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文档简介
半导体物理课程教学大纲(SemiconductorPhysics)一、课程概况课程代码:2303106学 分:3学 时:48(其中讲授学时48,实验学时先修课程:高等数学大学物理,固体物理学适用专业:新能源科学与工程教 材:《导理学,恩科,子业出社,2017.06课程归口:光电工程学院微电子信息类专业和其它有关专业的必修课或选修课。通过本课程的学习,培养学生掌握半导体相关知识理论概念,熟练分析方法,增强解决实际问题的能力,并根据所学知识,能够对半导体相关器件产品进行合理设计改造,为后续专业课程及实际知识运用奠定坚实的知识基础。二、课程目标1.联系。2.带结构。3.理内涵。4.PN的相关理论知识。目标5.了解半导体表面与MIS结构相关知识,掌握半导体异质结结构能带图。6.运用的原理。毕业要求指标点课程目标目标1目标2目标3目标4目标5目标6毕业要求1-4√√√毕业要求3-1√√毕业要求4-4√毕业要求6-1√14(20毕业要求指标点课程目标目标1目标2目标3目标4目标5目标6毕业要求1-4√√√毕业要求3-1√√毕业要求4-4√毕业要求6-1√三、课程内容及要求(一)半导体中的电子状态教学内容半导体概念及半导体晶格结构与结合性质。半导体的电子状态和能带及运动有效质量。不同半导体材料的能带结构基本要求了解并掌握半导体基本概念,包括半导体的定义、结构及分类等。掌握半导体的能带结构知识,了解不同半导体材料的能带结构特点。理解半导体中的电子运动状态。重点难点半导体能带结构的理解。半导体电子运动状态理解。不同半导体材料的能带结构分析。(二)半导体中杂质和缺陷能级教学内容硅、锗晶体中的杂质能级。Ⅲ-Ⅴ族化合物中的杂质能级缺陷、位错能级基本要求掌握硅、锗晶体中的杂质存在方式及相关能级概念。了解Ⅲ-Ⅴ族化合物中的杂质能级相关知识,掌握一些概念知识。掌握缺陷、位错的概念。重点难点杂质存在方式的理解。施主杂质,施主能级,受主杂质、受主能级的理解。Ⅲ-Ⅴ族化合物中的杂质能级的理解。缺陷、位错的概念理解(三)半导体中载流子的统计分布教学内容状态密度费米能级和载流子的统计分布本征半导体的载流子浓度杂质半导体的载流子浓度一般情况下的载流子统计分布简并半导体基本要求了解状态密度,熟悉费米能级及载流子的概念。了解费米分布函数,玻耳兹曼分布函数。了解本征半导体,杂质半导体,简并半导体的概念。载流子浓度的计算推导过程及统计分布。重点难点状态密度概念理解。载流子的统计分布与浓度计算推导过程。本征半导体,杂质半导体,简并半导体的概念。(四)半导体的导电性教学内容载流子的漂移运动与迁移率。载流子的散射。迁移率与杂质浓度和温度的关系。电阻率与及其与杂质浓度和温度的关系强电场下的效应,热载流子基本要求掌握欧姆定律、飘移速度与迁移率的概念,了解迁移率与导电率的关系。掌握载流子散射的概念。了解迁移率与杂质浓度和温度的关系。了解电阻率与及其与杂质浓度和温度的关系。了解欧姆定律的偏离。重点难点欧姆定律、飘移速度与迁移率的概念,迁移率与导电率的关系的理解。迁移率与杂质浓度和温度的关系的理解。电阻率与及其与杂质浓度和温度的关系的理解。(五)非平衡载流子教学内容非平衡载流子的注入与复合概念非平衡载流子寿命,准费米能级的概念。复合理论。陷阱效应,载流子的扩散运动,漂移扩散,爱因斯坦关系式,连续性方程式硅的少数载流子寿命与扩散长度基本要求掌握非平衡载流子的注入与复合概念与非平衡载流子寿命及准费米能级的概念。掌握复合理论。理解陷阱效应,载流子的扩散运动,漂移扩散,爱因斯坦关系式,连续性方程式。重点难点注入与复合、非平衡载流子寿命及准费米能级的理解。复合理论。掌握硅的少数载流子寿命与扩散长度的知识点(六)PN结教学内容PN结及其能带图。PN结电流电压特性。PN结电容PN结击穿PN结隧道效应基本要求PNPN结。PN结电流电压特性及电容。PN结击穿与隧道效应。重点难点PN结及其能带图。PN结电流电压特性。PN结电容、击穿、隧道效应(七)金属和半导体的接触教学内容金属半导体接触及其能级图。金属半导体接触整流理论。少数载流子的注入与欧姆接触基本要求掌握并会分析金属半导体接触及其能级图。理解掌握金属半导体接触整流理论。掌握少数载流子的注入与欧姆接触。重点难点金属半导体接触及其能级图的分析。金属半导体接触整流理论的理解。少数载流子的注入与欧姆接触的理解(八)半导体表面与MIS结构教学内容表面态。表面电场效应。MISC-V特性。硅-二氧化硅系统的性质。表面电导与迁移率。基本要求掌握表面态、表面电场效应。MISC-V特性。熟悉硅-二氧化硅系统的性质。掌握表面电导与迁移率概念。重点难点表面态、表面电场效应。MISC-V特性的理解。表面电导与迁移率概念的理解。(九)半导体异质结构教学内容半导体异质结及其能带图。PN结的电流电压特性及注入特性。半导体异质结量子阱结构及其电子能态与特性。半导体超晶格基本要求掌握半导体异质结及其能带图的概念,并会分析解释。PN结的电流电压特性及注入特性。了解半导体异质结量子阱结构及其电子能态与特性。了解半导体超晶格。重点难点半导体异质结及其能带图的理解。PN结的电流电压特性及注入特性的理解。半导体异质结量子阱结构及其电子能态与特性的理解。半导体超晶格的理解(十)半导体的光学性质和光电与发光现象教学内容半导体的光吸收。半导体的光生伏特效应半导体发光半导体激光半导体异质结在光电子器件中的应用基本要求掌握半导体光吸收的本质。掌握半导体发光的本质。了解半导体异质结的应用。重点难点(1)半导体光吸收的过程,与发光及激光的本质。(十二)半导体磁和压阻效应教学内容(1)霍尔效应。基本要求(1)掌握霍尔效应的概念,并会分析解释。重点难点(1)霍尔效应概念的理解。教学内容与课程目标的对应关系及学时分配如表所示。序号教学内容支撑的课程目标讲授学时实验学时1半导体中的电子状态82半导体中杂质和缺陷能级53半导体中载流子的统计分布74半导体的导电性45非平衡载流子46PN结47金属和半导体的接触48半导体表面与MIS结构49半导体异质结构410半导体的光学性质和光电与发光现象312半导体磁和压阻效应1合计48四、课内实验(实践)序号实验项目名称实验内容及要求学时类型备注无五、课程实施(一)教学方法与教学手段析实际问题。同时,积极调动学生的课堂参与度。自主学习能力。(二)课程实施与保障主要教学环节质量要求1备课2讲授3作业布置与批改学生必须完成规定数量的作业,作业必须达到以下基本要求:教师批改和讲评作业要求如下:。4课外答疑为了解学生的学习情况,帮助学生更好地理解和消化所学知识、改进学习方法和思维方式,培养其独立思考问题的能力,任课教师需每周安排一定时间进行课外答疑与辅导。5成绩考核本课程考核的方式为闭卷笔试。考试采取教考分离,监考由学院统一安排。有下列情况之一者,总评成绩为不及格:1/31/30.6。六、考核方式(一)课程考核包括期末考试、平时及作业情况考核,期末考试采用闭卷笔试。(二课程成绩=平时成绩考试成绩×50%期末考试成绩×50%成绩组成考核/评价环节权重考核/评价细则课后完成20-30个习题,主要考核学生对每节平时作业20%课知识点的复习、理解和掌握程度,计算全部1-3作业的平均成绩再按20%计入总成绩。完成2个实验,主要考核学生应用基础知识进行验证及设计实验,并对实验结果进行分析与平时成绩实验成绩15%评价的能力。每个实验按百分制分别给出预3-1验的成绩。以随机的形式,在每章内容进行中或结束后,课堂练习15%1-36-1平时考勤,最后按20%计入课程总成绩。期末考试期末考试卷面成绩50%50%20%。1-3、3-1、6-1(三目标达成度计算方法如下:i
A100AiBiCi式中:Ai=平时成绩占总评成绩的权重i在平时成绩中的权重,Bi=实验成绩占总评成绩的权重i在实
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