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文档简介
化合物半导体中的杂质和缺陷
1.Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体中的杂质和缺陷化合物半导体中的杂质和缺陷
掺受主的半导体的价带空穴数由受主决定,半导体导电的载流子主要是空穴(空穴数>>电子数),对应的半导体称为P型半导体。空穴为多子,电子为少子。
EcED电离施主电离受主Ev杂质的补偿作用(1)ND>NA半导体中同时存在施主和受主杂质,施主和受主之间有互相抵消的作用此时为n型半导体n=ND-NAEAEcEDEAEv电离施主电离受主(2)ND<NA此时为p型半导体
p=NA-ND(3)ND≈NA杂质的高度补偿EcEvEAED不能向导带和价带提供电子和空穴(2)间隙SiSiSiSiSiSiSiSiSiSi间隙原子缺陷起施主作用
●施主杂质
Ⅵ族元素(Se、S、Te)在GaAs中通常都替代Ⅴ族元素As原子的晶格位置。Ⅵ族杂质在GaAs中一般起施主作用,为浅施主杂质。●受主杂质
Ⅱ族元素(Zn、Be、Mg、Cd、Hg)在GaAs中通常都取代Ⅲ族元素Ga原子的晶格位置。Ⅱ族元素杂质在GaAs中通常起受主作用,均为浅受主杂质。●中性杂质
Ⅲ族元素(B、Al、In)和Ⅴ族元素(P、Sb)在GaAs中通常分别替代Ga和As,由于杂质在晶格位置上并不改变原有的价电子数,因此既不给出电子也不俘获电子而呈电中性,对GaAs的电学性质没有明显影响。在禁带中不引入能级●两性杂质
Ⅳ族元素杂质(Si、Ge、Sn、Pb)在GaAs中的作用比较复杂,可以取代Ⅲ族的Ga,也可以取代Ⅴ族的As,甚至可以同时取代两者。Ⅳ族杂质不仅可以起施主作用和受主作用,还可以起中性杂质作用。在掺Si浓度小于1×1018cm-3时,Si全部取代Ga位而起施主作用,这时掺Si浓度和电子浓度一致;而在掺Si浓度大于1018c
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