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文档简介

JJF1189-xxxx测长仪校准规范通过软件处理技术复现长度量，测长仪采用覆盖整个量程的、JJF1189-xxxx2环境温度一般控制在(20±2)℃以内，或按——JJF1189-20083λ——光波波长。JJF1189-xxxx4范围的90%，其余量块的尺寸应使校准点间隔基本均匀。示值范围>1100mm的测长仪，需要进式中：Lij——测长仪测量第i个量块的第j次测量的示值；JJF1189-20085环规的示值之差与实际孔径差的最大值为使用小测量钩的△m=max[(d30i—d14j)—(d30—d14)](5)式中：d30和d14——φ30mm环规和φ14md30i和d14j——使用测长仪测量φ30mm环规和φ14mm环规时获得的示值；规的示值之差与实际孔径差的最大值为使用大测量钩的内测尺寸示值误差。即△M=max[(d50i—d30j)—(d50—d30)](6)式中：d50和d30——φ50mm环规和φ30md50i和d30j——使用测长仪测量φ50mm环规和φ30mm环规时获得的示值；对于采用数显表作为Z(Y)轴位移指示的，在Z(Y)轴有效行程范围，正返行程均布（3～5）校准点，将Z(Y)轴及高度计归零，正向或反向移动载物台，记录该行程内各位置的Z轴位移值与高度计相应示值。各校准点的Z(Y)ΔZ=max[Lij-Lgi]JJF1189-xxxx6由于复校时间间隔的长短是由仪器的使用情况﹑使用者﹑仪器本身质量等诸因素所决定JJF1189-2008JJF1189-xxxx8序号计量特性技术参数环境条件1平面测帽、固定式工作台的平面度平面测帽：0.15μm工作台：1.0μm/2示值变动性平面测帽：0.3μm使用球面测帽：0.2μm/3示值误差和细分误差1μm+5×10-6L(20±3)℃;0.5℃/h0.5μm+5×10-6L(20±1)℃;0.5℃/h0.15μm+2×10-6L/3(20±0.5)℃;0.2℃/h4测量重复性/5内测尺寸示值误差1.5μm+5×10-6L(20±3)℃;0.5℃/h0.8μm+10×10-6L(20±1)℃;0.5℃/h0.3m+2×10-6L/3(20±0

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