《扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法-编制说明》

一、工作简况

（一）任务来源

电子元器件是电子信息行业的基础，也是电子信息产业的重要组成部分，主要

应用于电脑、通信设备制造、汽车电子、工业控制等方面。与钢铁、水泥等行业相

比，电子元器件制造业并不属于高耗能和高污染行业，但由于电子元器件制造企业

数量庞大，而且目前尚存在一些能耗相对较高的工艺环节，电子元器件生产行业节

能潜力巨大，以节能、降耗、减污为目标的绿色生产已经成为电子元器件制造的必

然趋势。

扩散炉是生产电子元器件、半导体的重要工艺设备，也是电子元器件生产中耗

能较大的单体设备，其节能效益关系到整个工艺的节能效果。目前，扩散炉方面只

有SJ/T11451-2013《扩散炉能源消耗规范》一个标准，提出了扩散炉的能源消耗等

级，但未解释其热平衡和热效率的计算方法，而窑炉的热平衡测试是对正常运行中

窑炉的设备性能、烧成控制的综合评定。通过对进出扩散炉的物料、热量收支项目

进行测试，客观反映出窑炉的单位产品能耗、窑炉的热效率、余热利用等技术指标，

并通过热量分布情况为提高热效率、减少热损失、节约能源提供科学依据，对扩散

炉节能技术研究有着重要的指导作用。

本行业标准任务来源于工业和信息化部2019年第四批行业标准制修订计划，项

目号为2019-1873T-SJ，标准项目名称：扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计

算方法。本行标项目周期24个月。项目牵头单位：中国电子技术标准化研究院。

（二）标准起草单位

本标准由中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、

北京赛西认证有限责任公司等代表企业、研究机构共同起草。

（三）主要工作过程

2019年，中国电子技术标准化研究院（以下简称“电子标准院”）策划起草扩散炉热

平衡和热效率及综合能耗计算方法评价标准，电子标准院成立了标准起草小组，筹备

此能耗计算方法标准编制事宜。

2020年6月，标准起草组开展了调研，通过调研，标准起草组完成了标准的草案稿。

2020年7月-9月，结合前期工作基础和扩散炉的特征特性，开展标准研究工作，

并在草案稿的基础上进一步完善，经过多次标准研讨会，形成征求意见稿。

二、标准编制原则和确定主要内容的论据及解决的主要问题

（一）编制原则

1、协调一致

标准尽可能与以下内容协调一致：

——绿色制造基本要求；

——相关政策、法规、标准、管理办法；

——工业和信息化部关于绿色制造工程、绿色工厂创建的整体目标；

——绿色制造标准体系。

2、突出行业特征特性

重点关注扩散炉热平衡和热效率及综合能耗计算方法。

3、适用可操作

立足国内企业绿色制造实际，与工业和信息化部绿色制造体系、全面创建绿

色工厂的要求保持一致，确保标准的可操作性。

（二）标准主要内容

本标准设置8个章节，具体情况如下：

1、范围

该部分主要明确标准的适用范围。

2、规范性引用文件

该部分详细列出本标准使用时所涉及的规范性文件。

3、热平衡测试与计算基准

提出物料平衡、热平衡的计算单位，基准温度与基准压力、热平衡测试范围、测试

工况和测试频次。

4、测定项目及测定方法

对测定前的准备、热平衡方框图、测定时间、测定项目等做出了说明。

5、物料平衡计算方法

物料平衡包括收入项和支出项达到平衡，其中收入项及支出项均包括气体

和固体。

6、热平衡计算方法

包含热收入和热支出、热平衡表。

7、热效率计算方法

给出扩散炉热效率的计算方法。

7、综合能耗计算方法

根据GB/T2589给出扩散炉综合能耗的计算方法。

三、主要试验[或验证]情况分析

无。

四、知识产权情况说明

本标准技术内容不涉及专利。

五、产业化情况、推广应用论证和预期达到的经济效果

本标准通过在应用扩散炉典型工厂的实际验证和调研，确定可用于扩散炉热

平衡、热效率、综合能耗的计算。根据此标准进行的评价活动，可以系统评价扩

散炉生产过程的能源使用情况，进而有针对性的进行节能等工作，有利于推动光

伏片制造业的绿色发展，全面推动绿色制造体系创建工作。

六、采用国际标准和国外先进标准情况

国际上无对应标准。

七、与现行相关法律、法规、规章及相关标准的协调性

与现行的法律、法规、规章、标准协调一致。

八、重大分歧意见的处理经过和依据

无。

九、标准性质的建议

本标准建议作为推荐性行业标准发布。

十、贯彻标准的要求和措施建议

建议本标准在发布后即开始实施。可通过培训的方式进行贯标。

十一、替代或废止现行相关标准的建议

无。