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文档简介

主讲教师：刘慧敏应变式压力变送器知识目标应变效应应变片工作原理及类型应变：在压力作用下元件产生的相对变形。应变效应：导体产生机械变形时，电阻发生变化的现象。应变仪应变效应金属应变片(金属丝或金属箔)和半导体应变片两类。应变片（1）丝式应变片：由称为敏感栅、绝缘基底、引线、保护膜等组成。（2）箔式应变片：用金属箔经光刻、腐蚀制成。应变片金属应变片体型半导体应变片：将半导体材料切割成小片，压焊引线后制成。薄膜型半导体应变片：利用真空蒸镀技术将半导体材料沉积在基片上制成。扩散型半导体应变片：将P型杂质扩散到不导电的N型单晶硅基片上，形成一层导电的P型扩散硅扩散电阻。应变片半导体应变片(a)体型半导体应变片（b）薄膜型半导体应变片(c)扩散硅半导体应变片当被测压力P作用于传感筒密封膜片时，传感筒受压变形，使应变片产生应变，应变片r1被压缩，阻值减小，应变片r2被拉长，阻值增加。被测压力应变片阻值的变化再通过电路进行转换成电信号输出。工作原理及类型应变片压力传感器示意图应变式压力变送器大致可分为应变筒式、膜片式、应变梁式和组合式4种。没有可动部分，有时也称为固态传感器。应变式压力变送器测量精度较高，测量范围可达几百兆帕

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