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文档简介

EAST0701EAST现有低温泵分布:EAST11461台。压缩机型号均为HC-10,膨胀机型号均为MARATHON16。主抽管道:编号为P1.1、P1.2、P1.3、P1.4;上下偏滤器42台。分别位置为:上AB窗口的P1.0EFP1.5IJP1.6MNP1.9ABP1.7MN窗口的P1.8;低杂波冷泵:编号为P1A,位于低杂波天线箱体上方。运行条件〔水电气〕冷却水低温泵单独使用冷却循环水,供、回水阀门均接于装置下方供水环管。从下环管进水,回水到上环管。保证水温低于或者保持为25供电从抽气掌握柜将低温泵的压缩机的电源合上,并保证低温泵再生电源也合上。供气低温泵与装置连通阀门与再生角阀的供气为一一配对供气,气压要求为4.6公斤〔上3.5-4.9公斤。运行装置在不同阶段对低温泵的运行任何状况下,翻开低温泵阀门时,要尽量保证两面气压相差不大。在粗抽真空阶段,可以翻开低温泵的阀门,但低温泵不运行。在进入烘烤期间,主要依靠低温泵去除水汽。在辉光、氦射频清洗期间,应当关闭阀门。在等离子体放电期间,应当翻开阀门。在试验完毕后,应当关闭阀门,并对其进展再生后停顿运行,向泵腔内放清洁氮气。启动膨胀机空腔气压到达或者低于5.0E-2torr(6.6Pa)可以启动开冷却水,确认对应阀门处于关态,供电;压缩机〔HC-10〕上He211-215psig(14.6-14.8bar);巡检:将压缩机两个掌握电源开关合上按Display对低温泵预备状态进展巡检,一切正常的话都应当显示为OK。如有消灭ERR的状况,请依据面板上的提示(“水温高理。按下压缩机面板上的“ON。假设泵长时间没运行,可能开头的时候摇摆幅度范围比较小,但节奏应当都为每秒2次左右,此时在膨胀机四周可明确的听到气流阀切换的节奏声。在远控时,应当保证现场能正常启动后切换至远控。16K13K,就可以翻开对应的阀门抽气。监测信息采集到掌握室,可以很明白的观看到低温泵冷头温度的变化;每台泵上均装有DL-7规管,必要时关闭低温泵阀门,对泵的真空极限进展测量。安全保护5E-2Pa冷头温度高于连锁保护设定值时关闭阀门;对内真空充氦气前,或辉光前需要关闭低温泵阀门;假设在泵运行期间消灭突然停电或断水,而影响泵的正常运行时,应随即关闭对应的阀门,以防由于温度的上升而向真空室里释放气体。再关闭对应的掌握开关。停泵在预备停泵时,先关闭对应的阀门,再按下压缩机面板上的关闭按钮或远控停顿压缩机。再生:需要进展再生的状况:当在正常状况下〔排解烘烤对其的影响,低温泵在运行期间的冷头温度超过20且呈上升趋势。而且关闭对应的阀门后,温度并没回到16K以下;的时候;泵在运行一段时间后,通过开关相应阀门观看总、分压推断出整体抽速很小状况下;为了防止意外状况发生,在低温泵运行超过10天后就应当对其再生;再生操作流程:目前低温泵再生的干泵共有两台,主抽管道上P1.1、P1.2、P1.3、P1.4VarianP10C,其余低温泵共用一台LBP10A;关闭相应阀门,将需再生的低温泵与真空室隔离。270K即可。翻开再生阀,用干泵通过泵的再生口的阀门对泵腔进展抽气。利用冷泵自带加热带烘烤泵体,通过加热带上的旋钮调整功率,温度不大于80度,3小时。2—3泵抽至肯定的真空〔泵腔内真空度参考值50mtorr约6.6P小阀门,关闭干泵。启动低温泵,正常状况下约2.5小时左右,冷头温度就应当降到工作温度〔13K左右或更低。*留意:在低温泵运行期间肯定要将再生阀关闭,以防倒吸气;用LB303位置;分散水;起再生;7.低温泵维护当压缩机上He压力表的读数不在正常工作范围内〔211-215psig,即14.6-14.8bar〕时,就应当对其进展补气或放气,以使其在正常工作的范围内。附录一:低温泵对氦气的吸附作用影响漏率标定〔2023412号观看的现象〕411日状况上午10点多标定内真空漏率系数,三台低温泵阀门为开启状态,国产北京科仪检漏仪,高灵敏度档,在关闭漏孔后消灭本底三小时未回到开漏孔前的状态。412日在低温泵阀门翻开和关闭条件下标定内真空漏率系数。关闭三台低温泵阀门状况下:16:10关内真空三台低温泵阀门,国产北京科仪检漏仪,高灵敏度档,测内真空本底为1.8E-8Pam3/s。16:252.0E-6Pam3/s的标准漏孔,过档,约三分钟后开头回落。16:451.0E-7Pam3/s,关闭标准漏孔。16:552.6E-7Pam3/s。16:582.0E-7Pam3/s。开三台低温泵阀门状况下:17:05开内真空三台低温泵,检漏仪同样条件测内真空本底为0.8E-8Pam3/s。17:12102.4E-7Pam3/s。17:165.0E-8Pam3/s,关标准漏孔。2.0E-8Pam3/s,半小时内未见由下降,便关闭检漏口阀门。附录二:低温泵对氦气的吸附作用导致对装置持续放氦气〔2023416号观看的现象〕为了推断GDCE-2分以氦气为主。当时东冷泵和低杂波冷泵阀门均未关。此后观看到内真空有氦源持续向真空室放气。先关闭全部冷泵阀门,再逐台开启和关闭三台低温泵阀门。从质谱推断:显变化;翻开阀

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