标准解读
《T/CEMIA 032-2022 显示面板用氧化层缓冲刻蚀液》是一项由中国电子材料行业协会发布的技术标准,主要针对用于显示面板制造过程中对氧化层进行刻蚀处理的液体。该标准详细规定了此类刻蚀液的基本要求、技术指标、测试方法以及包装、标志、运输和贮存等方面的要求。
根据文件内容,对于显示面板用氧化层缓冲刻蚀液而言,其质量控制非常重要,以确保最终产品的性能稳定性和一致性。具体来说,本标准涵盖了以下几个方面:
- 定义与分类:明确了什么是显示面板用氧化层缓冲刻蚀液,并对其进行了分类。
- 技术要求:包括但不限于刻蚀速率、选择比(即不同材料间刻蚀速度的比例)、均匀性等关键参数的具体数值范围或要求,这些都直接影响到刻蚀效果及后续工艺步骤的成功率。
- 试验方法:为验证上述各项技术指标是否达标提供了详细的检测手段和程序,如使用特定条件下测量刻蚀速率的方法等。
- 检验规则:规定了产品出厂前必须通过哪些类型的检验,以及如何处理不合格品等问题。
- 标志、包装、运输和贮存:强调了正确标识信息的重要性,同时给出了关于安全包装、合理运输方式以及适宜存储条件等方面的指导原则,旨在保证产品在整个供应链中的品质不受损害。
该标准的制定有助于规范行业内相关产品的生产和应用,提高产品质量,促进技术进步与发展。
如需获取更多详尽信息,请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。
....
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- 现行
- 正在执行有效
- 2022-04-20 颁布
- 2022-07-20 实施
文档简介
ICS31030
CCSL.90
团体标准
T/CEMIA032—2022
显示面板用氧化层缓冲刻蚀液
Bufferedoxideetchantfordisplaypanels
2022-04-20发布2022-07-20实施
中国电子材料行业协会发布
T/CEMIA032—2022
前言
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GB/T1.1—2020《1:》
起草
。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任
。。
本文件由中国电子材料行业协会提出并归口
。
本文件主要起草单位杭州格林达电子材料股份有限公司
:。
本文件参与起草单位成都京东方光电科技有限公司迈奇化学股份有限公司英格尔检测技术服
:、、
务上海有限公司
()。
本文件主要起草人蒋哲男邢攸美高立江胡涛陈东良张之钧胡阳刘伟鑫闫广学周淑飞
:、、、、、、、、、、
张振洋梁龙飞彭澳徐森彪李盈盈洪明卫季文涛王小栋刘永南施珂李林佳周利超陈海刚
、、、、、、、、、、、、、
章帅迪徐一航
、。
Ⅰ
T/CEMIA032—2022
显示面板用氧化层缓冲刻蚀液
1范围
本文件规定了显示面板用氧化层缓冲刻蚀液的缩略语分类要求检验方法检验规则以及标志
、、、、、
包装运输贮存和安全
、、。
本文件适用于由氢氟酸水溶液和氟化铵水溶液组成的显示面板用氧化层缓冲刻蚀液适用于显示
,
面板制造中硅氧化物和氮化硅层的蚀刻同样适用于硅氧化物和氮化硅层的清洗过程
,。
氢氟酸和氟化铵的基本信息见附录中的
AA.1。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文
。,
件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于
,;,()
本文件
。
危险货物包装标志
GB190
化学试剂标准滴定溶液的制备
GB/T601
化学试剂杂质测定用标准溶液的制备
GB/T602
化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备
GB/T603
化工产品采样总则
GB/T6678—2003
液体化工产品采样通则
GB/T6680
数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T8170
纯氮高纯氮和超纯氮
GB/T8979、
电子级水
GB/T11446.1
化学品安全标签编写规定
GB15258
常用化学危险品贮存通则
GB15603
化学试剂离子色谱法测定通则
GB/T34672
洁净厂房设计规范
GB50073—2013
集成电路用氧化层缓冲腐蚀液
SJ/T11507—2015
电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则
SJ/T11637
电子化学品中颗粒的测试方法
SJ/T11638
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义
。
4缩略语
下列缩略语适用于本文
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