TSICA 006-2024 集成电路晶圆厂用天车传送系统通 用技术要求

SICAI 2 2 3 3 4 4 4 4 4 4 4 4 5 5 5 5 6本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定司、重庆前卫无线电能传输研究院有限公司扬软件（上海）有限公司、荣耀半导体材料（嘉善）有限公1集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求本文件适用于集成电路晶圆厂用AMHS系统中的天车GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用GB/T13384机电产品包装通用技术天车传送系统overheadhoisttransfer4缩略语AMHS：自动物料搬运系统（AutomaticMaterialHaAP：无线接入点（AccessPoint）FAB：晶圆制造车间（FabricatFOUP：12吋前开式晶圆盒（12"FrontOpeningUnifiedPoOCS：天车控制系统（OHTControlSyOHB：空中缓存单元（OverheadHoistBPOD：8吋开放式晶圆盒(8"Wafer2内容轨道搭建能力：满足每月2万片晶圆产能需求；实际长度符合技术式样书的规定，满足震动强度≤0.5G要求；轨道连接处高低差≤0.2mm;全区域内轨道水平度≤2mm;任意两弯轨连接的直线轨道直线度误差在±2mm范围内；符合搬送能力及实际生产能力具备显示供电装置运行状况和异常报警功能；供电线缆和供电箱具备温度检测装置和异常报警功能；供电系统具有供电互备冗余设计，应对个别供电柜损坏问题；内容负载能力直线最大速度≥3.5m/s(210m/min);转弯最大速度≥1m/s;最大减速度≥2.96m/s²(0.3G);移载时间单次移载生产设备(晶圆装载装置高度900mm,天花板高度4.6m)≤8.5s;单次移载OHB≤8s;单次移载STK≤8.5s非接触式供电具有多组安全感应器，包括防追车测距传感器(CollisionS测传感器(LookForwardSensor),下方物体检测传感器(LookDownSensor),保险杠传感器(BumperSensor),FOUP防坠落检测传感器(FOUPDropDetectSensor),夹爪摆动检测传感器(SwingSensor),皮带松弛检测具备紧急停止按钮；显示功能误差在±1mm范围内AP信号双重覆盖设计，具有信号强弱检测功能；噪音≤75dB(运行状态，离地1.5m)负载率专用频段宜为5G:36/40/44/48频段。3e)提供安装更换天车所有部件的调试工具和设控制器参数修改应能在具备可扩展性，有增加天车、轨道等扩展功能。具备监控各个天车运行数据以及部件寿命功能，包括但不限于天车行进速度、载荷状态、运核心部件运行数据开放，供使用具备故障避让功能，天车或轨道发生故障时，切断该故障轨道的运行，天车能自动避让故障具备天车与生产设备通信，天车运行，天车关非接触供电系统具备感热线温度监控功能。1具备在天车注册后，服务器将数据自动推送到天车，减少天车配置时间的功能。监控系统可接入本地网络。能够实时显示天车的位置、载荷状态、搬运路径及运行状态等信息。能够计算产品的可靠性把握机器的异常发生和修复状况，把握机器使用状况和稼动回数的推移。调查搬送回数和搬送时间的倾向，搬送时间的详细内容，调监控轨道上天车的通过量,监控轨道承载量。0具备故障排除说明书。48.1标志56[6]SEMIS1SafetyGuidelineforEquipmentSafetyL[7]SEMIS2Environmental,Health,andSafetyGuidelineforSemiconduManufacturingEquipment[8]SEMIE10Specification[9]SEMIS22SafetyGuidelinefortheElectricalDesignManufacturingEquipment[10]SEMIS23Guideforenergy,Utilities,andmaterialsemico