硅基异质集成芯片研发技术创新示范平台建设项目招标文件范本

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政府采购公开招标文件

项目编号：NBMC-20201108G

项目名称：浙江大学宁波校区硅基异质集成芯片研发技术创新示范

采购人：浙江大学宁波“五位一体”校区教育发展中心（筹）

代理机构：宁波名诚招标代理有限公司

编制时间+2020年12•月

目录

第一章投标邀请........................................................2

第二章采购需求........................................................5

第三章投标人须知.....................................................27

第四章评标方法及评标标准.............................................38

第五章合同文本.......................................................42

第六章投标文件格式...................................................62

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第一章投标邀请

项目概况

浙江大学宁波校区硅基异质集成芯片研发技术创新示范平台建设项目项目的潜在投标人应在

政采云平台（http://zfcg.czt.zj.cn）获取招标文件，并于2020年12月28日13点00分

工北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：NBMC-20201108G

项目名称：浙江大学宁波校区硅基异质集成芯片研发技术创新示范平台建设项目

预算金额及最高限价：人民币1200万元

招标需求：根据招标文件要求提供货物及相关服务。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款的规定；

2.未被“信用中国”网站（邪曲》也霞6口丘1^^.80¥&5）列入“失信被执行人或重大税收违

法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为记录名单”；未被中国政府采购网

（wwwr-sxccgp.gevx.cn）“政府采购严重违法失信行为信息记录”中列入禁止参加政府采购活动期

间。

3.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加本项目的

政府采购活动；为本项目提供规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加

本项目的投标。

4.投标人须具有合法有效的企业营业执照及企业安全生产许可证。

5.投标人须同时具有

①机电工程施工总承包三级及以上资质；

②工业管道安装资质（GC2）；

③电子与智能化工程专业承包二级及以上资质：

④工程设计乙级资质。

6.投标人拟派项目主要管理人员要求：

6.1拟派项目主设计师须具备建筑工程相关专业设计注册工程师资格。

6.2投标人及拟派项目主设计师、项目经理无不良行为记录（不良行为记录界定的范围为：

国家、浙江省、宁波市相关行政主管部门通报停止投标活动且处在被停止投标期间内）。

7.落实政府采购政策需满足的资格要求：/

8.本项目的特定资格要求：/

9.本项目允许联合体投标，联合体牵头人应为具备符合①、②资质的单位。

三、获取招标文件

时间：2020年12月7日至2020年12月14日,每天上午9:00至11:30,下午14:00至17:00

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（北京时间，法定节假日除外）

地点：政采云平台（http:〃zfcg.czt.zj.goy.cn）.

一、项目概况

本项目主要为浙江大学宁波校区硅基异质集成芯片研发技术创新示范平台净化系统的设计、

采购、施工的EPC项目。项目建设地点位于娜州教育中心改造一期4#教学楼1楼及旁边附属阶梯

教室进行改造，本次改造区域建筑面积约为1000平方米；计划于2020年6月建成。本期工程包

括参观走道（含地面和墙面装修工程）、100级洁净区、1000级洁净区、10000级洁净区（一更、

二更、灰区等）、空调机房、纯水机房、空压机房、特气气站、弱电机房、中央监控室以及室外车

棚改造等区域内的设计、采购和施工等全过程（含工艺设备二次配管）。

二、招标单位提供以下设计及报价依据

1、根据采购人提供实验室工艺设备布局图、

2、提供系统示意图（仅供参考）

3、提供原建筑全套图纸及改造部分建筑全套施工图纸

4、提供工艺设备厂务端动力需求表

5、提供招标品牌推荐一览表

6、提供招标各个系统设计需求说明及施工规范要求

7、本次设计及施工有关的现行国家规范、行业标准、技术规程和地方标准及规定

三、设计、施工及验收依据的规范和标准

1、本项目的设计、材料、设备及施工质量必须达到现行中华人民共和国及省、市行业的一切

有关法律、法规、技术规范的要求，如标准及规范要求有出入则以较严格者为准，如是国外相应

标准应得到招标人认可。

2、本项目的建立均按照高稳定性、高安全性、UHP等级标准而定，系统的设计、建立和安装

设备之安装、检验应符合下列最新修正或发行之适用法规或标准。在合同履行期间，若上述标准

或规范若有修改或重新颁布，投标人应自觉严格遵守执行。

•GB50019-2003《采暖通风与空气调节设计规范》

•GB50073-2013《洁净厂房设计规范》

•GB13554-2008《高效空气过滤器》

•CB50303-2002《建筑电气工程施工质量验收规范》

•GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》

•GB/T1883-2002《室内空气质量标准》

•GB3096-2008《城市区域环境噪声标准》

•GB50052-2009《供配电系统设计规范》

•GB50034-2004《建筑照明设计标准》

•GB50264-1997《工业设备及管道绝热工程设计规范》

•GB4272-1992《设备及管道保温技术通则》

•HGT21629-1999（3）《管道安装支架标准》

•GB50016-2014《建筑设计防火规范》

•GB50222-2017《建筑内部装修设计防火规范》

•GB50015-2003（2009年版）《建筑给水排水设计规范》

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•ASME(AmericanSocietyofMechanicalEngineers)

•ASTM(AmericanSocietyforTestingandMaterials)

•GB50016-2014《建筑设计防火规范》

•GB50646-2011《特种气体系统工程技术规范》

•GB50724-2011《大宗气体纯化及输送系统工程技术规范》

■GB50809-2012《硅集成电路芯片工厂设计规范》

•GB50030-2007《氧气站设计规范》

•GB50031-91《乙块站设计规范》

•GB50177-2005《氢气站设计规范》

•GB50029-2003《压缩空气站设计规范》

•GB50316-2000（2008版）《工业金属管道设计规范》

•GB50235-2010《工业金属管道工程施工及验收规范》

•GB50184-2011《工业金属管道工程施工质量验收规范》

•GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》

•GB13690-2009《化学品分类和危险性公示通则》

•GB15603-1995《常用化学危险品贮存通则》

•GB50084-2001《自动喷水灭火系统设计规范》［2005年版］

•GB50116-2013《火灾自动报警系统设计规范》

•GB50058-2014《爆炸危险环境电力装置设计规范》

•GBZ1-2010《工业企业设计卫生标准》

•GB50231-2009《机械设备安装工程施工验收通用规范》

•GB50268-2008《给排水管道工程施工及验收规范》

■GB50243-2016《通风与空调工程施工质量验收规范》

•GB50236-2011《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》

•GB50257-2014《电气装置安装工程爆炸和火灾危险环境电气装置施工及验收规范》

•GB50254-2014《电气装置安装工程低压电器施工及验收规范》

•GB50168-2006《电气装置安装工程电缆线路施工及验收规范》

•GB50169-2006《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》

•GB50170-2006《电气装置安装工程旋转电机施工及验收规范》

•GB50171-2012《电气装置安装工程盘、柜及二次回路接线施工及验收规范》

•GB50150-2006《电气装置安装工程电气交接试验标准》

•GB50300-2013《建筑工程质量验收统一标准》

•GB50252-2010《工业安装工程质量检验评定统一标准》

•GB50185-2010《工业设备及管道绝热工程施工质量验收规范》

四、招标说明

1、本项目为交钥匙工程，投标人应根据招标人提供的平面图纸、现场实际情况、相关资料,

包括配套的室外管道等本项目涉及的所有辅助事项的实施，结合国家标准和行业规范，对上述招

标内容进行全面的设计和报价，报价包括上述内容的设计、现场拆除、设备及材料采购、安装、

施工、调试、运行、竣工验收和培训等。

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2、本项目土建工程已施工完成，投标单位应根据现场实际情况结合招标文件要求进行编写设

计和施工方案等技术内容。

3、投标人应当在投标文件中列出完成本项目并通过验收所需的所有各项服务等明细表及全

部费用。中标人必须确保整体通过用户方及有关主管部门验收：投标人应自行踏勘施工建设现场，

如投标人因未及时踏勘现场进行设计而导致的报价缺项、漏项、投标被否决或中标后无法完工，投

标人自行承担一切后果。

4、投标人提供的所有产品必须具有在中国境内的合法使用权和用户保护权且为全新原装产

品，投标人所提供的服务应符合国家相关法律法规。

5、本项目所涉及的工程费用，应根据招标范围和内容，由投标人根据市场情况并结合项目实

际和企业自身的情况自行确定。设备和主要材料按参考品牌、规格、技术参数、质量等级等由投

标人根据市场情况并结合项目实际和企业自身的情况确定，设备和主要材料的最终选型应通过招

标人授权代表的同意，且不能低于招标文件要求的标准。

6、投标人设计方案需由具备资质的单位设计，并且需满足招标人提供的附件1《浙江大学宁

波校区硅基异质集成芯片研发技术创新示范平台设备动力需求参数表》和附件2《平面布置图》

要求及验收规范。

五、设计需求及施工要求

各区域要求

本期工程包括参观走道(含地面和墙面装修工程)、100级洁净区、1000级洁净区、lO(XX)级

洁净区(一更、二更、灰区等)、空调机房、纯水机房、空压机房、特气气站、弱电机房、中央监

控室以及室外车棚改造等附属设备。

1、洁净室要求

投标单位应根据设备和空间情况，合理布置工作区和设备灰区、送风方式等，在满足净化要

求的基础上，尽量提高超净空间的利用率。

2、洁净室主要包括区域

(1)百级黄光区：主要放置光刻机和涂胶机等工艺设备，该区域布置在靠阶梯教室。其中光

刻机有防微震要求，需要独立设置防微震平台，温度稳定性要求较高。

(2)常规干级区：该区域主要包括有机清洗区、无机清洗区、FHD沉积区、镀膜区、刻蚀区

等。其中清洗区为湿法制程，要求与其它区系统分开设计。保证其它区域湿度控制稳定性。

(3)万级区：该区域主要包括更衣区和设备灰区等。

(4)其他区域。

3、各个区域环境要求

区域名称洁净等级温度℃湿度(%)净高(m)照度(lx)防震防静电

有机清洗区100022±250±5%2.6500/有

无机清洗区100022±250±5%2.6500i有

FHD沉积区100022±240+5%2.6500/有

刻蚀区100022±250±5%2.6500/有

刻蚀灰区1000022±250±5%2.6500/有

镀膜区100022±250±5%3.0500/有

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镀膜灰区1000022±250±5%3.0500/有

有要求

黄光区10022±250±5%3.0500有

VC-D

一更1000022±250±5%2.6300/有

二更1000022±250±5%2.6300/有

备注：

1、无尘室设计时，要充分考虑夏季、冬季温湿度能稳定运转。

2、洁净等级测试需要在“动态”状况下测试为依据，各区域压差符合相关要求。

3、各个区域工艺设备需求

附件1《浙江大学宁波校区硅基异质集成芯片研发技术创新示范平台设备动力需求参数表》。

（二）建筑装修系统

1、包含本次设计施工范围的工作

（1）室外停车棚拆除，拆除后车棚位置放置空调主机、水泵、板换、水箱等厂务动力设施,

改建后设备房四周需加隔音围挡。

（2）1F开放式走廊吊顶、地面、墙面装修需包含在本次范围内。包含走廊采用玻璃幕墙与

室外隔断，做成封闭式参观走廊。

（3）所有设备动力机房均需要做EPOXY,实验室超净室吊顶、地面、墙面，按无尘室设计规

范，空调机房、纯水房、废水处理间、空压机房等涉及需排水的区域，需设置排水沟。

（4）沿外墙从屋顶引至无尘室工艺排风管，需要装饰美观，不影响整栋建筑外立面美观，详

细装饰方案由厂商自行考虑。

（5）阶梯教室根据规范设置特气间，易燃易爆气体间、化学品间需要根据规范向外墙处设置

泄爆墙和钢制泄防火门设计与施工。

（6）教学楼与阶梯教室连接处（2楼），加盖空调机房（包含四周墙面、彩钢板屋顶、地面

混凝土、设备基础、防水修补、进出机房门等工作内容）。

（7）其它本项目与校区对应系统间的所有接口工作内容及辅助内容。

（三）建筑结构部分

1、包括但不限于配合建筑及机电各专业完成施工的二.次钢构、设备基础、楼地面荷载校核、

配合防微振专业公司对设备、结构进行防微振处理，具体做法需要满足结构安全以及消防法规，

符合洁净室使用功能的需求。结构设计涉及到既有建筑结构改造调整的属于本次设计施工范围.

2、项目工作范围内涉及的其余结构工程的设计。

3、配合其它各个专业楼板、墙板开洞补强结构设计。

4、主要技术要求

（1）地面装修

a.高架地板：材质采用铝合金压铸成型，面层为导静电PVC材质，系统电阻：1x10^1x109

Q，支撑结构为H型钢结构+炮管，抗拒螺母微调完成水平调整。钢结构表面处理为EPOXY（导电

银灰）或镀锌，高架地板承重能力22171^设备搬运动线区域及回风增，加斜支撑加固。

b.PVC地板：采用优质的PVC地面材料，铺设前需采用水泥自流坪进行精确找平，平整度

需达到：±2mm/2m,然后采用22.0mm厚的同质透心PVC卷材铺设，所有接缝均采用同质焊条焊

接并做无缝处理。

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C.环氧地面：（适应：高架地板下地面层）：包括水泥基渗透结晶型防水涂料层21.0mm、

聚氨酯防水涂料层Nl.5mm、环氧漆胶料层、环氧腻子层1.0mm、环氧涂料层。所用材料必须为

净化车间专用，不能产尘。

（2）彩钢板隔墙

a.千级、万级洁净区隔墙采用50mm厚双抗防静电手工纸蜂窝壁板，百级洁净区隔墙采用

50mm厚双抗防静电手工铝蜂窝壁板，钢板基板厚度20.5mm,夹心层为A级不燃玻镁防火平板和

宽度方向不小于十条均匀分布的玻镁龙骨组成，同时含溶重2130Kg/m3的岩棉，耐火极限须21.0

小时，采用现场拼装（但现场不允许有任何切割制作）的方式，采用生产车间预制、现场拼装的

方式；洁净区外围土墙须用苯板隔离。

b.使用层所有洁净区域的隔墙与隔墙、隔墙与地面、隔墙与吊顶之间交角均为R250mm铝

合金圆角；铝合金型材均选用喷涂铝型材，圆弧620.7mm,角铝521.0mm,槽铝320.8mm：

c.装修材料均采用燃烧性能等级为A级的不燃材料；

d.彩钢板所有板面接缝处在安装后用密封胶密封。

（3）土建墙抹灰粉刷

a.刷》1.0mm厚水泥基渗透结晶型防水涂料；

b.涂21.5mm厚聚氨酯防水涂料：

c.刷水泥素浆一道（内掺建筑胶）；

d.采用环氧树脂薄涂装饰面。

（4）吊顶

彩钢板吊顶：

a.千级、万级洁净区吊顶采用50mm厚双抗防静电手工纸蜂窝壁板，百级洁净区吊顶采用

50mm厚双抗防静电手工铝蜂窝壁板，钢板基板厚度20.5mm,夹心层为A级不燃玻铁防火平板和

宽度方向不小于十条均匀分布的玻镁龙骨组成，同时含溶重2130Kg/n）3的岩棉，耐火极限须21.0

小时，采用现场拼装（但现场不允许有任何切割制作）的方式，采用生产车间预制、现场拼装的

方式；

b.彩钢板所有板面接缝处安装后用密封胶密封；

c.墙体顶板之间拉结锚固定，确保牢固安全；

重型天花吊顶：采用TYrid重型天花吊顶，铝合金型材表面磨砂或喷塑，扣板为8=2.0mm烤

漆盲板。

（5）门窗

洁净室密闭门（成品门）：

a.室内所有净化门的门框采用净化专用铝合金型材，门扇采用彩钢板门，净化门应有相应的

气密措施，门上部设玻璃观察窗，玻璃厚度不小于5nim：

b.门上安装304不锈钢执手锁（不得采用球锁）并安装GMT自动闭门器，门底部与地面均须

带有自动密封条装置。

（6）风淋室

风淋室采用优质304不锈钢板制作，厚度大于1.0MM；配置无隔板高效过滤器，过滤效率为

H13（MPPS）,初效过滤器，过滤效率为G1级（计重法），喷嘴配16个多角度可调全不锈钢喷嘴，

双侧吹淋；面风速大于25m/s,配风淋室专用风机。风淋后洁净等级达到进入区域等级。

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（7）防微振平台

地基震动要求：VC-D

2〜8Hz：<0.03125gal；

8〜250Hz：<6.25um/s；

基础强度：>2000Kg/M2o

（四）暖通空调部分

1、通风、空调风系统设计及施工

（1）本次招标范围的空调系统包含净化空调系统和•般舒适性空调系统。设计须满足每个房

间温度、湿度和内外压差的要求，每个房间的温、湿度、内外压差需要在房间门口显示，信号需

要传回中央监控室。

（2）新风空调箱MAU按照宁波地区的温湿度条件，再加15%余量设计，并设置初、中、亚高

效，电机采用变频电机。

（3）非洁净实验室区域：非洁净区空调采用新风+FCU系统。

（4）考虑现有教学楼层高限制，需要考虑合理新风空调送风管走向（空间管理必须设计完成），

合理布置各个区域送风量，净化空气处理系统在合理的条件下，应留有足够的调控能力，并能确

保空气净化技术动态测试（洁净度、温度和湿度及其稳定性）达标。

（5）工艺排风：酸碱排采用防火PP材质，有机排风采用SUS304不锈钢材质，热排风采用镀

锌铁皮风管；采用合理的防震措施，减少对教学楼的影响，风管布局合理、美观。含工艺设备二

次配管。

（6）酸碱废气处理设备放置合理，考虑设备基础、给水及废水排放管线。处理达标后废气排

放高度满足国家环保规定。为便于后期维护设备，需要考虑设备维修动线（如上屋顶爬梯、检测

口检测爬梯、平台等），更换耗材搬运动线等。

（7）大宗和特殊气体传输系统的排风。

（8）一般区域排风的设计和施工。

2、空调水系统设计及施工

（1）空调主机采用模块式变频风冷冷热水机组，设备数量由投标厂商自行确定并考虑备机,

保证故障或维护时不影响整体运行。

（2）水泵采用变频卧式水泵，采用一用一备。

（3）空调系统再热、采暖设计，投标单位设计时需要考虑能耗较低的设计方式来设计MAU系

统加热。

（4）本次改造工程用电量有限，空调系统加湿方式，建议采用二流体喷雾加湿方式，空调箱

加湿段后端设置挡水板，加湿补水采用纯水站R0补水，二流体加湿压缩空气用量，由投标单位自

行考虑。满足整个系统设计需求。

3、防排烟系统

防排烟系统的设计，满足消防规范要求。

4、主要技术参数和要求

（1）空调冷热水机组

a.冷冻水出水温度：6℃,回水温度：11℃；热水出水温度：45℃,回水40C：

b.机组可根据供水温度启/停机组，机组为出水温度控制。

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c.采用R410A环保制冷剂，冷凝器铝箔翅片采用亲水铝箔，真空钎焊板式换热器采用不锈

钢材料，能效达到国标•级。

d.热泵型机组运行范围不低于：机组应确保在室外环境温度5℃〜48c时可正常运行制冷

模式：在室外环境温度T5℃〜30℃时可正常运行制热模式；

e.单冷型模块式风冷冷水机组运行范围不低于：机组应确保在室外环境温度-20'C〜48℃时

可正常运行制冷模式。

(2)组合式净化空调机组

a.箱体在启动与运行时都不能变形，噪声低。箱体面板的外侧采用304不锈钢板，钢板厚

度不小于0.5mm，但须具有防划伤、防腐饨等特点；内层采用304不锈钢板，钢板厚度不小于0.5mm；

箱板内采用具有良好保温性能的优质聚氨酯发泡一次成型，要求发泡密度不得小于48kg/m3,箱

板厚度不小于50mm;

b.箱板与骨架之间应当有良好密封措施，在lOOOPa的风压下能保证漏风率＜1%；

c.风机采用国际知名品牌风机，所有连接螺栓热镀锌处理，其他材料和工艺采用厂家标配；

风机减振器采用带橡胶保护套的弹簧减震器，保证长时间使用不用更换；

d.电机采用国际知名品牌变频电机，电机绝缘等级F级以上，防护等级IP55以上；导轨

足够长，便于检修皮带轮。

e.护板与内梁之间用阻燃型单面不干胶高压聚乙烯密封条,进出水管和护板之间填充阻燃

型橡胶保温材料,护板和护板之间用氯「类XM密封注胶。机组不允许出现非正常的漏水、漏风现

象。

f.新风口设置方便拆装无纺布的装置。各台设备出风口相连并设置开关，保证单台维修时

不影响送风。

(3)FFU风机过滤单元

a.框材：不锈钢板；

b.马达：直流感应外转子马达；

c.调速：无级调节

d.高效过滤器：PTFE材质节能滤材，超高效率与超低阻力相结合的性能。

e.系统控制模式：电脑群控，可单台、单区域调速；群控系统响应时间单机8秒内，群控

20秒内，操作接口具备单机/群控转速调整，单机/群控转速百分比调整，群控数量可自行调整变

更；

f.噪音:46〜53dB

g.高效过滤器效率：

千级区域：H14299.995%(@0.3um)；百级区域：U15N99.9995%(@0.12um)；初阻力W

70Pa@0.45m/so

h.机械寿命：10万小时以上

(4)冷冻水水泵

a.水泵泵壳材质，1.6mpa承压的优质铸铁；优质青铜或不锈钢304材质叶轮，不锈钢316

泵轴。

b.泵和电机之间通过弹性(柔性)联轴器连接并安装在共用水泵基座上，维修时不用拆卸水

泵(不接受悬挂式泵头)。

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C.轴封形式为免维护机械密封，材料应采用石墨、陶瓷；密封好、无漏水、耐磨、设计连续

运转应高于50000小时。

d.电机绝缘等级：F级,防护等级为IP55。

e.水泵底座及减震措施：水泵泵脚与外壳下半部整体铸造，水泵与电机安装在一个公用铸铁

底座上，公用铸铁底座具有足够的刚度和强度。不接受钢板折弯形式的公共底座。

f.热水泵应满足热水系统的使用要求。

(5)干盘管

根据洁净面积进行设计，采用12℃中温水对室内的温度进行自动调节控制，空气侧压W40Pa,

风速W2m/s。铜管壁厚20.41mm,铝翅片厚度0.12mm,表面蓝波发色处理；盘管框架结构为镀锌

钢，焊接处用环氧树脂喷涂处理。盘管必须保压运至现场，保压压力0.4MPa。干盘管安装考虑冷

凝水排水设计。

(6)立式玻璃钢碱雾净化塔

a.配置：2台玻璃钢耐腐蚀离心风机，一用一备，风机采用变频电机；

b.塔体设置2层拉西环：循环泵设置2台耐腐蚀循环泵(一备一用〉；

c.设置自动加药系统；

d.成套设备自带PLC控制器，风机自动感测风压，自动变频控制；

e.远程检测：水箱液位、自动加药、风机运行状态、运转频率、塔体前后压差；

f.设置25米高烟囱，烟囱设置热镀锌角铁塔架，15米处设置检修平台和检车取样口；

g.烟囱最高抵防雷接地与建筑接地连接：

h.依据当地环保监测合格为验收依据。

(7)立式玻璃钢酸雾净化塔

a.配置：2台玻璃钢耐腐蚀离心风机，一用一备，风机采用变频电机；

b.塔体设置2层拉西环；循环泵设置2台耐腐蚀循环泵(一备一用)；

c.设置自动加药系统：

d.成套设备自带PLC控制器，风机自动感测风压，自动变频控制；

。.远程检测：水箱液位、自动加药、风机运行状态、运转频率、塔体前后压差；

f.设置25米高烟囱，烟囱设置热镀锌角铁塔架，15米处设置检修平台和检车取样口；

j.烟囱最高抵防雷接地与建筑接地连接：

h.依据当地环保监测合格为验收依据。

(8)有机废气处理设备：采用活性炭工艺

a.卧式碳钢塔体、上设检修孔及检修平台；

b.配置：2台玻璃钢耐腐蚀离心风机，一用一备，风机采用变频电机；

c.成套设备自带PLC控制器，风机自动感测风压，自动变频控制：

d.远程检测：过滤箱前后压差、风机运行状态、频率；

e.设置15米(离地面)高烟囱，烟囱设置热镀锌角铁塔架，10米处设置检修平台和检车取

样口：

f.烟囱最高抵防雷接地与建筑接地连接；依据当地环保监测合格为验收依据

(9)风管系统

a.净化空调系统的送风管应采用净化风管，风管应采用镀锌钢板咬口制作，角钢法兰连接，

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风管的漏风率必须小于相关规范的标准，风管与风机的连接应采用双层帆布软接头并使光滑的一

面朝内，风管缝隙须用胶液充填，风管保温材料采用带铝箔橡塑保温，要求阻燃为B1级以上，厚

度按相关规范要求。

b.各送排风系统设置独立风阀管控，保证单台工艺设备维修时不影响整体送风。

c.其它未提及事项参照洁净通风管道施工相关规范。

d.各个系统涉及风管的参照以上技术要求.

(五)给排水部分

1、消防给水系统设计和施工内容

(1)室内消防系统设计及施工需满足现行国家设计规范及地方设计标准。

(2)根据规范及人员设备安全性考虑，拟改造区域需设置消防系统。本次招标范围的消防系

统包含阶梯教室改造区及教学楼改造区的消防系统的设计与施工，并确保本次招标的改造区域内

消防设施通过消防检测及验收。

(3)大宗和特殊气体传输系统所涉及的消防系统设计。

(4)本项目的消防管路和控制系统接至校区总消防控制系统的设计和施工。

2、一般给排水系统

改造区洁净室及改造非洁净区域内的一般给水系统及一般排水系统的设计与施工。一般给排

水系统包括工艺设备的自来水给水及清下水排水。

3、工艺纯水系统及废水收集系统

(1)改造无尘室工艺设备所需的纯水制备系统、纯水输送管道、废水处理系统的设计与施工。

含工艺设备二次配管。

(2)纯水制备系统产水量根据附件1《浙江大学宁波校区硅基异质集成芯片研发技术创新示

范平台设备动力需求参数表》以及MAU所需的R0水、PCIV补给水由厂商自行核算，储水罐容量要

满足工艺要求。

(3)纯水系统要求有18.2MQ(用于工艺用水)。

(4)工艺纯水要求如下：

Resistivityat25℃：218.2MQ

TOC：<5ppb

Silica(dissolved)：<3ppb

Dissolvedoxygen：<25ppb

Particles(>0.1Um)：<100particles/liter

Bacteria：<5CFU/1iter

Cations(Na,K,Ca,Mg,NH4)：WO.5ppb(eachion)

Anions(F,Cl,S04,N03,Br,P04)：WO.5ppb(eachion)

Temperature：25±2*C

4、工艺废水经管道排至废水处理设备达标后排至校区污水管网。

5、工艺冷却水的设计应满足工艺设备的需求，并设置.30舟的余量。含工艺设备二次配管。

6、主要技术参数及要求

(1)超纯水设备

无死角设计：主机各部件内循环连接管路阀门无死角设计；一级反渗透纯水主机和二级高纯

4-

水（反渗透+UV+CEDI）主机，均采用一体化制造的标准产品，可连为一体，也可单独运行，满足

在前级R0维修或更换时，后级高纯水主机也能独立稳定制水、不断水；两组主机均带有各自独

立的CE证书纯水主机采用环保低碳材料的产品，取得Rolls证书：纯水主机制造商需获得

IS09001及IS014001证书：纯水主机自带各组件的耗材寿命提示、运行故障报警功能，并具备报

警历史记录可查功能。进出水口和使用终端需设置电导率监控。

（2）废水处理设备

废水处理能力：能够处理实验室药品、试剂、试液、做完实验后收集起来的实验室废水、残

留试剂、过期实验室药剂试剂等综合废水；废水收集箱容积不小于2m1材质应能够抵抗各类废水

腐蚀；经过废水处理设备处理后，出水水质应满足项目所在地污水排放标准；设备应能够远程监

控和操作，无需专人值守。自带各类自动保护功能；设备应能够即时显示耗材状态，并在需要更

换时提醒。

（3）工艺冷却水系统

工艺冷却水泵要求参考空调水泵要求，管路及阀件材质为SUS304,保温材料采用以符合国

家标准耐燃且不扬尘的保温材料。全自动化设计，由中央监控系统监视及自动、手动操作控制，

开放所有接点并配合协助中央监控系统监控。循环水箱需设置电导率监控。

（六）压缩空气部分

1、压缩空气管道系统的设计包括：系统工艺流程和控制原理设计、设备管道平面布置设计等，

含工艺设备二次配管。压缩空气品质满足工艺要求，禁油、禁水、禁颗粒等，管道和阀门系统为

304BA级不锈钢。压缩空气管道至工艺设备和测试设备之间预留调压阀和隔断阀。空压机房应考

虑降低噪声装修设计。

2、空压用气量还需要考虑空调系统二流体喷雾加湿空压耗气量。

3、空压系统设计采用无油空压，含水率/压力露点-40C,颗粒小于0.01um,含油量0.01mg/

M3,压力0.8UPa,空压机不考虑备用，在空压机系统维修或者故障时，切换氮气供应。

（七）供配电部分

1、设计范围：

（1）电气设计界面为变电所低压柜馈线开关的下端口，变电所低压柜馈线开关及以上为校方

基建处范围，变电所低压柜馈线开关以下为本设计的内容，含工艺设备二次配线。

（2）建筑改造范围内工艺设备及其配套（包括大宗和特殊气体传输系统）的水、电、气、空

调、通风、工艺排气、工艺冷却水等设备的配电系统的设计，大宗和特殊气体传输设备的配电系

统设计。

（3）建筑改造范围内照明系统的设计，根据情况适当采用LED设计，•些特殊气体位置如氢

气等需要考虑照明灯的防爆设计。

（4）建筑改造范围内应急照明系统及疏散指示系统的设计。

（5）动力设备及管道的防雷接地，建筑改造范围内工艺设备专用防静电接地，环境设备与管

道防静电接地及等电位接地系统的设计，器件测试区要考虑地面防静电设计。

（6）建筑改造范围内防雷接地系统的设计。

（7）低压配电系统频率为交流50Hz,电压为380/220V。

（8）建筑改造范围内重要工艺设备的UPS供电系统设计。

（9）工艺设备配电、厂务设施配电、工艺设备二次配电等一切需要用电部位或者设备，所有

4-

非消防配电箱柜应预留30%以上备用开关。工艺设备配电需求详见：附件1《浙江大学宁波校区硅

基异质集成芯片研发技术创新示范平台设备动力需求参数表》

2、配电系统要求

（1）配电系统应按工艺配电系统、照明配电系统、插座配电系统、空调配电系统、动力配电

系统、应急配电系统、消防配电系统等分系统配电，相互独立，配电系统应能分别进行能耗计量

与监控。三相280V的供电由投标单位自行设计，充分考虑对电网的影响。

（2）远程控制或配电的动力设备应有维修时就地控制按钮和防止远方误操作的安全措施，为

检修方便，需就近设检修开关箱。

（3）所有非消防配电箱柜应预留30%以上备用开关。

（4）建筑改造范围内工艺设备插座从工艺配电箱配出，清扫、检修用及实验室普通插座从插

座配电箱配出。

（5）室外配电设备防护等级为IP65,采用不锈钢防雨箱体。

（6）桥架采用热镀锌桥架、配电线管，采用KB」管，严禁使用PVC管道。

3、防雷与接地要求

洁净室吊顶、金属壁板、FFU、金属门窗、气体管道等做等电位与防静电接地，设备防雷接地，

设备的防电磁脉冲接地等需按国家及地方相关标准规范进行设计。

4、照明系统要求

照明设计应美观大方，洁净室应采用洁净专用灯具，光源采用高效节能型光源。

（八）通信部分

1、设计范围

（1）建筑改造范围内所有涉及到的火警点位与应急广播点位的设计。

（2）建筑改造范围内安保监控点位（无死角）和门禁的设计。

（3）建筑改造范围内电话网络点位的设计。

（4）建筑改造范围内IT系统的设计。

2、通信系统要求

（1）建筑改造范围内的洁净室需要电话网络接口和1T网络通讯接口，建筑改造范围内的洁

净室内的所有视频监控系统。

（2）所有进入屏蔽区域的信号线缆应通过信号滤波器或进行其他屏蔽进行处理。

（九）自控部分

1、招标范围

（1）动力、空调、工艺排气、工艺冷却水系统、压缩空气、纯水系统的自动控制的设计。

（2）建筑改造范围内所有涉及到的建筑设备监控系统（BA）的设计。

2、自动控制系统要求

（1）空调设备的控制精度应能满足各实验室房间环境要求，重要房间采用高精度温湿度传

感器，空调机组采用变频控制，FFU采用群控功能，整个空调系统采用DDC/PLC控制系统进行监

控。空调设备提供值班模式（手动选项）。

（2）冷热源主机自带控制柜，其参数与故障信号采用总线方式远传至监控室进行监控。冷

却水泵、冷冻水泵及仪表等采用DDC/PLC控制系统进行监控。

（3）一般排气系统、有机排气系统、酸性废气处理系统、辅助排气系统风机采用变频控制，

4-

排气系统采用DDC/PLC控制系统进行监控。

（4）洁净室内需要放置温、湿度显示，并上传到中控室。

（5）本项目自带PLC控制器的设备与自控系统要求兼容，设备自带通信协议要求开放。

（6）纯水系统、废水废液系统、工艺冷却水系统的运行状态需由自控系统监控，其中超纯

水的水质技术参数需要在末端进行显示。

（+）大宗及特殊气体输送系统

1、工作范围及要求

（1）实验室内普通氮气所需设备（氮气储罐、汽化器、调压过'滤装置）的供应。

（2）实验室内工艺设备所需气体设备（气柜、气瓶架、VMB、VMP）的供应。

（3）尾气处理设备的供应、安装与调试。

（4）气体侦测与监控报警系统设备采购及系统安装供应及现场安装调试。

（5）工艺设备所有气体设备配套的输送主管道及二次配管道的供应及安装，包含配套辅助系

统的连接。

（6）除本文件注明部分外，其它为完成以上任务所需的所有必须的材料、设备、人工等。

（7）本系统的安装工程由具有SEMIS2/IS0/CE生产资质的单位承担，或提供与具有相应资

质单位的合作协议。

2、气体输送系统基本要求

（1）氮气站

a.液氮储罐容积10m3；汽化器汽化能力40（）m-Vh,汽化器1台。液氮储罐由承包人提供。

氮气罐、汽化器安装基座由中标单位负责完成。

b.站内管道需采用深冷管道，阀门需采用深冷阀门。

c.氮气站内需设置智能数显表、报警装置、防盗监控、工作照明

d.投标厂商需负责氮气站使用许可证的办理；

（2）气瓶柜

a.全自动配置，配备减压阀、PN2吹扫单元、EFS、抽真空单元、双段过滤系统、压力传

感器PT）、独立抽风、侦测器（GC和ENV）、消防喷淋头、UV/IR等必要的组件，并有预留阀。

b.PLC控制盘面为10寸以上彩色液晶触摸屏操作，中英文操作系统，显示讯号包含气体

供应状况、运转状态、气瓶重量、压力显示及警报等。触摸屏品牌须为国际知名品牌.GC为全自

动操作，具钢瓶自动切换、吹扫、抽真空、显示、远程紧急切断、压力传感器标零、故障报警、

供气状态输出显示（故障、停气、供气.等全自动操作功能，具备历史报警记录功能；同时也可切

换为全手动操作。

c.对于高压气体钢瓶，其GC均含有压力调控盘（PressureControlManifold）作为压力控

制及吹扫面板（PurgePanel）以提供钢瓶切换时高压检漏测试功能和完整吹净程序。。2、NH3、

BC13等液化性气体钢瓶采用高精度的电子磅秤，以对钢瓶存气量进行监控；NH3、BC13等低气压

液态储存钢瓶应根据热力学计算，配备有加热毯，加热面积覆盖整个钢瓶，加热能力满足最大输

送流量的热量要求，能够保证最大流量的稳定输送。

d.气柜内应安装高温报警及自动喷淋系统；对于易燃易爆有毒腐蚀性气体须设置过流关断

开关（ExcessFlowSwitch）；GC外置独立吹扫氮气（PN2,纯度6N）；吹扫气体应由独立钢瓶提

4-

供，不相容性气体不能共享同一吹扫气体钢瓶。每一气源控制器上（GSCE）的吹扫管路至少需有

•个以上的逆止阀（CheckValve）<>

e.气柜管线阀件应根据压力及气体性质的不同，承包方应于投标技术服务书中详细提出材

质及各组件规格。对于易燃易爆气体（如GeH4、PH3、B2H6、SiH4等）还需采用气动瓶阀方式，

并配备温度传感器和UV/1R,UV/IR侦测器需连线至紧急关断阀（ESOV）。GC柜体为符合国际

安全规范的带钢丝玻璃观察窗的抽风外壳，外壳钢板厚度不应小于2.5mm,并有防腐蚀涂层；柜

门须具有自动关闭，上锁的功能。带可调节抽风功能，负压监控。

f.每种气体在气柜端均为双工艺出口，并配置终端过滤器。针对液态气源，承包人应于投

标技术服务书提出GC的供应能力相应的热力学和流体力学计算结果，配置盘面加热和集中加热

单元（PanelHeating&HeatingBlock）及控制系统，加热能力满足最大输送流量的热量要求，能

够保证最大流量的稳定输送。依据气体压力、钢瓶重量及气体性质自动切换钢瓶，其采用两段式，

第一段警告，第二段自动切换。每一钢瓶应有远程遥控启动紧急停机开关，在灾害发生时钢瓶被

自动关闭；并在特气房的出口应设置手动紧急手动关断装置（EMO）。

g.GC排风出口设置气体泄漏侦测器，气体泄漏侦测器报警能使钢瓶关闭、停止供应及提

供警报给集中监控系统。

h.气柜控制系统：GC采用可程序化逻辑控制（PLC）能自动及手动控制，并能与气体侦

测监控系统兼容，气体侦测监控系统须设计置于远端关闭（RemoteShutdown）方式来控制气柜供

气。PLC须为国际知名品牌。系统发生警告（Warning）/切断（ShutDown）状况至少包含以下的情况:

①气体过流量时；②低压或排风系统失效时；③气体输送压力过高时；④电力失效时；⑤侦测到

气体泄漏时：⑥气柜测到火警时；⑦控制系统失效时。

i.气柜内需具备GN2真空发生器以增加安全性及提供完全吹扫程序；仪表及气动阀使用

的GN2与真空发生器的GN2应各具有一组调压阀，不可共享同一源头。当压力传感器（PT）感

测管线压力超过设计压力时，应自动关闭供应阀门。

j.各气柜吹扫时的尾气处理则依不同的气体种类，经尾气处理设备处理后排放：易燃易爆

气体的GC须设置吹扫排气管线将吹扫尾气引至BumBox充分燃烧后排至酸排风管道，其吹扫排

气管线应设计有氮气混合将气体浓度控制于自燃浓度以下，排气管道吹扫氮气流速不低于0.3m/s：

其中稀释氮气的管道与阀门材料与施工含在项目中。

k.在钢瓶接头附近的管线应设有GasketFilter以去除更换钢瓶时可能产生的金属颗粒，承

包方应于投标技术服务书提出上述过滤孔径。

1.含在要项目中气柜风管应衔接至预留于气体室内的酸排风风管，承包方应于投标技术服

务书提出上述气柜柜体排风风量及风速规定，保证气柜内的特气体积浓度小于0.4%,并保证流经

气瓶颈部和管道机械连接处的气流速度不小于lm/s。

in.所有气柜应设置清晰明确的标示牌，包含气体成份及浓度、供应机台名称、气柜内管

线、阀体、附件及危害性分类和相关安全警示标志。例如：Process、Purge、Vent等。

（3）气瓶架

a.气瓶架采用手动操作，1+1钢瓶自动切换配置，配备减压阀、进出口高低压隔离阀、双

段过滤系统、高压端压力传感器PT）等必要的组件，并有预留隔膜阀。

b.PLC控制盘面为7寸以上彩色液晶触摸屏操作，中英文操作系统，显示讯号包含气体供

应状况、运转状态、气瓶重量、压力显示及警报等。触摸屏品牌须为国际知名品牌。

4-

c.针对液态气源，承包人应于投标技术服务书提出GR的供应能力相应的热力学和流体力

学计算结果，配置盘面加热和集中加热单元及控制系统，加热能力满足最大输送流量的热量要求，

能够保证最大流量的稳定输送。同时气体钢瓶采用高精度的电子磅秤，以对钢瓶存气量进行监控。

d.每种气体在钢瓶端均采用双工艺出口，一工艺出口设计预留阀（隔膜阀.，便于未来工

艺扩充。

e.在钢瓶接头附近的管线应设有GasketFilter以去除更换钢瓶时可能产生的金属颗粒，承

包方应于投标技术服务书提出上述过滤孔径。

f.C4F8等低气压液态储存钢瓶应根据热力学计算，配备有加热毯，加热面积覆盖整个钢

瓶，加热能力满足最大输送流量的热量要求，能够保证最大流量的稳定输送。

（4）阀门分流箱

a.采用半自动VMB：手动吹扫与抽真空，自动紧急远程关断、事故报警。

b.VMB根据工艺设备需求表设计stick数量，并且每个VMB均需预留一个隔膜阀出口做

预留，便于未来设备扩充。

c.VMB进气主管配置进口手动阀门、压力表、扩充预留阀；各Stick支管配置进出口手动

隔离阀、调压阀、压力表（PG）、抽真空排气和吹扫氮气等组件与功能；预留出口阀采用隔膜阀。

所有有毒有害特种气体，均配置VMB,方便后期扩展。

d.采用符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗，安全金属钢板抽风外壳，壳钢板厚度不应

小于2.5mm,并有防腐蚀涂层。具有自动关闭门、抽风外壳、上锁等功能。采用PLC控制系统,

PLC为国际知名品牌。

e.SiH4、PH3、B2H6、GeH4、C12等气体采用双套管，配备负压监控装置。特气钢瓶与管

道吹扫气体需经专门localscrubber装置处理。

f.双套管内管选用SS316L-EP超净管；外管选用SS316L-BA,管内采用负压传感检测。其

余管材、阀门与组件均采用SS316L-EP,具体品牌要求见品牌表。管路非焊接接口采用VCR连接，

焊接接口采用自动轨道焊接方式。所有可燃性气体管道需做接地处理。

（5）阀门分流盘

a.VMP主管道进口设置手动隔离阀（隔膜阀）、压力表。

b.每个Stick支路配置独立进出口手动隔离阀（隔膜阀）、调压阀、压力表（PG）、过滤器、

出口手动隔离阀（隔膜阀）等功能。

c.每个VMP均需预留一个slick,并设隔膜阀做预留，便于未来设备扩充。

d.管材选用SS316EP超净无缝管阀门与组件等品牌具体见气体系统材料品牌规格要求。

e.管路非焊接接口采用VCR连接，焊接接口采用自动轨道焊接方式。

（6）GDS/GMS系统

a.气体泄漏侦测系统：气体侦测部分包含对所有特种气体侦测点的监测。侦测气体种类为

所有易燃易爆、有毒、腐蚀性、助燃性气体。侦测范围包括特气GC、VMB抽风、机台抽风、各

区域环境侦测（根据不同气体不同侦测器的工作范围设定具体数量）、密闭空间02侦测、LAU和

EMO等。侦测器具体位置需与发包人确认后再施工。

b,发生泄漏时，提供各检测点的声光报警并藉由广播系统传达警告讯息，同时将信号传输

至集中监控系统。气体侦测报警状况，系统需具备侦测器历史数据查询及记录功能。

c.GDS能与气体设备监控系统（GMS）互锁：实时输送气体泄漏报警信号给GMS,可实

4-

现远程自动关断和手动关断：实时输送气体侦测系统工作异常报警信号给GMS实现相关联动；与

消防系统、风机控制系统等实现联动控制。

d.GDS/GMS系统的设备满足监控端远程实时显示各气体泄漏侦测点状态（浓度、报警状况、

浓度报警值设定等）；监控端远程实时显示各气瓶柜/气瓶架运行数据状态（含报警、压力、钢瓶重

量、阀门开关状态等）；监控端远程实现尾气处理设备、工艺设备的监控显示互锁功能；气体监测

部分状况与气体设备系统互锁。

e.实时输送气体泄漏报警信号给气体设备监控系统，实现远程自动关断：实时输送气体侦

测系统工作异常报警信号给气体设备监控系统，实现相关联动；

f.监控终端为电脑，满足系统运行状态与历史数据库可查询及现场打印，包括各侦测点报

警历史、各侦测点历史浓度曲线、系统重要操作历史记录等。所有所需硬件配置都由承包商供应

（包含监控电脑、上位软件等）。要求完整配置、建立预留足够的报警和系统控制部分容量，以备

后续扩产报警探头扩展，冗余50%。气体泄漏侦测器为进口品牌，采用品牌为HoneywelL

g.气体探测器配置数量应不少于47个点位，包括危险性气体气柜抽风、气柜环境、VMB

抽风均需设置独立侦测器，工艺设备抽风及环境点均需设置独立侦测器，各区域需设置独立的塔

灯及EMOo

（7）尾气处理设备

a.配置不少于2套尾气处理设备。处理气体设备尾气废气排放、本平台所有使用特气的工

艺设备泵排气处理。

b.特气处理效率：大于99%

c.设备入口：KF40*4PCS,可以接至少4台泵的排放

d.电控系统：采样触摸屏+PLC控制系统，预留网络接口，便于远程监控该设备的运行状况

e.制造单位：需要通过IS09001质量管理体系，提供证书

f.水流量计：至少2只，分别控制入口侧和出口侧的喷淋流量。并可以方便查看流量情况

g.设备的报警：温度报警，加热温度与设定温度超过一定温度时，设备有声光报警。水流

量报警，报警值可调节。负压报警（入口和出口负压）并可以设定报警值。高温报警及水流量报

警时，停止加热。

（8）输送管道

a.易燃易爆有毒及腐蚀性气体输送管道系统，管道采用SS316LEP输送；其中

SiH4,PH3,B2H6,GeH4,C12管道采用双套管，内管SS316LEP,外管SS316BA,负压设计，接上压

力侦测与报警装置以检知泄漏状态，并将采集压力信号输送至集中监控系统:输送压力：30」00P$ig；

输送能力：大于25slm。气柜至VMB双套管两侧需为闭合端（doseend）,设置二段式压力开关含

显示

b.BC13、NH3等液态气体输送管道系统，须配置伴热系统、温度传感器、外包保温材料和温

控装置器以避免气体凝结，保证气体稳定供应

c.大宗工艺气体和惰性气体输送管道系统，管道材质：SS316LEP。其中GN2为316LBA

d.所有特种气体系统采用SUS316LEP膈膜阀。

e.管路非焊接接口采用VCR连接，焊接接口采用自动轨道焊接方式。

3、气体输送系统测试要求

（1）测试检验标准具体指标如下表所列：

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项目指标参数

高压气体2000psig

压强测试（24小时内无