SJ-T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求

Requirementsforsemiconductorequipmentmanufacturinginformationtagging前言 12规范性引用文件 13术语和定义 1I本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)提出并归口。体科技有限公司、北京京运通科技股份有限公司、中微半导体设备(上海)有限公信息的拷贝、印刷和屏幕显示稳定精确的在线检索以及在将原始资科整合到培训2规范性引用文件凡是不注由期的引用文件，其最新版本(包断有的修改单)适用于本文件。ISO8379.1986/A1:19一致性编写应用程序用于创建一致性文档。对于一致性编写应用程序一致性元素是使用半导体设备制造信息标识为该类元素规定名称和标1照结构模型(例如DTD或Schema)划分。2标签tag标签是符合SGML标准规则的一串字符(也用于XML和HTML)。标签位于数据流中，指示可扩展链接语言extensiblelinkinglanguage可扩展标记语言extensiblemarsuplangu接规范可以为半导体设备制造信息标调规定的超文本链接提供语法XSL样式表语言在本标准中既未——限制条件检索(提高精度);4.2SGML标准和XML建议语族则应完全符合W3CXML建议。规定超文本链接符合可扩展链接语言(XLL)也是为了达到上述目的。和XML句法编写的DTDs应符合SGML的XML子集要求，不应使用XML所禁止的功能和语法，如34.4.1文档(信息)模型可以命名元素，描述元素之间的关系以及设置标记或内容限制，并控制信息 URL等。 4——通过对顶层和下层的命名创建明确的层次结构。(一个<section>可以包含一个或多个<subsections>,而每一个<subsections>也可以包含一个或多个<sub-subsections>,以此类推。)——RCDATA和CDATA声明内容(元素和实体不能被识别的字符数据);——“AND”连接器(用于指定需要连接的所有元素，但顺序无关紧要);—CDATA(字符数据) ID(当前文档中元素的唯一标识符):——IDREF和IDREFS(同一文档中指向其他——ENTITY或ENTITYS(一个或多个已定义的实体的名称);——NMTOKEN或NMTOKENS(完全由名称字符组成的一个或多个单词)。——#REQUIRED(必须出现的);——#IMPLIED(可选择的，可以被应用程序应用);——#FIXED(固定的，不能修改)。5创建可最大限度地重复使用，并且与XML兼容的SGML文档，根据半导体设备制造信息标识产生的标记实例应符合以下要求：——字符“<”和“&”应分别转化为“&1t”和“&”; 数据内容中可存在无标记部分；——一般文本实体的替换文本应格式良好，例如一个元素在一个实体内开始，应在该实体内结束； 应显示所有属性(包括默认属性),属性值应是格式良好的，带有名称、等号、引号； 除XML声明之外，禁止使用处理指令，例如：<?XMLversion=“1.0”RMD='INTERNAL'>。5半导体设备制造信息标识的使用5.1一致性一致性文档是符合半导体设备制造信息标识规定的文档类标记规则的支档。非一致性文档是未正确使用标记或者未遵守半导体设备制造信息标识规定的标记规则的文档。应用程序创建的一致性文档应可在没有重要信息天夫的条件下与非他一致性应用程序交换。卡致性应用程序何以为交换到其他系统的文档或信息类传递标记规则(信息模型)。一致性应用程序用以创建呈现或者利用一致性文档工作，包活浏览器、在线呈现软件、打印与组合引擎、编辑器和编写系统、搜索和检索引擎等。当把一致性文栏需入、转化为软件的内部格式时，这些应用程序应能够接受这些一数性学5.1.2一致性编写应用程序一致性编写应用程序应可以生一致性信一个用程序如甲具有以下功能，则符合半导体设备制造信息标识要求——创建和处理一致性文档： 创建和操纵大类或多类的一致性文档； 导入一致性文档到应用程序和输出匹配的一致性文档： 将非一致性文档转换成一致性文档。5.1.3一致性呈现应用程序一致性呈现应用程序应可在不导致信息重大损失的条件下呈现(打印显示、语音表达等)一致性文档。呈现内容应与初始系统的目的保持一致，但无需达到精确拓制的程度。呈现应用程序应可以接受任何符合本标准要求的一致性文档，并且以可视或非可视的形式呈现上述文档。一致性呈现应用程序应不再对内容等提出额外的要求或限制。例如，渲染引擎可以不要求模型中的可选元素出现，也可以不要求属性值范围比模型更严格。根据半导体设备制造信息标识标记的文档应按照SGML或者XML模型解析，并应遵守本标准规定的规则和标签库。标识验证应利用有效的SGML或XML分析程序完成，以独立的形式或者合并到其他软件包中。5.2半导体设备制造信息标识的维护6——备注(需要时)——相关元素(需要时);——与元素相关的属性(如有);——呈现信息(需要时)——元素的标记示例(需要时);7包括供内部使用的附加元素(这些元素在交换前需要被删除),例如，这些信息可能包括用于跟踪内部8 ——格式(Format)。——来源(Source)。——版权(Rights)。9 A.4手册元素A.4.2元数据除基本项目标签中的元数椐外，手逐应鼓持基础命名空间内的元数据(手册类型): 维护手册通常经过培训的维修技师在客户现场进行设备的维修和保养时使用的手册类型。 手册型 A.6配方元素A.6.2元数据 A.10.1元素描述除基本项目标签中的元数据外错误在码元素还应支持以下在塞础命名空间内