电子气体 大宗气体 征求意见稿

3GB/TXXXX—XXXX电子气体大宗气体本文件规定了电子级大宗气体的术语和定义、技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、充装、运输、贮存的要求，提供了大宗气体的安全信息。本文件适用于以空气为原料分离净化、或以工业大宗气体为原料提纯制得的电子用大宗气体。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件GB190危险货物包装标志GB/T3634.2氢气第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢GB/T4842氩GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法GB/T6285气体中微量氧的测定电化学法GB/T7144气瓶颜色标志GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB/T11640铝合金无缝气瓶GB/T14194压缩气体气瓶充装规定GB/T14599纯氧、高纯氧和超纯氧GBl5258化学品安全标签编写规定GB/T16804气瓶警示标签GB/T28124惰性气体中微量氢、氧、甲烷、一氧化碳的测定气相色谱法GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法GB/T28727气体分析硫化物的测定火焰光度气相色谱法GB/T33145大容积钢质无缝气瓶GB/T37182气体分析等离子发射气相色谱法GB/T43306气体分析采样导则JB/T6898低温液体贮运设备使用安全规则TSGR0005移动式压力容器安全技术监察规程TSG23气瓶安全技术规程3术语和定义3.14GB/TXXXX—XXXX大宗气体bulkgas包括氢气、氧气、氩气、氮气、氦气。4技术要求大宗气体的技术要求应符合表1～表5的规定。表1氢气技术要求氢气(H)纯度(摩尔分数)/l0氩（Ar）含量(摩尔分数)/10氮(N)含量(摩尔分数)/10二氧化碳(CO)含量(摩尔分数)/10水分(HO)含量(摩尔分数)/l0杂质总含量(摩尔分数)/l0表2氧气技术要求氧(O)纯度(摩尔分数)/l0氢(H)含量(摩尔分数)/10氩（Ar）含量(摩尔分数)/10氮(N)含量(摩尔分数)/10二氧化碳(CO)含量(摩尔分数)/10水分(HO)含量(摩尔分数)/10杂质总含量(摩尔分数)/105GB/TXXXX—XXXX表3氩气技术要求氩气（Ar）纯度(摩尔分数)/l0氧(O)含量(摩尔分数)/10氮(N)含量(摩尔分数)/10二氧化碳(CO)含量(摩尔分数)/10水分（HO）含量(摩尔分数)/10杂质总含量(摩尔分数)/10表4氮气技术要求氮(N)纯度(摩尔分数)/l0氢(H)含量(摩尔分数)/10氩（Ar）含量(摩尔分数)/10一氧化碳(CO)含量(摩尔分数)/10水分(HO)含量(摩尔分数)/10杂质总含量(摩尔分数)/10表5氦气技术要求氦气（He）纯度(摩尔分数)/l0氢(H)含量(摩尔分数)/10氩（Ar）含量(摩尔分数)/10氮(N)含量(摩尔分数)/10一氧化碳（CO）含量(摩尔分数)/10总烃（以甲烷计）含量(摩尔分数)/106GB/TXXXX—XXXX水分（HO）含量(摩尔分数)/10杂质总含量(摩尔分数)/105采样大宗气体的采样应符合GB/T43306的规定。6试验方法警示：本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况，使用者应采取适当的安全和健康防护措施。6.1大宗气体纯度6.1.1氢气纯度6.1.1.1氢气的杂质总含量氢气的杂质总含量按式(1)计算：x8=x1+x2+x3+x4+x5+x6+x7…………(1)式中：x1——氢中氧含量(摩尔分数)，10-6；x2——氢中氩含量(摩尔分数)，10-6；x3——氢中氮含量(摩尔分数)，10-6；x4——氢中一氧化碳含量(摩尔分数)，10-6；x5——氢中二氧化碳含量(摩尔分数)，10-6；x6——氢中总烃（以甲烷计）含量(摩尔分数)，10-6；x7——氢中水分含量(摩尔分数)，10-6；x8——氢气的杂质总含量（摩尔分数），10-6。6.1.1.2氢气纯度的计算氢气纯度按式(2)计算：x9=100-x8×10-4………………(2)式中：7GB/TXXXX—XXXXx9——氢气纯度(摩尔分数)，10-2。6.1.2氧气纯度6.1.2.1氧气的杂质总含量氧气的杂质总含量按式(3)计算：x17=x10+x11+x12+x13+x14+x15+x16…………(3)式中：x10——氧中氢含量(摩尔分数)，10-6；x11——氧中氩含量(摩尔分数)，10-6；x12——氧中氮含量(摩尔分数)，10-6；x13——氧中一氧化碳含量(摩尔分数)，10-6；x14——氧中二氧化碳含量(摩尔分数)，10-6；x15——氧中总烃（以甲烷计）含量(摩尔分数)，10-6；x16——氧中水分含量(摩尔分数)，10-6；x17——氧气的杂质总含量（摩尔分数），10-6。6.1.2.2氧气纯度的计算氧气纯度按式(4)计算：x18=100-x17×10-4…………………(4)式中：x18——氧气纯度(摩尔分数)，10-2。6.1.3氩气纯度6.1.3.1氩气的杂质总含量氩气的杂质总含量按式(5)计算：x26=x19+x20+x21+x22+x23+x24+x25………………(5)式中：x19——氩中氢含量(摩尔分数)，10-6；8GB/TXXXX—XXXXx20——氩中氧含量(摩尔分数)，10-6；x21——氩中氮含量(摩尔分数)，10-6；x22——氩中一氩化碳含量(摩尔分数)，10-6；x23——氩中二氩化碳含量(摩尔分数)，10-6；x24——氩中总烃（以甲烷计）含量(摩尔分数)，10-6；x25——氩中水分含量(摩尔分数)，10-6；x26——氩气的杂质总含量（摩尔分数），10-6。6.1.3.2氩气纯度的计算氩气纯度按式(6)计算：x27=100-x26×10-4…………………(6)式中：x27——氩气纯度(摩尔分数)，10-2。6.1.4氮气纯度6.1.4.1氮气的杂质总含量氮气的杂质总含量按式(7)计算：x34=x28+x29+x30+x31+x32+x33………………(7)式中：x28——氮中氢含量(摩尔分数)，10-6；x29——氮中氧含量(摩尔分数)，10-6；x30——氮中一氮化碳含量(摩尔分数)，10-6；x31——氮中二氮化碳含量(摩尔分数)，10-6；x32——氮中总烃（以甲烷计）含量(摩尔分数)，10-6；x33——氮中水分含量(摩尔分数)，10-6；x34——氮气的杂质总含量（摩尔分数），10-6。6.1.4.2氮气纯度的计算9GB/TXXXX—XXXX氮气纯度按式(8)计算：x35=100-x34×10-4………………(8)式中：x35——氮气纯度(摩尔分数)，10-2。6.1.5氦气纯度6.1.5.1氦气的杂质总含量氦气的杂质总含量按式(9)计算：x44=x36+x37+x38+x39+x40+x41+x42+x43…(9)式中：x36——氦中氢含量(摩尔分数)，10-6；x37——氦中氧含量(摩尔分数)，10-6；x38——氦中氩含量(摩尔分数)，10-6；x39——氦中氮含量(摩尔分数)，10-6；x40——氦中一氧化碳含量(摩尔分数)，10-6；x41——氦中二氧化碳含量(摩尔分数)，10-6；x42——氦中总烃（以甲烷计）含量(摩尔分数)，10-6；x43——氦中水分含量(摩尔分数)，10-6；x44——氦气的杂质总含量（摩尔分数），10-6。6.1.5.2氦气纯度的计算氦气纯度按式(10)计算：x45=100-x44×10-4…………………(10)式中：x45——氦气纯度(摩尔分数)，10-2。6.2氢中氧、氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量的测定6.2.1测定方法GB/TXXXX—XXXX6.2.1.1按GB/T28726规定的方法定氢中氧、氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量。6.2.1.2按GB/T6285规定的方法测定氧含量。当对氧含量的测定有异议时，以GB/T6285规定的方法6.2.1.3可按本文件6.2.5规定的其他等效的方法测定氩、氮、一氧化碳、二氧化碳，当对测定结果有异议时，以GB/T28726规定的方法为仲裁法。6.2.2预分离柱柱长约2m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.15mm～0.18mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物），或其他等效色谱柱。6.2.3色谱柱6.2.3.1色谱柱1：柱长约30m、内径0.53mm的毛细柱，内涂厚度为50μm的5A薄膜，或其他等效色谱柱。该柱用于测定氧、氩的含量；6.2.3.2色谱柱2：柱长约3m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.15mm～0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物)，或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳的含量；6.2.3.3色谱柱3：柱长约1.5m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.18mm～0.25mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱。该柱用于测定氮、一氧化碳的含量。6.2.4气体标准样品气体标准样品中组分含量为（1×10-6～5×10-6摩尔分数平衡气为氢气，应符合GB/T3634.2的规定。6.2.5其他等效的测定方法6.2.5.1可按GB/T37182规定的方法测定氧、氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量。6.2.5.2可按GB/T8984规定的方法测定一氧化碳、二氧化碳含量。6.3氢中硫化氢含量的测定按GB/T28727的规定执行。6.4氧中氢、氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量的测定6.4.1测定方法6.4.1.1按GB/T28726规定的方法定氧中氢、氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量。6.4.1.2可按本文件6.4.6规定的其他等效的方法测定氢、氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量，当对测定结果有异议时，以GB/T28726规定的方法为仲裁法。6.4.2预分离柱长约4m、内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物)或其他等效预分离柱。6.4.3脱氧柱长约1.2m、内径约3mm的不锈钢管，内装粒径为0.40mm～0.60mm的脱氧剂或其他等效脱氧柱。该柱用于吸收脱除氧气。GB/TXXXX—XXXX6.4.4色谱柱6.4.4.1色谱柱1：长约2m、内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.15mm～0.18mm的5A分子筛或其他等效色谱柱。该柱用于测定氢、氩、氮、一氧化碳含量。6.4.4.2色谱柱2：同6.2.2。该柱用于测定二氧化碳含量。6.4.5气体标准样品对于纯氧，气体标准样品中组分含量与被测组分含量尽量接近，平衡气为氧气。对于高纯氧和超纯氧，气体标准样品中组分含量为（1×10-6～5×10-6摩尔分数平衡气为氧气，应符合GB/T14599的规定。6.4.6其他等效的测定方法6.4.6.1可按GB/T37182规定的方法测定氩、氮、二氧化碳含量。6.4.6.2可按GB/T8984规定的方法测定二氧化碳含量。6.5氩中氢、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳含量的测定6.5.1测定方法6.5.1.1按GB/T28726规定的方法定氩中氢、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳含量。6.5.1.2按GB/T6285规定的方法测定氧含量。当对氧含量的测定有异议时，以GB/T6285规定的方法6.5.1.3可按本文件6.5.4规定的其他等效的方法测定氢、氮、一氧化碳、二氧化碳含量，当对测定结果有异议时，以GB/T28726规定的方法为仲裁法。6.5.2色谱柱6.5.2.1色谱柱1：：柱长约1.5m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.18mm～0.25mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱。该柱用于测定氢、氮、甲烷、一氧化碳的含量。6.5.2.2色谱柱2：柱长约3m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.15mm～0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物)，或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳的含量。6.5.3标准样品标准样品中组分含量为（1~5）×10-6（体积分数），平衡气为氩气，应符合GB/T4842的规定。6.5.4其他等效的测定方法6.5.4.1可按GB/T37182规定的方法测定氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量。6.5.4.2可按GB/T8984规定的方法测定一氧化碳、二氧化碳含量。6.6氮中氢、氧、氩、一氧化碳、二氧化碳含量的测定6.6.1测定方法6.6.1.1按GB/T28726规定的方法定氢、氧、氩、一氧化碳、二氧化碳及甲烷含量。GB/TXXXX—XXXX6.6.1.2按GB/T6285规定的方法测定氧含量。当对氧含量的测定有异议时，以GB/T6285规定的方法6.6.1.3可按本文件6.6.5规定的其他等效的方法测定氢、氩、一氧化碳、二氧化碳及甲烷含量，当对测定结果有异议时，以GB/T28726规定的方法为仲裁法。6.6.2预分离柱柱长约2m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.15mm～0.18mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物），或其他等效色谱柱。6.6.3色谱柱6.6.3.1色谱柱1：柱长约30m、内径0.53mm的毛细柱，内涂厚度为50μm的5A薄膜，或其他等效色谱柱。该柱用于测定氢、氧、氩的含量；6.6.3.2色谱柱2：柱长约3m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.15mm～0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物)，或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳的含量；6.6.3.3色谱柱3：柱长约1.5m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.18mm～0.25mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱。该柱用于测定甲烷、一氧化碳的含量。6.6.4标准样品标准样品中组分含量为（1~5）×10-6（摩尔分数），平衡气为高纯氦，应符合GB/T4844的规定。6.6.5其他等效的测定方法6.6.5.1可按GB/T37182规定的方法测定氢、氧、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量。6.6.5.2可按GB/T28124规定的方法测定氢、氧、甲烷、一氧化碳含量。6.6.5.3可按GB/T8984规定的方法测定一氧化碳、二氧化碳含量。6.7氦中氢、氧、氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量的测定按GB/T28726的规定执行。可采用GB/T37182或其它等效方法测定，当对测定结果有异议时，以GB/T28726规定的方法为仲裁方法6.8总烃（以甲烷）含量的测定按GB/T8984规定的方法测定大宗中总烃含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。6.9水分含量的测定按GB/T5832.3的规定执行。可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时，以GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。6.10尾气处理测定时，应防止大宗气体在室内的聚集。GB/TXXXX—XXXX7检验规则大宗气体产品应逐一检验并验收。当检验结果均符合本文件技术要求时，判该产品合格。当检验结果有任何一项指标不符合本文件的技术要求时，则判该产品不合格。8标志、包装、运输及贮存8.1标志8.1.1大宗气体出厂时应有产品质量合格证，其内容至少应包括：——产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号；——生产日期或批号，以及保质期；——充装压力（MPa）；——本文件号及大宗气体的纯度。8.1.2包装容器上应涂刷“电子气体氢”、或“电子气体氧”、或“电子气体氩”、或“电子气体氮”、或“电子气体氦”字样。8.1.3大宗气体的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应符合GB15258、GB/T16804规定的要求。8.2包装、运输及贮存8.2.1采用钢质气瓶时，应符合GB/T5099（所有部分）、GB/T33145的规定。采用铝合金气瓶时，应符合GB/T11640的相关规定。气瓶集束装置装应符合GB/T34528的规定。8.2.2大宗气体的充装及贮运应符合GB/T14194、TSG07、TSG23的规定，充装及贮运的安全管理要求见《危险化学品安全管理条例》、《特种设备安全监察条例》。8.2.3瓶装大宗气体的最高充装压力应符合GB/T14194的规定。8.2.4宜使用进行内表面处理的气瓶,处理后的气瓶应满足本文件的要求。瓶阀出气口连接方式宜使用CGA660、DISS634。8.2.5应防止泄漏和瓶口被污染。8.2.6大宗气体产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，不应暴晒，远离热源。8.3安全信息大宗气体的安全信息见附录A。GB/TXXXX—XXXX（资料性）安全信息A.1基本信息A.1.1氢气A.1.1.1化学式：H2；中文名：氢；英文名：hydrogen。A.1.1.2相对分子质量：2.016（按2018年国际相对原子质量计算）。A.1.1.3代码：CAS号：1333-74-0、UN号：1049【压缩】，1699【冷冻液化】。A.1.1.4物理性质：沸点-253℃,熔点-259.2℃,燃烧极限（体积分数）：4%～77%，燃烧极限（密度）：3.4～65g/cm3，临界温度-239.9℃,临界压力1.3Mpa,临界密度：0.03g/cm3；相对密度：0.07(干燥空气=1)；自燃温度560℃。A.1.2氧气A.1.2.1化学式：O2；中文名：氧；英文名：oxygen。A.1.2.2相对分子质量：32.009（按2018年国际相对原子质量计算）。A.1.2.3代码：CAS号：7782-44-7。A.1.2.4物理性质：物理性质：沸点-183.1℃,熔点-218.8℃,临界温度：-118.6℃,临界压力：5.08Mpa；相对密度：1.141。A.1.3氩气A.1.3.1化学式：Ar；中文名：氩；英文名：Argon。A.1.3.2相对分子质量：39.948（按2018年国际相对原子质量计算）。A.1.3.3代码：CAS号：7440-37-1。A.1.3.4物理性质：沸点-185.9℃,熔点：-189.2℃,临界温度：-122.4℃,临界压力：4.864Mpa；相对密度：1.41(干燥空气=1)。A.1.4氮气A.1.3.1化学式：Ar；中文名：氮；英文名：nitrogen。A.1.3.2相对分子质量：28.013（按2018年国际相对原子质量计算）。A.1.3.3代码：CAS号：7727-37-9。A.1.3.4物理性质：沸点-195.6℃,熔点：-209.8℃,临界温度：-147℃,临界压力：3.40Mpa；相对密度：1.50(干燥空气=1)。GB/TXXXX—XXXXA.1.5氦气A.1.3.1化学式：He；中文名：氦；英文名：helium。A.1.3.2相对分子质量：4.0026（按2018年国际相对原子质量计算）。A.1.3.3代码：CAS号：7440-59-7。A.1.3.4物理性质：沸点-268.9℃,熔点：-216.7℃,临界温度：-267.9℃,;相对密度：0.138(干燥空气=1)。A.2危险性说明A.2.1氢是无色的永久性气体，极易燃，遇热可能爆炸。与空气混合能形成爆炸性混合物。A.2.2常温下氧气是无色无味气体，气体具有助燃性，氧化性。气体比空气重，能在较低处积聚；空气中的氧浓度增加，能降低周围可燃物质的燃点；与可燃物质和还原性物质发生反应，有着火和爆炸危险；若遇高温，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。A.2.3氩本身无毒，但在高浓度时有窒息作用。当空气中氩气浓度高于33%时就有窒息的危险。当氩气浓度超过50%时，出现严重症状，浓度达到75%以上时，能在数分钟内死亡。液氩可以伤皮肤，眼部接触可引起炎症。A.2.4空气中氮气含量过高，使吸入气氧分压下降，引起缺氧窒息。吸入氮气浓度不太高时，患者最初感胸闷、气短、疲软无力；继而有烦躁不安、极度兴奋、乱跑、叫喊、神情恍惚、步态不稳，称之为“氮酩酊”，可进入昏睡或昏迷状态。A.2.5曝露于高热或火焰时，氦气钢瓶内压力会上升，大部分的钢瓶皆被设计可由瓶阀的破裂片释放高压气体，如果破裂片失效，会导致爆炸A.3操作注意事项A.3.1生产过程密闭