T-CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法_第1页
T-CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法_第2页
T-CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法_第3页
T-CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法_第4页
T-CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法_第5页
已阅读5页，还剩7页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

CCGAProtocolformeasuringdestructionorremovalefficiency(DRE)ofpoint-of-useabatementequipmentinpan-semI 2 2 4 8本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定本文件起草单位：埃地沃兹贸易（上海）有限公本文件主要起草人：朱文心、熊艳玲、刘翔宇、高艳秋、魏王1泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法EPA430-R-10-003电子制造中氟化温室气体消除设备分解移除效率（DRE）的协议（ProtocolforEquipmentinElectronicsManufacturin尾气处理设备point-of-useabateme2全氟化合物perfluorinatedcompo挥发性有机物volatileorganiccompound沸点在50～250℃之间，温度298.15K时蒸汽压大于等于0.01kPa，或者能够以气态分子的形特种废气specialcontaminatedwaste氧化性、自燃性、可燃性、惰性等物质的废气。分为烷类、全氟化合物和其它废气与工艺尾气混合后不发生变化且不影响尾气处理系统的性能，并在很低的浓4试剂和材料4.1工艺尾气12344.2氮气5设备与仪器测仪，检测尾气处理设备进出口的气体浓度。工艺尾气处理系统流312台21台31个43个53个630~200℃,精度0.1℃米4在采样进口安装采样泵，以收集流出物。采样泵需要有足够的抽气能力，避免气体回为避免干扰，采样管道应配备恒温加热套，保证尾气处理设备的流入物和流出物打开氮气吹扫，充入氮气至115kPa。30min后，关闭氮气吹扫流量阀，监测系统并等待5m的压力读数并记录。再等待10min并记录第二次压力读数，若此时压降小于2.5kP打开氮气吹扫，开启傅里叶变换红外光谱仪或便携式气体检测仪，进行背景采集。随后5和出口端工艺尾气浓度。当流量及压力稳定后，连续尾气处理设备的分解移除效率（DRE）的数据处理和计算，依据EPA430-R-10-003进行，……（1）……（3）Q出口——尾气处理设备出口的总气体体积流量612347尾气处理设备的分解移除效率（DRE）公式推导），DRE=1-(nsalmza)……（4）……（5）Q出口——尾气处理设备出口的总气体体积流量Q进口——尾气处理设备进口的总气体体积流量……（6

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论