程。③降压生长待炉内温度达到工艺要求后(至2400℃)启动真空泵进行排气，将炉内部分氩气排出，控制炉内压力达到2500Pa,此时炉内晶体开始生长，保持生长状态100-150本工序涉及PVT法中质量运输和籽晶表面结晶两个过程。由于降温且石墨坩埚盖温度较低，受温度梯度的影响，分解而成的各种气相组分在坩埚盖处发生结晶过程，具体可表示为：该工序在排气过程中会排出充入的惰性气体Ar,氩气充入的位置是在坩埚外和真空炉内的隔层，抽出氩气并不会附带抽碳化硅气相组分，不含其他大气污染物。由排风系统直接排出。④降温出炉真空炉内碳化硅晶体生长结束后停止加热，并将惰性气体氩气全部排出，待炉内温度降低至室温后，打开真空炉取出坩埚，先将晶体后的石墨环敲开，再用刀翘碳化硅晶体，即可取下坩埚盖上生长完的晶体，生长完的晶体呈圆形烧饼状。本工序产生固体废物石墨毡S,在废坩埚间暂存后定期由坩埚供应商回收处理。⑤晶体称重将取出的晶体进行称重，剩余的碳化硅粉末用作原料再次使用，晶体进行退火。⑥晶体退火层坩埚，装配组合(即将多个晶体分别放入石墨坩埚中，每个盛放晶体的坩埚组合形成整体)。将准备好的石墨坩埚置于感应加热真空炉中，坩埚外部由石墨毡进行保温处理，炉内进行预抽真空，然后向炉内通入惰性气体Ar作为保护气体至10-70kpa。装炉完毕后进行缓慢升温加热，加热采用感应原理加热，加热至2400℃进行保持，然后进行缓慢降温。当降温至常温时，退火结束，一般需要5-10天。真空炉内SiC晶体退火结束后停止加热，并将惰性气体Ar排出，待炉内温度降低至室温后，打开真空炉取出坩埚，取出坩埚中完成的晶体，称重，然后进行精加埚在7次生产后作废，石墨坩埚盖生产1次后作废，石墨毡使用1次后作废。石墨⑦磨外圆使用数控外圆磨床对切割出的晶片进行喷水外圆加工，将碳化硅晶体加工为直径100mm的圆柱。该工序产生的大气污染物为磨圆无组织废气G,是磨圆逸散到空气中的无组织废气，通过车间通风系统排出。废水污染物为磨圆用水W,磨圆用水中只含有少量碳化硅粉末，直接排入厂区管网。固体废物为磨圆废料S,磨圆废料为碳化硅晶体，由碳化硅供应商回收。⑧切割使用金刚石线单线切割机喷水切割晶体，将晶体切割成直径100mm、厚15-25mm的柱状，以便后续加工。该工序产生的大气污染物为切割逸散废气G₂,是切割逸散到空气中的无组织废气，通过车间通风系统排出。废水污染物为切割用水W₂,切割用水中只含有少量碳化硅粉末，直接排入厂区管网。噪声污染物为切割噪声N₂,通过厂房降噪进行处理。固体废物为切割废料Ss,切割废料为碳化硅晶体和少量金刚石粉末，由供应企业回收。⑨检验入库将加工好的碳化硅晶体用检漏机检查是否达到规格，达到规格的入库保存，未达到规格的重新加工。本项目生产工艺流程图及产排污节点见图3。SiC粉末、石墨坩埚、粘好籽晶的石墨坩锅盖亚降压生长降温出炉晶体称重新水Si【磨外圆晶体退火坩埚装填装炉升温新水检验入库上工EGWNSGWNS图3生产工艺流程图及产排污节点(2)公辅设施①纯水制备本项目纯水制备系统，为工艺循环冷却系统补水、循环水冷却系统补水等供应纯水。以市政供应新水为水源，使用双阀双罐的全自动软水器制备，采用离子交换工艺，纯水制备能力6m³/h,可满足项目需求。本系统在制取纯水时会产生纯水制备排污水W₄,排污水直接排入污水管网，送至污水处理场进行进一步处理。本系统会定期产生一般固体废物Ss废离子交换树脂，交由相关厂商回收。本项目产污节点及防治措施见表16,危险废物汇总表见表17。表16产污节点及防治措施一览表类别污染源名称排放因子防治措施废气切割无组织废气颗粒物一间歇G₂磨圆无组织废气颗粒物一间歇废水W₁切割冲洗废水一间歇W₂磨圆冲洗废水间歇W₃生活污水COD、SS、NH₃-N化粪池间歇W₄纯水制备排污水COD、SS一间歇W₅冷却塔外循环系统外排水COD、SS一间歇噪声N₁单线切割机噪声厂房隔声间歇N₂数控外圆磨床间歇N₃变电站连续N₄空调风机连续N₅制冷机连续N₆纯水机间歇N₇各种泵类连续固体废物石墨毡石墨毡由坩埚供应商回收间歇S₂石墨坩埚石墨坩埚间歇石墨坩锅盖石墨坩锅盖间歇单线切割机SiC切割废料由SiC供应商回收间歇数控外圆磨床SiC磨圆废料间歇S₆充入保护气空氩气瓶由氩气供应商回收间歇生活垃圾生活垃圾送至环卫部门处理间歇S₈纯水制备废离子交换树脂由厂商回收间歇危险固体废物油环真空泵真空泵废油送有资质的危险废物处置单位进行妥善处置间歇表17本项目危险废物汇总情况一览表表序号危险废物名称危险废物类别危险废物代码产生量产生工序及装置形态主要成分有害成分产废周期危险特性污染防治措施1真空泵废油HWO8900-24真空泵定期维护液态废油废油易燃性暂存于厂内危废暂存间，定期送有资质单位处置内容类型排放源(编号)排放量污染物名称处理前产生浓度及产生量(单位)排放浓度及排放量(单位)大气污染物磨圆、切割无组织排放—颗粒物0.00048kg/h0.0042t/a内容类型排放源(编号)排放量污染物名称处理前产生浓度及产生量(单位)排放浓度排放量水污染物切割废水NH₃-N磨圆废水生活污水3NH₃-N35mg/L纯水制备排污水38mg/L0.015t/a冷却塔外循环系统排污水内容类型排放源(编号)排放量污染物名称产生量(t/a)排放量(t/a)废物石墨毡—-石墨毡由坩埚供应商回收石墨坩埚——石墨坩埚720个/a石墨坩锅盖—-石墨坩锅盖5040个/a单线切割机--SiC切割废料由SiC供应商回收数控外圆磨床——SiC磨圆废料充入保护气——空氩气瓶1800瓶/a由氩气供应商回收生活垃圾——生活垃圾送至环卫部门处理纯水制备——废离子交换树脂由厂商回收危险固体得物油环真空泵——真空泵废油送有资质的危险废物处置单位进行妥善处置噪声本项目噪声主要车间内切割机、磨床、空压机、变压器、空调风机、抽风机、制冷机、泵类等设备的机械噪声，产噪声级值为55～80dB(A),产噪设备均采取J房隔声的措施，降噪效果达到15dB(A)。其它无主要生态影响(不够时可附另页):本项目租赁现有闲置厂房，不涉及新增占地，不会对周围生态环境产生明显影响。环境影响分析施工期环境影响简要分析为减缓施工噪声的影响，项目在设备安装过程中采取以下降噪措施：①(1)施工单位应指派专人负责项目设备废弃包装的收集及转运工作，不得随意丢(2)”营运期环境影响分析1、大气环境影响分析1.1废气污染源分析项目产生废气主要为切割SiC晶体产生的无组织废气和磨圆SiC晶片过程产生在本项目切割SiC晶体过程中，同时采用水雾喷洒抑尘，可起到较好的抑尘效果，降低颗粒物无组织产生量。切割、磨圆所在车间长4m宽3m,面积12m²,车间高颗粒物无组织排放速率为0.00048kg/h,根据年有效工作时间(8760h)计算，颗粒物年排放量为0.0042t/a。1.2大气环境影响分析(1)大气环境影响评价等级的确定本评价依据《环境影响评价技术导则·大气环境》(HJ2.2-2018)中“5.3评价等级判定”,选择项目污染源正常排放的主要污染物及排放参数，采用估算模型分别计算项目污染源的最大环境影响，然后按评价工作分级判据进行分级。根据项目污染源初步调查结果，分别计算项目排放主要污染物的最大地面空气质量浓度占标率P(第i个污染物，简称“最大浓度占标率”),及第i个污染物的地面空气质量浓度达到标准值的10%时对应的最远距离Dg。其中P定义公式：式中：P——第i个污染物的最大地面空气质量浓度占标率，%;p——采用估算模型计算出的第i个污染物的最大1小时地面空气质量浓度，poi——第i个污染物的环境空气质量标准，mg/m³;其中：P——若污染物数i大于1,取P值中最大者；若污染物数i等于1,则为P;Dos——项目排放的污染物占标率为10%时对应的最远影响距离。本评价采用其推荐的估算模式AERSCREEN对主要的污染源进行预测计算。主要废气污染源源强取值见表18。本评价采用导则推荐的估算模型ARESCREEN,分别计算每一种污染物最大地面浓度占标率P及其地面浓度达标准限值10%时所对应的最远距离D₁o,同时根据计算结果选择最大地面浓度占标率Pmx。本项目估算模型参数见表19,主要废气污染源估算模型计算结果见表20。名称面源中心点坐标/m面源海拔高度面源长度面源宽度/m与正北向夹角面源有效排放高度/m年排放小时数排放工况排放因子排放速率XY切割、磨圆无组织废气4305正常排放颗粒物表19估算模型参数一览表序号参数取值1城市/农村城市人口数(城市选项时)/万2最高环境温度/℃3最低环境温度/℃-20.64土地利用类型工业用地5区域湿度条件中等湿度气候6是否考虑地形考虑地形□是过否地形数据分辨率/m 一7是否考虑岸线熏烟考虑岸线熏烟□是☑否岸线距离/km积(28.3km²)的65%>50%。故本项目估算模型计算选项选取城市。下风向距离/m切割磨圆无组织颗粒物预测质量浓度/(μg/m³)占标率/%D₁on/m— 续表20估算模型计算结果一览表下风向距离/m切割磨圆无组织颗粒物预测质量浓度/(μg/m³)占标率/%D₁ox/m0.84340.69730.5960下风向最大质量浓度及占标率/%—D%最远距离/m———由预测结果可知，本项目废气污染源中Px为0.80%,预测结果D₁o未出现。②评价工作等级分级依据表21评价等级判别表评价工作等级评价工作分级判据一级评价Pmax≥10%二级评价三级评价Pax<1%④评价等级及范围确定综上分析，拟建项目计算得到的Pmx=0.80%,小于1%,根据《环境影响评价技术评价范围确定原则，确定本项目评价工作等级为三级，不设置大气环境影响评价范围。用《环境影响评价技术导则·大气环境》(HJ2.2-2018)推荐的估算模型ARESCREEN,计算项目废气污染源对四周厂界贡献浓度，废气排放对四周厂界贡献浓度见表22。污染物污染源东厂界南厂界西厂界北厂界颗粒物切割、磨圆无组织废气满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2颗粒物无组织排放限值(1mg/m²)。2、声环境影响分析本项目产噪设备主要为切割机、磨圆机、空调机房、、变电站、空压机、冷却塔和各种泵类等设备，产噪声级值为55～80dB(A),空压机、冷却塔、泵类设备采取动力区隔声、其他设备采取厂房隔声的降噪措施，降噪效果15dB(A),控制噪声对周围声环境的影响。本项目整体租赁清河经济开发区宇腾公司厂区内闲置厂房，距周边声环境敏感点距离均大于200m,因此，为了分析本项目设备对周围声环境的影响，本项目以厂房边界为评价点，预测分析本项目噪声源对四周厂界的声级贡献值，分析说明项目对厂界声环境的影响。产噪设备情况和噪声预测结果见表23、24,以厂房西南角为序号声源名称数量(台/套)中心坐标噪声源强降噪措施降噪效果1纯水机1厂房隔声2制冷机13切割机14数控外圆磨床1续表23主要产噪设备情况一览表序号声源名称数量(台/套)中心坐标噪声源强降噪措施降噪效果5空调机房2厂房隔声6变电站17各种泵类626,10,1)(16,12,1)表24厂界坐标贡献值标准值结论东厂界昼间达标夜间达标南厂界昼间达标夜间达标西厂界昼间达标夜间达标北厂界昼间达标夜间达标由表24可知，本项目噪声源对各厂界的噪声贡献值为31.84～38.93dB(A),满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类区标准要求。本项目产生的废水主要包括切割和磨圆工序冲洗废水0.032m²/d、生活污水3m³/d、冷却塔外循环系统外排水5m²/d和纯水制备排污水非采暖季1.3m²/d,采暖季污水排入化粪池后排入市政管网。根据《环境影响评价技术导则·地表水环境》清河经济开发区污水处理厂位于河北清河经济开发区东南部，张武庄村附近，该污水处理厂于2012年7月建成投运，日处理规模为4.0万m³,收水范围为河北清河经济开发区生产生活废水。本项目生产废水含少量碳化硅粉末，生活污水经化粪池处理能达到《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准及清河经济开发区污水处理厂进水水质要求。本项目水量较小，不会对污水处理厂造成冲击。综合以上分析，本项目生产废水全部送清河经济开发区污水处理厂进行处理，本项目排水量极小，因此本项目实施后不会对周围地表水环境产生影响。本项目为电子专用材料制造，参照《环境影响评价技术导则·地下水环境》(HJ610-2016)属于IV类项目，不开展环境影响地下水评价。5、固体废物影响分析(1)固体废物类别及处置措施本项目产生的固体废物主要为石墨坩埚、石墨坩锅盖、石墨毡、SiC切割废料、空氩气瓶、SiC磨圆废料、废离子交换树脂、生活垃圾和真空泵废油。后，定期送至有资质的危险废物处置公司处理。本项目固体废物类别及其处理措施见表25。序号产生量固废类别处置或利用措施处理效果1石墨毡一般固体废物由提供企业回收全部妥善处置或综合利用，不外排2石墨坩埚720个/a3石墨坩锅盖5040个/a4SiC切割废料5SiC磨圆废料6空氩气瓶1800瓶/a7生活垃圾由当地环卫部门及时清运8废离子交换树脂由厂商回收9真空泵废油危险固体废物送有资质的危险废物处置单位进行妥善处置(2)危险废物影响分析本项目危险废物治理措施情况见表26表26本项目危险废物汇总情况一览表表序号危险废物名称危险废物类别危险废物代码产生量产生工序及装置形态主要成分有害成分产废周期危险特性污染防治措施1真空泵废油HWO849-08真空泵定期维护液态废油废油易燃性暂存于厂内危废暂存间，定期送有资质单位处置本项目危险废物全部暂存于河北天达晶阳碳化硅厂房内危废暂存间，定期送有资质单位处理。为防止危险废物临时存储过程中对环境产生污染影响，根据《危险及修改单(环保部公告2013年第36号)、《危险废物收集、贮存、运输技术规范》(HJ2025-2012)和《建设项目危险废物环境影响评价指南》(环境保护部公告2017年第43号)中的相关内容，要求企业采取以①危险废物收集、包装、储存、处置本项目危废暂存间设计储存能力1t,本项目危险废物产生量约为0.2t/a,危废暂存间能力满足要求。本项目危险废物贮存场所基本情况具体见表27。表27本项目危险废物贮存场所基本情况一览表序号贮存场所危险废物名称危险废物类别危险废物代码位置占地面积(m2)贮存方式贮存能力贮存周期1厂房危废暂存间废油HWO8900-249-08厂房坩埚回收间西侧4桶装贮存1清运频率1次/半年择相应的包装容器，并应按照附录A相关要求张贴对应标签，包括危废类别、主要成分、危险情况、安全措施等内容。废油采用密闭油桶进行盛装置于危险废物贮存间指定地点贮存，并要求设置明显的表明危险废物相关信息的标签。明显影响；同时在建的危废暂存间将按照《危险废物贮存污染控制标准》④运输过程影响分析综合以上分析，本项目产生的固体废物全部综合利用或妥善处置。本项目位于河北清河经济开发区内，整体租赁园区闲置厂房和厂区内基础设施。厂区与厂房地面已硬化，无植被。本项目占地主要为现有厂区，主要的生态功能为服务功能(为人类提供基础资源)。因此，本项目实施后不会对生态系统生产能力和稳定性产生明显影响，不会改变区域生态系统的完整性。综合以上分析，本项目实施后，不会对周围生态环境产生明显影响。本项目属于碳化硅晶片制造，参照土壤导则附录A中制造业的其他项，属于Ⅲ类项目；项目占地范围周边200m范围内无耕地、学校、村庄等敏感目标，土壤敏感度属于不敏感；占地面积小。根据土壤导则判断本项目可不开展土壤环境影响评价8、环境风险影响分析(1)建设项目风险源调查本项目涉及的风险物质概况见表28。表28建设项目风险源调查概况一览表危险物质名称分布的生产单元最大存在量(t)生产工艺特点备注真空泵废油危废暂存间涉及危险物质存放真空泵定期产生废油根据《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ169-2018)确定本项目危险物质主要为废油，Q值确定见表29。表29本项目Q值确定表序号危险物质名称CAS号最大存在总量gn/t临界量Qn/t该种危险物质Q值1废油/项目Q值经计算，本项目Q值为0.001,故本项目危险物质数量与临界量比值<1,故环境风险潜势为I。由于本项目Q=0.001<1,确定本项目环境风险潜势为I。根据《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ169-2018)环境风险评价工作级别划分的判据，风险潜式为(4)环境敏感目标调查本项目周边环境敏感目标分布见表30,表30建设项目周边环境敏感目标分布表序号敏感目标名称相对方位距风险源边界最近距离/m属性人口数影响途径1陈二庄村E居住大气2堂上村居住大气序号敏感目标名称相对方位距风险源边界最近距离/m属性人口数影响途径3焦石佛村S居住大气4孙石佛村居住大气5张武庄村W居住大气6焦官营村W居住大气7张屯村居住大气8小马屯村居住大气9大马屯村居住大气后坝营村居住大气焦三店村S居住大气靳家那村居住大气王王仙庄村居住大气张王仙庄村居住大气刘保庄村E居住大气周家那村NE居住大气邱家那村N居住大气牛家屯村NW居住大气(5)风险识别风险识别内容包括物质危险性识别、生产系统危险性识别及危险物质向环境转本项目涉及的危险物质为废油，其危险特性、分布情况见表31。表31物质危险性识别结果一览表危险物质名称易燃易爆性有毒有害性分布废油闪点78℃,引燃温度248℃LD50、LC50无资料危废暂存间②生产系统危险性识别根据本项目生产工艺流程及平面布置功能分区，并结合物质危险性识别，确定危险单元为危废暂存间，生产系统危险性识别结果见表32。表32生产系统危险性识别结果一览表危险单元名称单元内危险物质风险源危险物质最大存在量(t)名称危险性存在条件转化为事故的触发因素危废暂存间废油废油易燃常温、常压油桶泄漏根据物质及生产系统危险性识别结果，废油桶发生泄漏后引起中毒、火灾事故及地下水污染，产生的CO等物质引发中毒、污染等伴生/次生污染事故。④识别结果环境风险识别见表33。表33环境风险识别表危险单元风险源主要危险物质环境风险类型环境影响途径可能受影响的环境敏感目标危废暂存间废油桶废油废油泄漏及火灾爆炸等引发的次生污染居民区、地下水环境、土壤环境本项目涉及的风险物质主要为废油。当真空泵废油发生泄漏后伴生火灾次生灾害时，未完全燃烧产生的CO会对周边区域大气环境造成一定影响；但由于废油储存量较小，且为单桶存放，可最大程度避免废油大面积泄漏，因此，发生风险后一般泄漏量较小，产生或次生危险物质浓度相对较低，持续时间较短，不会对周围居民产生严重影响。②地下水环境③地表水本项目距离最近的地表水体为丰收渠，该河流为季节性河流。事故状态下，危废暂存间存放废油的区域四周设置了导流槽，能够及时将泄漏的液体收集，不会导致泄漏液体流出危废间，且废油储存量较小，因此不会造成地表漫流，不会进入地本项目风险评价工作等级为简单分析，企业落实了完善的环境风险防范措施后，不会区域环境产生明显影响，环境风险是可防控的。本项目环境风险简单分析内容见表34。建设项目名称河北天达晶阳半导体技术股份有限公司年产2.8万片碳化硅晶体项目(一期工程)建设地点(河北)省(邢台)市(一)区(清河)县河北清河经济开发区地理坐标经度115°39’11.80"F纬度37°1’46.08"N主要危险物质分布主要危险物质为真空泵废油，废油主要分布于危废暂存间内。环境影响途径及危害地下水)废油桶泄漏后发生火灾，产生CO等次生危害，直接污染大气环境。废油桶泄漏后下渗入地下水，直接污染地下水环境。废油桶泄漏后造成地表漫流，直接污染地表水体。风险防范措施要求①规范生产和储存作业，避免人为因素造成废油泄漏；②加强事故管理，在生产工程中注意对其它单位相关事故的研究，充分吸取经验和教训；③建立应急处置预案，如果废油发生泄漏，应及时指导和组织附近人员采用各种措施进行自身防护；进行现场处置的同时应设立隔离区，并由专人负责现场隔离工作，隔离区内严禁烟火。填表说明：本项目危险物质数量与临界量比值Q<1,环境风险潜势为I;结合本项目的风险防范措施可知，本项目环境风险是可防控的。建设项目拟采取的防治措施及预期治理效果内容内容类型排放源(编号)污染物名称防治措施预期治理效果大气污染物切割、磨圆无组织废气颗粒物排风系统水污染物切割、磨圆废水生活污水化粪池纯水制备排污水循环水系统排污水固体废物石墨坩埚石墨坩埚坩埚回收间由提供企业回收石墨坩锅盖石墨坩锅盖石墨毡石墨毡单线切割机SiC切割废料数控外圆磨床SiC磨圆废料保护气氩气瓶氩气瓶间生活垃圾生活垃圾垃圾筒由当地环卫部门及时清运纯水制备废离子交换树脂由厂商回收危险固体废物油环真空泵真空泵废油危废暂存间送有资质的危险废物处置单位进行妥善处置噪声本项目噪声主要车间内切割机、磨床、空压机、变压器、空调风机、制冷机、泵类等设备的机械噪声，产噪声级值为55～80dB(A),产噪设备均采取厂房隔声的措施，降噪效果达到15dB(A)。其它无生态保护措施及预期效果：本项目厂房整体租赁园区闲置的标准化厂房和厂内全部基础设置，项目不涉及新征占地，不会对周围生态环境产生明显影响。结论与建议1、建设项目情况项目名称：河北天达晶阳半导体技术股份有限公司年产2.8万片碳化硅晶体项目(一期工程)建设规模：一期工程建成后，年产4英寸半绝缘型碳化硅晶片1.2万片工程投资和环保投资：总投资16673.6万元，环保投资110万元，占总投资比例0.7%。劳动定员及工作制度：本项目劳动定员34人。采用三班制，每班工作8小时，年有效工作时间365天。河北天达晶阳半导体技术股份有限公司年产2.8万片碳化硅晶体项目(一期工程)位于河北清河经济开发区内，厂址中心坐标北纬37°1’46.08”,东经115°39’11.80"。项目整体租赁园区闲置的标准化厂房及厂内基础设施，本项目北临闽江路，南临顶佳佳羊绒制品有限公司，西临庐山路，东为宇腾羊绒有限公司厂房。本项目南距鹏程学校230m,南距孙石佛村390m,西距堂上村350m。距离本项目最近的敏感点为本项目南侧230m处的鹏程学校。本项目新水由园区集中供水自来水厂经供水管网供给；生产污水直接排入园区污水管网，生活废水经厂区化粪池进入园区市政管网，由污水处理厂进行进一步处理；供电由园区电站供给。(1)环境空气质量状况根据《2019年邢台市生态环境状况公报》,2019年清河县城市环境空气中PM₀年平均浓度值为111μg/m³,PM₂₅年平均浓度值为59μg/m²,S0₂年平均浓度值为23μg/m³,NO₂年平均浓度值为31μg/m²,CO24小时平均第95百分位数值为2mg/m³,0₃最大8小时滑动平均值的第90百分位数值为200μg/m³,清河县环境空气综合指(2)声环境质量状况根据《河北清河经济开发区总体规划(2019-2030年)环境影响报告书》中声环境质量现状监测结果可知，区域昼间声级值在52.0～59.0dB(A)之间，夜间声级根据《河北清河经济开发区总体规划(2019-2030年)环境影响报告书》中陈二化物的超标。同时。根据《中国水利水电科学研究院学报省清河县高氟地下水处理的实验研究》,清河县的地本项目厂址位于河北清河经济开发区内，整体租赁园区闲置厂房和其附属基础设施，占地类型为工业用地，本项目为电子专用材料制造项目，河北清河经济开发区管委会已出具本项目的入园意见。本项目距离最近的敏感点鹏程学校230m,满足卫生防护距离要求。本项目在采取适当的防范措施后，对周围环境危害程度较小，风险可接受。项目不会对区域环境质量产生明显影响。综合以上分析，从环境条件分析，本项目厂址选择可行。本项目在切割、磨圆环节会产生微量无组织废气，主要成分为SiC粉末，因为切割、磨圆环节采用水作为辅助剂，实际逸散到空气中的SiC粉末数量极少，可不经处理直接通过排风系统排入大气，颗粒物排放浓度满足《大气污染物综合排放标算，磨圆、切割无组织废气排放颗粒物0.0042t/a。本项目产噪设备主要为切割机、磨圆机、抽风机、冷却塔和各种泵类等设备，产噪声级值为55～80dB(A)。为减轻噪声影响，抽风机、冷冻室、空压机、配电室等置于动力区的设备由动力室隔声，其他设备采取厂房隔声的降噪措施。本项目所有采取的隔声降噪措施均成熟可靠，只要严格管理，勤于维护均可达到预期的降噪效果，措施可行。废油0.2t/a。本项目产生真空泵废油为危险固体废物，在危废暂存间用专用容器暂存后，定期全部送有资质的危险废物处置单位进行妥善处置；石墨坩埚、石墨坩锅