改良西门子法是目前主流的生产方法

1、改进西门子法是目前主流的生产方法产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85％。但这种提炼技术的核心工艺仅仅把握790%，它们形成的企业联盟实行技术封锁，严禁技术转让。短期内产业化技术垄断封锁的局面不会转变。1,000所面临的挑战。2、西门子改进法生产工艺如下：这种方法的优点是节能降耗显著、本钱低、质量好、承受综合利用技术，对统，三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯系统，硅芯炉，节电复原炉，磷检炉，硅棒切断检测仪器，把握仪表，热能转换站，压缩空气站，循环水站，变配电站，净化厂房等。并生成工业硅，SiO2+C→Si+CO2↑氢(HCl)与之反响在一个流化床反响器中，生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。其化学反响Si+HCl→SiHCl3+H2↑反响温度为300度，该反响是放热的。同时形成气态混合物(Н2,НС1, SiНС13,SiC14,Si)。Н2,НС1SiНС13,SiC14，净化三氯氢硅〔多级精馏。SiHCl3H2沉积而生成多晶硅。其化学反响SiHCl3+H2→Si+HCl。多晶硅的反响容器为密封的，用电加热硅池硅棒〔5-101.5-2150-200这样大约三分之一的三氯氢硅发生反响，并生成多晶硅。剩余局部同Н2,НС1,SiНС13,SiC14从反响容器中分别。这些混合物进展低温分别，或再利用，或返回到整个反响中。气态混合物的分别是简洁的、耗能量大的，从某种程度上打算了多晶硅的本钱和该3在西门子改进法生产工艺中，一些关键技术我国还没有把握，在提炼过程中70%以上的多晶硅都通过氯气排放了，不仅提炼本钱高，而且环境污染格外严峻。、SiCl4SiCl4SiHCl3晶硅生产系统自动把握组态技术。形成中间化合物三氯氢硅(TCS);二是将三氯氢硅进展分馏以获得ppb(CVD)复原成所需的产品--半导体级多晶硅。[10].西门子法3.图3 西门子法生产多晶硅流程简图Fig·3 ThegeneralflowchartofpolysiliconproductionbysiemensprocessHCl气体混合并发生反响(350℃)Si+3HCl→SHiCl3+H2,SHiCl330℃下呈液态,所以很简洁与氢SHiCl3在高温(1100~1200VCD),6N~10N改进西门子法H2SiHCl31957在西门子法工艺的根底上，通过增加复原尾气干法回收系统、SiCl4氢化工艺，实现了闭路循环，于是形成了改进西门子法——闭环式SiHCl3氢还HC〔HClHCl和工业硅粉在确定的温度下合成SiHCl3，然后对SiHCl3进展分别精馏提纯，提纯后的SiHCl3在氢复原炉内进展化学气相沉积反响得到高纯多晶硅。改进西门SiHCl3SiHCl3SiHCl3SiCl4改进西门子法是目前生产多晶硅最为成熟、投资风险最小、最简洁扩建的工艺，晶硅占当今世界生产总量的70%～80%。改进西门子法生产多晶硅属高能耗的产70%左右。Cl2SiHCl3代技术只对复原炉中未反响的氢气进展回收利用，只适合于百吨以下规模生SiCl4SiCl4HCl解决了干法回收氯化氢技术，将得到的枯燥的HCl又进入流化床反响器与冶1000T1。1，改进西门子法——闭环式三氯氢硅氢复原法改进西门子法是用氯和氢合成氯化氢〔或外购氯化氢〕，氯化氢和工CVD反响生产高纯多晶硅。国内外现有的多晶硅厂绝大局部承受此法生产电子级与太阳能级多晶硅。的SiHCl3能用工艺成熟的精馏法提纯,塔板数可按要求增加,先进的精馏塔已达30～40m。产品SiHCl3中As、B含量均≤0.03ppba,P≤0.3ppba。西门子法的本钱是比较低的[4],可以降到20～30美元/kg(与电价有关)。要降低本钱必需把握先进的西门子技术。西门子法开头于20世纪50年月,已经受了40多年的改进,虽然仍称西门子法,但其内容细节与过去已不一样。它构成当今主流工艺,其复原能耗由20世纪80年月的300kWh/kg90年月的95～110kWh/kg,60～70kWh/kg,还解决了副产物SiCl4SiHCl3[5]〔[4]工厂的思考[J2023,2(6):33-35.[5]梁骏吾.电子级多晶硅生产工艺[J].中国工程科学,2023,2(12):34-39.〕其原理是将SiCl4、H2在催化剂作用下与冶金级硅反响生成SiHCl3。其反响为:3SiCl4+Si+2H2→4SiHCl3。反响条件为3.45MPa压力和500℃温度;电耗为SiHCl3又进入复原炉生成多晶硅,形成闭环生产。降低复原电耗,就必需提高多晶硅的沉积速度。在大沉积速度条件下,SiHCl3一次通过的转换效率不高,因此必需回收大量的SiCl4、SiHCl3、HCl和H2。先进的回收系统要求对这些物质的回