年产600万片半导体功率器件用DPC陶瓷基板技改项目报告表

建设项目环境影响报告表(污染影响类)(报批稿)项目名称：年产600万片半导体功率器件用DPC陶瓷基板技改项目中华人民共和国生态环境部制 二、建设项目工程分析 三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 97 大气环境影响专项评价 210附表1:建设项目污染物排放量汇总表。附件1:项目备案通知书；附件2:营业执照；附件3:租赁合同及土地证；附件4:各物料成分表；附件5:环评确认书；附件6:企业承诺书；附件7:专家意见及修改说明。附图1:项目地理位置图；附图2:项目总平面图；附图3:项目环境保护目标分布图；附图4:金华市区生态环境管控分区图；附图5:金华市水环境功能区划分图；附图6:金华市金东区生态红线图；附图7:现状监测点位图。建设项目名称年产600万片半导体功率器件用DPC陶瓷基板技改项目项目代码建设地点金华市金东区江东镇金狮路828号(租用天迈控股股份有限公司)国民经济行业类别建设项目行业类别溶剂的；有酸洗的(以上均不含仅分割、焊接、组装的)建设性质☑新建(迁建)□改建□扩建口技术改造建设项目申报情形☑首次申报项目口不予批准后再次申报项目口超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目备案)部门(选填)金东区经济商务局备案)文号(选填)总投资(万元)环保投资(万元)环保投资占比(%)施工工期6个月是否开工建设用地(用海)面积(m²)32366(建筑面积)专项评价的类别设置原则大气目标的建设项目设置大气专项评价量超过临界量的建设项目生态污染类建设项目设项目审批机关：金华市金东区人民政府审批文号名称及审批文号：金华市金东区人民政府关于金华市金东区江岭高新智造区江东区块控制性详细规划修改的批复，金区政[2023]8号规划环境影响规划环境影响评价文件名称：《金华市金东区江岭高详细规划修改环境影响报告书》召集审查机关：金华市生态环境局审查文件名称及审查文号：关于金华市金东区江岭高新智造区江东区块控制性详细规划修改环境影响报告书环保意见的函，响评价符合性分析一、规划符合性分析(一)规划内容1、规划范围西至二环东路、东至金温高铁和规划沪昆铁路外绕线、北至镇北路、南至金品路和金狮路，规划用地面积422.08公顷。2、功能定位以低丘缓坡为特色，“人城产”为抓手，打造以“智能家居、汽车核心零部件、现代五金”三大产业发展为核心，集生产研发、品质居住、综合服务为一体的浙江智造(家居与汽车零部件)转化应用示范园区、金义新区高品质产3、产业布局规划形成四大产业组团，分别为中部产业引领组团、铁东产服共享组团、4、规划结构规划形成“一心多点、两轴四区”的空间结构。其中：“一心”:为产城综合服务核心，位于金武街、G330交叉口以北区域，集中了园区政务中心、商业商务中心、邻里中心、社区卫生服务中心、小学等公“多点”:包括2个社区邻里，2个工业邻里。其中社区邻里综合配置5-10分钟生活圈设施服务；工业邻里为企业职工配套商“两轴”:分别为沿G330的产城协同发展轴，沿金武街一十白线的镇园联“四区”:产城综合服务片区、山海协作产业片区、东部创新产业片区、(二)符合型分析对照《金华市金东区江岭高新智造区江东区块控制性目位于土地利用规划中的南部转型工业片区。对照土地利用规划图，项目用地为二类工业用地，本项目从事电子电路制造，属于合《金华市金东区江岭高新智造区江东区块控制性详细规划修二、规划环评符合性分析(一)资源承载力符合性本项目不新增建设用地，不开采地下水，能源主效处理后排放量很少，废水经自行处理达标后纳管金华市秋滨污水处理厂，故(二)六张清单符合性分析规划及境影响析开发区内生态空间2山海协作产业片区、产城综合服务片区、东部创新产业片区、南部转型产业片区金华市金华市江东-岭下工业重点管控区空间布局约束：根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件。严格控制重要水系源头地区和重要生态功能区工业项目，鼓励对三类工业项目进行淘汰和提升改造。合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。质量改善目标，削减污染物排放总量。新建二类、三类工业项目和健康风险。强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。资源开发效率要求：推进工业集聚区生态化改造，强化企业清洁生产改造，推进节水型企业、节水型工业园区建设，落实煤炭消费减量替代要求，提高资源能源利用效率。政办公用地、庄建设用地、供电用地、区域公用设施地规划期总量环境质量变化趋势，能否达环境质量底线管控限值到环境质量底线总量管控限值削减量/总量管控限值削减量/大气污染物总由于区块内产业开发强度增加，污染物排放量增加，经源头控制+末端治理的方式进行控制，落实治理措施后，大气环境容量，能达到环境质量底线总量管控限值削减量/总量管控限值削减量/总量管控限值削减量/总量管控限值削减量/总量限制线总量管控限值削减量元类别岭下工业重点管控区(金东区江岭高东区块控规内区域)/国家和地方产业政策中规定的禁止类项目。//国家、地方产业政策①列入《产业结构调整指导目录》(2019年本)及《国家发展改革委关于修改<产业结构调整指年本)>的决定》的淘汰类项目；②列入《外商投资准入特别管理措施(负面清单)》的外商投资项目。国家产业政策使用高污染燃料的(高污染燃料指《高污染燃料目录》中规定的燃料)。限制准入产业①列入《产业结构调整指导目录》(2019年本革委关于修改<产业结构调整指导目录(2019年本)>的决定》的限制类项目；②地方产业政策中规定的限制类项目；③不符合地方产业政策中能源管控要求的项//国家、地方产业政策序号类别主要内容1空间准入标准金华市江东-岭下工(ZH33070320003)空间布局约束：根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件。严格控制重要水系源头地区和重要生态功能区三类工业项目准入。优化完善区域产业布局，合理规划布局三类工业项目，鼓励对三类工业项目进行淘汰和提升改造。合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设污染物排放管控：严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，建二类、三类工业项目污染物排放水平要达到同行业国内先进水平。加快落实污水处理厂建设及提升改造项目，推进工业园区(工业企业)“污水零直排区”建设，所有企业实现雨污分流。加强土壤和地下水污染环境风险防控：定期评估沿江河湖库工业企业、工业集聚区环境和健康风险。强化险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患资源开发效率要求：推进工业集聚区生态化改造，强化企业清洁生产改造，推进节水型企业、节水型工业园区建设，落实煤炭消费减量替代要求，提高资源能2大气常规污染物执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中的值中的二级标准及无组织排放标准；工业涂装工序污染物排放执行《工业涂装工序大气污染物排放标准》(DB33/2146-气污染物排放限值及表6规定的限值；塑料制品业大气污染物排放执行《合成树脂工业污染物排放标准》(GB31572-物排放限值及表9规定的无组织排放限值；涂料制造行业大气污染物排放执行《涂料、油墨及胶粘剂工业大气污染物排放标准》(GB37824-2019)表2中大气污染物特别排放限值及表4规定的限值；水泥工业大气污染物排放执行《水泥工业大气污染物排放标准》(GB4915-2013限值及表3规定的限值；印刷行业大气污染物排放执行《印刷工业大气污染物排放标准》(GB41616-2022)表1规定的大气污染物排放限值及表2规定的限值；加油站企业边界油气浓度无组织排放限值执行《加油站大气污染物排放标准》(GB20952-2020)表3要求；工业炉窑排放的颗粒物、二氧化硫、氮氧化物执行《浙江省工业炉窑大气污染综合治理实施方案》要求；中氮氧化物从严执行《浙江省空气质量改善“十四五”规划》专栏2要求；饮食业油烟排放执行《饮食业油烟排放标准(试行)》(GB18483-2001)相关纳管标准：工业污水纳管有行业排放标准的执行其行业标(GB8978-1996)表4中的三级标准，其中工业企业氨氮执行《工业企业废水氮、磷污染物(DB33/887-2013)、居民生活污水的氨氮和总磷排放执行《污水排放城镇下水道水质标准》污水厂终排标准：污水处理厂尾水排放执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)中一级声环境1、施工期噪声执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB12523-2011);2、营运期厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)2类、3类、4类标准；3、规划区块内商业经营活动产生的噪声执行《社会生活环境噪声排放标准》(GB22337-2008)2、3、4类固废1、固体废物鉴别执行《固体废物鉴别标准通则(GB34330-2017)》;擅自倾倒、堆放、丢弃、遗撒工业固体废物；3、危险废物厂内暂存执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)及2013年修改单(环保部公告2013年第36号)要求。3准污染物排放总量管大气污染物SO₂6.243t/a、NOx40.465t/a、烟粉尘85.807t/a、VOCs110.656t/a水污染物CODcr261.75t/a、氨氮19.环境空气中无规定的特征因子参照执行《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.D.1其他污染物空气质量浓度参考限值、大气污染物综合排放标准详解等。地表水执行《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中的Ⅲ类水标准；地下水执行《地下水环境质量标准》(GB/T14848-2017)中的Ⅲ类声环境声环境执行《声环境质量标准》(GB3096-2008)中的相应标行2类标准，工业区执行3类标准；交通干线两侧区域执行4类标准。建设用地执行《土壤环境质量标准建设用地土(试行)》(GB15618-2018)土壤污4《产业结构调整指导目录(2019年本)》及《国家发展改革委关于修《浙江省“十四五”挥发性有机物综合治理方案》、《浙江省工业炉窑大气污染综合治理方案6张清单符合性分析(本次仅分析与项目相关内容的4张清单):对照规划环评中的生态空间清单，项目位于金华市金华市江区(ZH33070320003),项目建设符合其管控要求；对照清单3,园区现状排放量为CODcr28.838t/a、氨氮3.118t/a、NOx26.512t/a、VOCs73.675t/a,本项目投产后新增排污量为CODc9.847t/a、氨氮0.697t/a、NOx0.047t/a、VOCs0.298t/a,该总量远低于规划环评总量管控限值为CODcr19.616t/a、NOx40.465t/a、VOCs110.656t/a;本项目属于电子元件及电子专用材料制造业，对照清单5,本项目金华市金华市江东-岭下工业重点管控区(ZH33070320003),不属于清单5中禁止准入的行业清单；对照清单6,本项目确定的标准与规划环评中确定的环境质量标准及污染物排放标准一致，综上，本项目符合《金华市金东区江岭高新智造区江东区块控制性详细规划序号审查意见12异化发展；同时严格按产业环境准入条件和总量3投资强度和容积率；按照工业用地性质，严格控制与周边居4规范危废的暂存场所，妥善处置各类固废，危56析根据《浙江省建设项目环境保护管理办法》(2021年修正):建设护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准入清单管控的合国家、省规定的污染物排放标准和重点污染物排放总量控制要求。建设项目还应当符合国土空间规划、国家和省产业政策等要求。具体分析如下：1、生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准入清单管控符合性分析(1)生态保护红线符合性分析项目位于金华市金东区江东镇金狮路828号，用地性质为(2)环境质量底线符合性分析(GB3095-2012)二级，水环境质量目标为《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准；工业用地土壤环境质量目标为《土壤环境质量 (GB36600-2018)相应标准，农用地环境质量目标为《土壤环境质量农用地土壤污染风险管控标准(试行)》(GB15618-2018)相应标准。本项目按分区防控的原生的废水经治理之后能做到达标排放，固废可做到综合利用。采取本环评提出的相关防治措施后，本项目排放的污染物不会对区域环境质量底(3)资源利用上线符合性分析(4)生态环境准入清单管控符合性本项目位于金华市金东区江东镇金狮路828号，根据《金华市人境分区管控方案(文本)》,属于金华市江东-岭下工业重点管控区，编号：ZH33070320003。序号管控要求1区存在明显的隔离2均可符合环境质量功能区划3防控患排查整治监管机制4资源开发效率要求根据以上对照分析，本项目建设可以满足“三线一单”管控要求。2、国家、省规定的污染物排放标准符合性分析项目产生的污染物经有效治理后，能够做到达标排放。根据工程分析及环项目废水纳管排放，废水、废气、噪声经处理后均能达标排放，根据《关于印发<建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行发〔2014〕197号〕等相关规定，本项目完成后，企业纳入总量控制的污染物为CODcr、NH₃-N、NOx、VOCs。根据各类总量控制相关文件精神及当地生态环境部门要求，CODcr、NH₃-N、VOCs按1:1进行区域削减替代，NOx按1:1.5进行区域削减替代。在完成削减替代后5、国土空间规划符合性分析本项目位于金华市金东区江东镇金狮路828号，用地性质为工业用6、国家和省产业政策符合性分析项目未列入《产业结构调整指导目录(2024年本)》中的限金东区经济和信息化局备案，项目代码为2307-330703-07-02-152531。因此，项目的建设符合国家以及地方的产业政策。7、《〈长江经济带发展负面清单指南(试行，2022年版)析序号内容是否1/23禁止在自然保护地的岸线和河段范围内投资建设保护地建设项目准入负面清单(试行)》的项自然保护地由省林业局会同相关管理机构界/4禁止在饮用水水源一级保护区、二级保护区、准范围内投资建设不符合《浙江省饮用水源保护条例》的项目。饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区由省生态环境厅会同相关管理机构界定。本项目不涉及饮用水水源保护区/5禁止在水产种质资源保护区的岸线和河段范围内造地或围填海等投资建设项目。水产种质资源保护区由省农业农村厅会同相关管理结构界定。种质资源保护区/6(一)禁止挖沙、采矿；(二)禁止任何不符合主体功能定位的投资建设项目；(三)禁止开(围)垦、填埋或者排干湿地；(四)禁止截断湿地水源；(五)禁止倾倒有毒有害物质、废弃物、垃圾；(六)禁止破坏野生动物栖息地和迁徙通道、鱼类洄游通道，禁止滥采滥捕野生动植物；(七)禁止引入外来物种；(八)禁止擅自放牧、捕捞、取土、取水、排污、放生；(九)禁止其他破坏湿地及其生态功能的活国家湿地公园由省林业局会同相关管理机构界定。公园/7本项目未利用、占用长江流域河湖岸线8禁止在《长江岸线保护和开发利用总体规划》划留区内投资建设除事关公共安全及公众利益的防洪护岸、河道治理、供水、生态环境保护、国家重要基础设施以外的项目。本项目所在地不属于《长江岸线保护护区和保留区9禁止在《全国重要江河湖泊水功能区划》划定的河段及湖泊保护区、保留区内投资建设不利于水资源及自然生态保护的项目。本项目所在地不属湖泊水功能区划》划定的河段及湖泊保护区、保留区禁止未经许可在长江支流及湖泊新设、改设或扩大排污放，不设直接排污口禁止在长江支流、太湖等重要岸线一公里范围内新建、扩建化工园区/禁止在长江重要支流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库，以提升安全、生态环境保护水平为目的的改扩建库、冶炼渣库和磷分立器件制造，不属于高污染项目品投资项目，列入《外商投资准入特别管理措施(负面清单)》的外产能行业项目供应土地。本项目不属于落后导目录》淘汰类中的落后生产工艺装备、落后产品投资项目；本项目不属于外伤投资项目增授信支持等业务。能高排放项目综上分析，本项目不属于《〈长江经济带发展负面清单指南(试行8、《建设项目环境保护管理条例》“四性五不根据中华人民共和国国务院第682号《建设项目环境保护管理条例》“四性五不批”要建设项目环境保护管理条例是否四性本项目位于金华市金东区江东镇金狮路828号，该境的需求。南(污染影响类)》(试行)进行分析评价，大气响，环评结论是科学的。(一)建设项目类型及其选址、律法规和相关法定规划(二)所在区域环境质量未达到国家或者地方环境质量标准，且区域环境质量改善目标管理要求质达到《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)(三)建设项目采取的污染防治措施无法确保污染物排放达到国必要措施预防和控制生态破坏的污染防治措施后，不对破坏生态环境。(四)改建、扩建和技术改造项本项目新建项目。(五)建设项目的环境影响报告//陷、遗漏，或者环境影响评价结论不明确、不合理9、VOCs整治规范符合性分析内容是否1整指导目录》《国家鼓励的有毒有害原料(产品)替代品目录》,依法依规淘汰涉VOCs排放工艺和装备，加大引导退出限制类工艺和装备力度，从源头减少涉VOCs污染物产生。VOCs含量限值符合2系，制(修)订纺织印染(数码喷印)等行业绿色准严格执行建设项目新增VOCs排放量区域削市污染物总量控制制度，对新增VOCs排放量实行总量替3//4VOCs无组织排放位置控制风速应不低于0.3米/中均在密闭空间中状态。5整体停工检修和储罐清洗作业等，减少非正常工况VOCs排放；确无组织排放控制，产生的VOCs应收集处理，确保满足安全生产和污染排放控制要求。计划，制定开停工(车)、检修、设备清洗等非正常工况6稳定达标排放。到2025年，完成5000家低效VOCs治理设施改造升级，石化行业的VOCs综合去除效率达到70%以上，化工、工业涂装、包装印刷、合成革等行业的VOCs综合去除效率达到60%以中产生的废气采用7施或采取其他替代措施。入使用。8//企业符合《浙江省“十四五”挥发性有机物综合治理方案》(浙环发[2021]110、浙江省电镀产业准入条件符合性因《浙江省电镀产业环境准入指导意见(修订)》仅适用于浙江省境内电镀企业(军工企业除外),本项目电镀仅为配套车间，属于含电镀工序的企业。因此本环评仅对生产工艺与装备、污染防治措施及环境准入指标进行符合性分析。具体见下表。生产工艺与装备新建、扩建电镀项目原则上应使用自动化生产线。产生大气污染物的生产工艺装置必须设立局部气体收集系统和集中净化处理装置，净化后的气体由排气筒排放。后由排气筒高空排放电镀企业应采用电镀过程全自动控装置和车间排放口废水计量装置。项目电镀生产线为全自动生产线，电镀生产企业必须采用工业废水回接冲洗等落后工艺。项目采用多级逆流漂洗工艺防治电镀企业内部车间废水应分类收集、后排入金华市秋滨污水处理厂标准水污染物特别排放限值的通知》(浙环函〔2014〕159号)及《关于水污染物特别排放限值行政区域范围的公告》(环保部公告2008年第镀污染物排放标准》(GB21900-2008)中的特别排放限值要求项目属于有电镀工序的电子工业，放标准》(GB39731-2020)表1(DB33/2260-2020)表1规定的间接排放要求(其他地区)/全厂应设置一个标准化排污口，根据环保部门要求，安装主要污染因子的在线监测监控设施企业仅设置一个标准化排污口，并设施处理后高空排放。排放指标执行《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008)分类收集，经净化处理后达到《电(GB21900-2008)表5中的大气原则上电镀项目应实行区域集中供热，若确需自备锅炉的，禁止新建20蒸吨/小时以下的高污染燃料锅炉及直接燃用非压缩成型生物质燃料锅炉项目使用电，不涉及锅炉一般工业固废和危险废物需得到安害化”的原则，对固废进行分类收废物处置要求进行综合利用和无害化处理镀铜资源利用指标≤0.026(清洁生产)(清洁生产一级)本项目不涉及不涉及不涉及污染物排放指标(L/m²镀件镀层)*多层镀≤200本项目(L/m²镀件镀层)174.2L/m²镀件镀层建设内容1、项目由来DPC(DirectPlatingCopper,直接镀铜)亦称为直接镀铜基板，相材料，陶瓷材料其电阻高，高频特性突出，具有热导率高、和熔点高等优点，在热性能要求越来越苛刻的电路中做导热通路以及用来制造各类电子元件具有得天独厚的优势。金华市芯瓷科技有限公司成立于2022年12月8日，是一家从事半导体分立器件制造和销售的企业。企业拟投资60000万元，租用位于金华金东区江东镇金狮路828号天迈控股股份有限公司现有闲置厂房，引进DPC直接镀铜生产线，从事陶瓷线路基板的生产加工，建成后可形成年产600万片半导体功率器件用DPC陶瓷基板的生产能力。该项目于2023年8月11日由金东区经济商务局备案，项目代码2307-330703-07-02-152531,见附件1。关规定，该项目必须进行环境影响评价。根据《建设项目环境影响评价分类管理名录有机溶剂的；有酸洗的(以上均不含仅分割、焊接、组装的)”,应编制环境影响报告表。受金华市芯瓷科技有限公司委托，我公司组织有关人员在对项目区域环境状况进行调查、踏勘等工作的基础上，按《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)》(试行)要求，编制了本项目的环境影响报告表(送审稿)。2024年3月14日由浙江环能环境技术有限公司主持召开了该项目环境影响报告表评审会，并形成了专家意见。现根据专家意见，对报告表认真进行了修改和完善(见附件7),形成了该项目环境影响报告表(报批稿),进一步提请审查批准。2、项目产品方案及镀层面积1)项目产品方案序号产品名称单片尺寸及块数产品面积备注1路板(氧化铝)360万片114.3*119mm(50%),含784块2路板(氮化铝)240万片3合计600万片注：项目不涉及单面及多面基板的生产。2)产品介绍(1)半导体功率器件用DPC陶瓷封装基板介绍元器件的支撑体，也是电子元器件电气连接的载体。一般由绝缘底板、连接导线和装配焊接电子元件的焊盘组成，具有导电线路和绝缘底板的双重作用。基板是制造PCB的基本材料，一般情况下，覆铜箔板基板按板的增强材料不同，可划分为纸基、玻璃纤维布基、复合基(CEM系列)、积层多层板基和特殊材料基(陶瓷、金属芯基等)五大类。其中，陶瓷基板所制成的超薄复合基板具有的载流能力，陶瓷基板已成为大功率电力电子电路结本项目产品DPC陶瓷封装基板主要应用于半导体功率器件封装产业。半导体封装作为半导体功率器件产业的重要一环，不仅直接影响半导体器件本身的电、光、机械和热性能，影响其可靠性和经济成本，而且在很大程度上决定着半导体功率器件的高功率化和小型化，对半导体功率器件的影响已变得和半导体芯片一样重要。陶瓷封装具有高频特性好，热性质稳定，热传导性能优良，对水分子渗透有良好阻隔能力等优点，能提供IC芯片气密性保护及高效散热，使其具有优良的可靠度，在各种封装形式中愈来愈受到重视，成为当前主要的高可靠性半导体功率器件封装方法。(2)本项目产品功能和结构陶瓷基板作为陶瓷封装中半导体芯片的承载基板，对半导体芯片起着机械护、电互连(绝缘)、导热散热、辅助出光等作用。其结构示意图如下图1.3-1所示。3D金属框架3D金属框架半导体芯片陶瓷基板2D金属线路DPC陶瓷基板制备前端采用了半导体微加工技术(溅射镀膜、光刻、显影等),后端则采用了印刷线路板(PCB)制备技术(图形电镀、填孔、表面研磨、刻蚀、表面处理等),因此具有以下优势特点：①采用半导体微加工技术，陶瓷基板上金属线路更加精细(线宽/线距低至30μm~50μm,与线路层厚度相关),因此DPC陶瓷基板非常适合对精度要求较高的度(一般为10μm~100μm),并通过研磨降低线路层表面粗糙度，满足高温、大电流器件封装需求；④低温制备工艺(300℃以下)避免了高温对基片材料和金属线路层3)镀层面积产品板料利实际加工占比板面占比陶瓷8%化学沉铜电镀阻焊前喷砂阻焊印刷占比板面占比(万板面占比(万m²/a)占比类型占比占比(万占比类型占比占比注：1)本项目板面面积按产品方案面积的2倍进行计算；2)根据企业提供的信息，沉银板面板面面积分别按总板面面积的70%和30%进行核算。序号镀种镀层面积万m²/a范围(μm)均厚(μm)1磁控溅射钛层2磁控溅射铜层3预镀铜层4化学沉铜5磨板/6电镀铜层7蚀刻895///注：蚀刻主要去除线路外多余的铜层(磁控溅射、预镀、化学沉铜)、钛层(控室、门卫及其他配套设施等。项目主要工程组成见下表。名称工程内容备注生产车间一层主要布置激光钻孔、涂胶、氧化铝版及氮化铝置纯水站、污水处理站等公用设施现有，设备均为新增二层三层四层综合楼一层现有，内部进行装修二~六层内设办公区、会议室、宿舍等门卫房门卫房1个，位于南侧出入口东侧依托现有位于生产厂房外东侧，用于硝酸、双氧水、氢氧化钠溶液、硫酸的贮存，其中硝酸、双氧水、氢氧化钠溶液均设1个10m³的储罐，硫酸设3个10m³的储罐新增库房1(危化品)位于生产厂房外东侧，主要贮存盐酸、氢氧化钾(危化品)位于生产厂房外东侧，主要贮存盐酸、氢氧化钾(普化品)位于生产厂房外东侧，主要储存普通化学品位于生产厂房外东侧，用于储存普通化学品(普化品)库学品成品库位于生产厂房三层东南侧公用市政电网供电依托现有市政给水管网依托原厂区废水排放系统、雨水排放系统，新建污水标排口循环冷却水系统本工程设2台冷水机组，循环冷却水量约为200t/h,配2个纯水设施中央除尘设施一套，设计风量为30000m³/h,设有1根排气筒(排气筒编号DA010)中央除尘设施一套，设计风量为6500m³/h,设有1根排气筒(排气筒编号DA011)碱液喷淋吸收系统5套，设计风量分别为15000m³/h,设有5根排气筒(排气筒编号30000m³/h,设有1根排气筒(排气筒编号含氰废气次氯酸钠+碱液喷淋吸收系统1套，设计风量为6000m³/h,设有1根排气筒(排气筒编号有机废气水喷淋+旋风除雾+活性炭吸附处理设施1套，设计风量为5000m³/h,设有1根排气筒(排气筒编号DA008)污水站废气水喷淋处理设施1套，设计风量为10000m³/h,设有1根排气筒(排气筒编号DA009)食堂油烟施工艺废水1000t/d)、中水回用设施(处理能力200t/d)位于综合楼北侧，容积为500m³噪声防治设施隔声、减振设施固废贮存设施洗废液1个、碱性废液1个、含铜废液1个、微蚀废液1个、活化废液1个、沉铜废液1个、蚀刻废液2个、硝酸废液1(1)主要原辅材料用量建设内容序号形态1陶瓷基板(氧化800片/箱氧化铝96%、氧化镁1.65%、二氧化硅2.05%、氧化钙0.3%;120*120mm(50%),117*117mm(50%),折合板面面积50562.2m²万片2陶瓷基板(氮化1000片/箱氮化铝97%、氧化钇1.8%、氧化锆1.2%;120*120mm(50%),117*117mm(50%),折合板面面积33706.8m²3红胶(胭脂红)500g/罐t450kg/袋t65氢氧化钾固态25kg/袋t6中性清洗剂液态20kg/桶15~25%,乳化剂15~25%,助洗剂10~20%,水t7酸洗清洗剂液态20kg/桶有机酸25~35%,表面活性剂10~20%去离子水t8酸性除油剂液态20kg/桶乙氧基巽癸醇40%,丁氧基乙醇25%,丁炔二醇t16液态20kg/桶t6固态5kg/根固态25kg/根液态t储罐区硫酸铜固态25kg/袋固态25kg/袋光剂液态25L/桶磺酸钠)等t液态25kg/桶35%双氧水液态t储罐区过硫酸钠固态25kg/包Na₂S₂O₈>99.5%t25kg/包t液态5L/瓶氯化亚锡8~12%、氯化钯0.48~0.55%、水加速剂1kg/包HBF₄5g/L、CH₃BH₄0.5gt液态20L/桶硫酸铜12.5~14.5%、甲醛15.5~17.5%络合剂5kg/包EDTA二钠(乙二胺四乙酸二钠)t氢氧化钠液态t8储罐区碳酸钾固态25kg/袋/t液态70%硝酸t储罐区固态2卷/箱聚酯薄膜、光致抗蚀剂薄膜和聚乙烯保护膜等卷干菲林片固态100张/包聚酯膜、聚乙烯膜、感旋光性树脂2碳酸钠25kg/袋/t1液态20kg/桶t2感光油墨液态罐，硬化剂主剂70%:丙烯酸脂<25%、无机颜料<40%、滑石<5%、二氧化硅<5%、光聚合引发剂<5%、胺类化合物<1%、消泡剂及其他<5%、二丙二醇甲基醚硬化剂30%:环氧树脂<30%、丙烯酸酯<25%、t稀释剂液态5kg/罐戊二酸二甲酯25~30%、己二酸二甲酯35~40%、t化学银添加剂液态20L/桶EDTA10~15%、硝酸铜<0.1%、非离子表活<0.5%、L晶体1kg/瓶液态25kg/桶液态25kg/桶25kg/桶化镍液B25kg/桶液态25kg/桶化学钯B25kg/桶甲酸钠40%、纯水60%25kg/桶氰化钾100g/瓶1(氰化亚金钾)100g/瓶25kg/桶EDTA二钠5%、柠檬酸钾10%、抗坏血酸钠5%、纯水80%金保护剂5L/桶十三烷基聚氧乙烯(18)醚30%、三乙醇胺2%、自来水//t铜取值8.84g/cm³)及有效利用率进行推算得出。序号形态1液态L2液态L53高锰酸钾滴定液液态L4无水乙酸钠指示剂固态5液态L6液态L57液态L8液态L9液态L5液态L液态L5PAN指示剂固态甲基橙指示剂固态淀粉指示剂固态溴甲酚绿指示剂固态酚酞指示剂固态序号浓度18污水站(中央加药区)2熟石灰8污水站(中央加药区)38污水站(中央加药区)48污水站(中央加药区)5污水站(中央加药区)6一t污水站(中央加药区)7污水站(中央加药区)8重捕剂一t89一一一t一t阻垢剂L一滤芯支5帘式帘支5离子交换树脂t建设内容(2)主要VOCs物料①阻焊油墨56.3m²/d左右，因此油墨使用量比较少。使用时由人每天擦拭8次。主剂和硬化剂组成，主剂和硬化剂质量比分别为占70%和30%,分别使用0.7kg/罐和0.3kg/罐的塑料罐盛装，配套供应。使用时1罐主剂对应1罐硬化剂进行调配，再添加定量的稀释剂。根据企业提供资料，主剂、硬化剂、稀释剂按700g:300g:30g的比例调配后进行使用。根据供应商提供的MSDS(见附件4),各原料名称主要成分主剂丙烯酸脂滑石二氧化硅光聚合引发剂胺类化合物消泡剂及其他二丙二醇甲基醚硬化剂环氧树脂丙烯酸酯硫酸钡胺类化合物二乙二醇乙醚醋酸酯溶剂石脑油(石油)重芳香烃稀释剂戊二酸二甲酯己二酸二甲酯丁二酸二甲酯根据企业提供的检测报告(见附件4),油墨(主剂：硬化剂=70:30)中VOCs含量为27%,符合《油墨中可挥发性有机化合(GB38507-2020)“表1油墨中可挥发性有机化合物含量的限值”中关于溶剂油墨-网印油墨的限制要求，即VOCs含量≤75%。根据上述核算，即用状态下油墨中VOCs含量为29.1%,固含量为70.9%。项目使用的硬化剂在与主剂调配前均为液态，常温下不发生凝胶现象，需要进行预烤30~50min,使油墨层半硬化。根据企业提供资料，项目阻焊油墨经印刷后湿膜厚度预烤烘干后油墨层干厚控制在40μm左右，经表2.1-2核算，项目需要阻焊印刷的基板面积约16900m²,由此核算项目油墨使用量约为1.43t/a,稀释剂用量约为原料名称印刷总面积固含量(成膜物质)(主剂)注：(1)油墨固含量=1-挥发性有机物含量=1-29.1%=70.9%。天擦拭8次，一次使用稀释剂量约200mL,则擦拭网版年使用稀释剂约0.48t,按最不利状况即全部挥发核算，VOCs挥发量为0.48t/a。综上，项目营运期油墨用量为1.43t/a、稀释剂用量为0.523t/a。③除油剂、清洗剂本项目使用的清洗剂主要为碱性除油剂、酸性除油剂，清洗剂主要为中性清洗剂及酸性清洗剂，两种清洗剂均为水基清洗剂。根据企业提供的MSDS(见附件4),项目使用的除油剂及清洗剂主要成分见表2.1-8,其中挥发份含量性除油剂15%、酸性清洗剂30%。原料名称主要成分碱性除油剂乙二醇水酸性除油剂乙氧基巽癸醇丁氧基乙醇丁炔二醇水中性清洗剂非离子表面活性剂阴离子表面活性剂乳化剂助洗剂去离子水酸性清洗剂去离子水建设内容(水=1)熔点沸点闪点外观与性质1//易溶于乙醇。溶于水。微溶于乙醚。不溶于苯和氯仿末。无嗅，味酸。2氢氧化钾/溶于水和乙醇，微溶白色晶体3/与水混溶纯品为无色透明油4硫酸铜///溶于水、甲醇，不溶无水硫酸铜为灰白色粉末，易吸水变蓝绿色的五水合硫酸铜5氯化氢/易溶于水的气体6溶于水、醇、醚，不氧化氢是淡蓝色的7过硫酸钠///溶于水白色粉末状结晶，无臭8甲醛易溶于水，溶于乙醇等多数有机溶剂无色，具有刺激性和窒息性的气体，商品为其水溶液9/易溶于水、乙醇、甘油、不容于丙酮白色不透明固体，易碳酸钾/易溶于水，不溶于乙单斜晶系，白色粉末状或细颗粒状结晶/与水混溶/易溶于水，微溶于乙醇白色或无色透明斜方晶系结晶易溶于水和氨水，溶于乙醚和甘油，微溶于无水乙醇，几乎不溶于浓硝酸无色透明斜方晶系片状晶体镍0/易溶于水，微溶于乙呈酸性，微溶于酸、/油，微溶于甲醇、氢白色结晶或粉末钾//溶于水，微溶于乙白色晶体次氯酸钠/溶于水内容5、项目生产设备项目主要生产设备见下表2.1-9,氧化铝板清洗线设备明细见表2.1-10,氮化铝板清洗线设备明细见表2.1-11,镀膜清洗线设备明细见表2.1-12,预镀线设备明细见表2.1-13,化学沉铜线设备明细见表2.1-14,沉铜清洗线设备明细表2.1-15,干膜前处理线设备明细见表2.1-16,干膜显影线设备明细见表2.明细见表2.1-18,微蚀清洗线设备明细见表2.1-19,退膜蚀刻线设备明细见表2.1-20,后砂带抛光线设备明细见表2.1-21,后砂带清洗线设备明细见表2.1-22,阻焊前处理(喷砂线)设备明细见表2.1-23,阻焊显影线设备明细见表2.1-24,表面处理喷砂线设备明细见表2.1-25,化银线设备明细见表2.1-26,镍钯金线设备明细见表2.1-27,镍钯金清洗线设备明细见表2.1-28,成品清洗线设备明显见表2.1-29,项目生产设备与产能匹配性分析见表2.1-30。1台2/红胶烘干箱个2电能2激光钻孔机(双头)台/3个3/3氧化铝板清洗线台2/个2/4条2/5条2个4电能条4/6条2/7化学沉铜化学沉铜生产线条2/8条1/9干膜前处理线(磨板机)条2自动贴膜机台2/台2/曝光机台8/台2/电镀自动电镀铜生产线条8/台3/前砂带/研磨/旋切台4800目台2/台2/台6/台/自动刻膜测厚设备台2/条1/条2水平线台3/台1台1200目台5/自动刻膜测厚设备台2/条1/条1/电测台5/台/四线夹具台5/四线飞针台8/阻焊前处理喷砂线条1/丝网印刷阻焊丝印机台2/阻焊预烤台2/阻焊曝光曝光机台2/阻焊显影阻焊显影机台1/阻焊后烤台2/喷砂线条1/化银线(0.7μm)条2/条3/化金清洗线条2台7水切台4/台2成品清洗线条2/检测台/台3/台2/自动打标机台9/台打标间18台、电测2台台5/台5/台3/高温平台台4/台1/台2/台4/台2/台3/台2/台2/台1/台2台2台3台1台1个1序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)1磨板///1//22序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)112231425162序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)1鼓泡12131415261名称数量(个)容积(L)有效容积(L)1酸性除油12132415电镀铜2617高位水洗18退镀铜191高位水洗1序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)1除油12热水洗1324152617活化182912化学沉铜33序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)11233141516///1//序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)1酸洗11223磨板///2//425酸洗21637///1//序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)1显影112显影213///1//41576///1//序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)1除油12热水洗1324152617电镀铜819高位水洗1挂具退镀铜21高位水洗1序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)1121314251627///1//名称数量(个)容积(L)有效容积(L)11223///1//4洗45///1//6铜蚀刻171829///1//除钛121213///1//序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)11213141序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)1除油1243141516///1//序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)11223喷砂14///1//536171839///1//序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)1显影2213///1//4155序号名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)宽(mm)高(mm)11223喷砂1415///1//63718///1//名称数量(个)容积(L)有效容积(L)长(mm)1除油1233微蚀1143516微蚀2172819113131///1//名称数量(个)容积(L)有效容积长(mm)宽(mm)高(mm)1除油12热水洗13241526172819121222121121金保护11序号名称数量(个)容积(L)有效容积长(mm)宽(mm)高(mm)1123314151617///1//序号名称数量(个)容积(L)有效容积长(mm)宽(mm)高(mm)122133415///1//内容工序设备名称生产能力(片)单批操作时间作小时数(h)片/年)全板电镀生产线条2批次生产，60块/27沉铜化学沉铜生产线条2电镀自动电镀铜生产线条8批次生产，24块/退膜蚀刻蚀刻退膜线台2喷砂喷砂线条1化银线条22镍钯金线条3连续生产，50块/2建设内容1)供电项目用电由市政供电系统供给，不设置备用发电2)给排水(1)供水系统：主要包含自来水供水系统、纯水供水系统、中水回用系统，其中自来水供水系统分为生活供水系统和生产供水系(2)排水系统项目全厂排水实行“清污分流、雨污分流”的排水体制。厂区内用于生产、原辅材料均存储在厂房内，固体废物堆放等均位于防雨淋的厂房内。厂内雨水经收集后排入市政雨水管网。厂区设置初期雨水收集池，该部分初期雨水经收集后汇入厂区污水站处理综合废水处理系统。7、物料平衡本项目含铜原材料主要为铜靶材、沉铜液(含硫酸铜)、硫酸铜及铜粉等。在生产过程中，大部分铜进入产品(铜镀层线路),少部分进入废次品及边角料中，被剥离的铜进入污水处理单元，最终以废水、污泥、废液的形式排放及处置。磁控溅射：根据建设单位提供资料，磁控溅射工序铜层控制厚间，靶材利用率约2/3,铜靶材的用量按溅射面积(16.85万m²)、平均膜厚0.55μm,铜密度8.96g/cm³及有效利用率2/3,含铜率99.95%进行推算，铜靶材使用量约为1246.175kg,铜含量共计1245.552kg,进入基板面的铜约为830.368kg,其余铜约415.184kg存在于废靶材中进行综合利用。预镀：项目预镀面积16.85万m²,镀层厚度5~10μm,平均按7.5μm,铜层密度8.96g/cm³,则进入铜层铜量为11323.2kg,则铜粉用量11334.535kg/a(含铜量99.9%);另外，根据核算，由于损耗及更换槽液需要补充的硫酸铜量约为3359.697kg/a,其含铜量约为855.379kg。化学沉铜：项目化学沉铜面积16.85万m²,镀层厚度0.5~1.5μm,平均按1.0μm,铜层密度8.96g/cm³,则进入铜层铜量为1509.76kg,则化学镀铜液中硫酸铜用量3788.643kg/a,则化学沉铜液用量(含量按13.5%计)为28064.022kg;另外，根据核算，由于更换槽液排放的沉铜液为992.607kg/a,硫酸铜含量为134.002kg/a(其含铜量约为53.4kg)。电镀：项目电镀铜工序电镀面积约16.85万m²,镀层厚度50~150μm,平均按100μm,铜层密度8.96g/cm³计，则进入铜层铜量为150976kg,则铜粉用量151127.127kg/a(含铜量99.9%);另外，根据核算，由于损耗及更换槽液排放的硫酸铜量约为48222.702kg/a,其含铜量约为12277.5kg。进入产品中铜量：项目产能16万m²,原料利用率94.93%,实际加工面积约16.85万m²,经过磁控溅射、预镀铜、化学沉铜及电镀铜四个工段，铜层厚度可以达到109.05μm,后续经磨板工序打磨去除1~2μm的铜层(取平均值1.5μm,产生铜粉量约2264.64kg/a),线路外多余的铜层(磁控溅行去除(5~10μm,取平均值7.5μm),则保留在板面上的铜层厚度约100.05μm。由此计算进入基板板面的铜约为151051.488kg/a,其中产品含铜量为143416万m²计)、边角料含铜量为7619.808kg/a。蚀刻废液中90%的铜通过电解回收设产出物料名称%排放去向含铜量(kg/a)产品硫酸铜电解系统回收铜项目含银原料主要为硝酸银。根据建设单位提供资料，项目化学沉银工序电镀面积约7.67万m²,沉银层厚度约0.5~1.0μm,本项目按0.75μm计，银层密度10.49g/cm³计，则进入基板板面的银约为603.437kg/a。根据核算，由于更换槽液排放的银量约为142.568kg/a,含银废液中98%以上的银通过电进入废液中。另外，根据核算进入废水及污泥中的银为52kg/a产出使用量(kg/a)%排放去向含银量(kg/a)产品电解系统回收银项目含镍原料主要为化镍液A(45%NiSO₄)。根据建设单位提供资料，本项目化学沉镍工序电镀面积约3.29万m²,沉镍层厚度约4~6μm,本项目按5μm计，镍层密度8.902g/cm³计，则进入基板板面的镍约为1464.379kg。根据核算，由于更换槽液排放的镍为450kg/a,含镍废液中98%以上的镍通过电解回入废液中。另外，根据核算进入废水及污泥中的镍为87kg/a产出物料名称使用量(kg/a)%排放去向含镍量(kg/a)酸镍45%)产品电解系统回收镍项目含钯原料主要为氯化钯、二氯四氨钯。根据建设单位提供资料，本项钯工序电镀面积约3.29万m²,沉钯层厚度约约0.04~0.06μm,本项目按0.05μm计，钯层密度12.023g/cm³计，则进入基板板面的钯约为19.778kg。另外，根据核算，由于更换槽液排放的氯化钯约为1.53kg/a、二氯四氨钯约为7.2kg/a。沉钯工序产生的含钯废液中99%以上的钯通过离子交换树脂设备回收，少量进入废液中。项目钯元素平衡具体见下表。产出%排放去向含钯量(kg/a)活化液A(氯化钯0.2%)产品四氨钯2.5%)钯回收系统回收钯项目含金原料主要为氰化亚金钾。根据建设单位提供资料，项目浸金工序电镀面积约3.29万m²,浸金层厚度约0.06~0.07μm,本项目按0.065μm计，金层密度19.3g/cm³计，则进入金层的金量为41.273kg,氰化亚金钾用量60.367kg/a。另外，根据核算，由于更换槽液排放的氰化亚金钾量约为0.48kg/a的金通过回收设备(离子交换树脂)回收，微量进入废水中，通过化学方法沉积进产出%排放去向含金量(kg/a)产品金回收系统回收金项目生产中涉及氰元素的生产工序为沉镍钯金线浸金槽，其中投入的金盐为氰过程中绝大部分氰进入废水经两级破氰预处理分解去除产出%排放去向含氰量(kg/a)有组织废气氰化钾无组织废气7)硫酸平衡产出名称使用工段去向排放量(t/a)有组织废气除油无组织废气电镀铜洗线图形电镀除油电镀洗线刻线铜蚀刻后砂带清洗线除油阻焊前理喷砂线化银线除油微蚀1微蚀2线除油线成品清洗线///8)盐酸平衡产出名称使用工段%量(kg)去向电镀有组织废气铜无组织废气活化电镀电镀线活化///9)硝酸平衡产出使用量(t/a)%去向排放量(t/a)有组织废气(NOx)无组织废气(NOx)合计产出甲醛含量%去向化学沉铜液有组织废气无组织废气产出含氟量(t/a)去向排放量(t/a)(氟氢化铵有组织废气(HF)无组织废气(HF)产出原料名称数量(t/a)产出类型数量(t/a)感光防焊油墨有组织废气无组织废气13)水平衡(1)用水系统项目营运期用水主要包括生产用水和生活用水两大部分，生产性用水来源按水质来源不同分为自来水、纯水和中水3部分；项目纯水主要用于氧化铝板超声波漂洗，氮化铝板酸洗、碱洗及超声波漂洗，镀膜清洗线，预镀线除油、浸酸、镀铜、退镀等工序，化学沉铜线除油、微蚀、预浸、活化及水洗、速化及水洗、沉铜及水洗；沉铜清洗线超声波进行及后水洗，干膜前处理线微蚀及水洗，图形电镀线除油、微蚀及水洗、浸酸、电镀铜、退镀铜；微蚀清洗线微蚀及水洗，抛光线及清洗线，阻焊前处理微蚀及水洗，喷砂线除油及DI水洗，化银线、镍钯金线、镍钯金后清洗线各镀槽配水，该部分废水对水质要求较高，一般情况下要求控制电导率在15us/cm以下；其他对水质要求相对较低的工序则主要使用中水或自来水，一般情况下要求控制电导率在200us/cm以下即可满足用水需求。根据统计，项目各用水节点用水使用情况见下表。内容生产线容积(L)槽数(个)日运行时间(h)用水类型量(t/d)日均补充水量(t/d)日均总用水量(t/d)小计(t/d)线*2/1/2自来水/21天1次2中水21天1次3线*2/1/2自来水1021天1次3自来水1021天1次3自来水11天1次0自来水21天1次311天1次01011天1次01021天1次011天1次0预镀线除油1010自来水22自来水10电镀铜21年1次010自来水12自来水挂具退镀铜190天1次010自来水12自来水线*2除油115天1次0115天1次0自来水215天1次3自来水11天1次0水洗1115天1次0自来水115天1次3自来水115天1次0130天1次；每天添0水洗1115天1次0115天1次3115天1次0215天1次2化学沉铜315天1次0315天1次3洗线*111天1次0自来水31天1次3自来水11天1次011天1次311天1次0/11天1次3处理*210自来水21天1次0自来水/2/3自来水20自来水1031天1次0/1/3显影110中水10中水/1/3中水11天1次0中水71天1次0中水/11天1次3中水电镀生除油1010自来水27天1次2自来水10222210电镀铜1年1次010自来水13自来水挂具退镀铜290天1次010自来水13自来水前砂带/1/中水洗线*11011天1次011天1次021天1次211天1次021天1次2/1/2刻线*210中水20中水/1/3中水40中水/1/3中水10自来水13自来水20自来水/1/3自来水除钛1半年1次；每天补0自来水23自来水10自来水27天1次3自来水17天1次0自来水33自来水/1/3自来水/1/中水抛光线11天1次011天1次01011天1次0清洗线除油1041天1次411天1次011天1次310/1/3阻焊前处理(喷砂线)*110自来水21天3次3自来水喷砂115天1次0自来水/11天3次3自来水31天3次3自来水11天3次0自来水1331天3次3/11天3次3阻焊显影*1显影20中水13天1次0中水/11天3次3中水11天3次0中水51天3次3中水理喷砂线*11021天3次3自来水喷砂115天1次0自来水11天3次3自来水/1/3自来水31天3次0自来水11天3次0自来水/1/3化银线除油1034微蚀117天1次；每天补充硫酸14L、双氧027天1次31017天1次；每天补充硫酸14L、过硫03310130天1次；每天补0130天1次030130天1次02310/1/3线*3除油1011天1次021天1次31021天1次31021天1次3101021天1次311天1次021天1次32021天1次2115天1次021天1次3190天1次0130天1次021天1次311天1次0自来水金保护115天1次011天1次0自来水线*11031天1次3自来水11天1次311天1次011天1次311天1次0/1/2水切水切/4//2/20103310/1/2/////////自来水注：上表中日均补充水量为依据各槽槽液更换频次折算。由上表统计可知，项目营运期生产线上自来水用量约为309.21t/d、中水用水量约78.257t/d、纯水用量约为330.08t/d。根据建设单位提供的资料，建设单位设置有一套处理能力为20t/h的纯水制备系统，采用“砂滤+碳滤+精滤+一级RO反渗透”的处理工艺，纯水制备率约70%。由此反推，需进入纯水制备系统的自来水用量约为19.648t/h(471.543t/d),产生浓水5.894t/h(141.463t/d),部分用于喷淋塔用水及补水，其余直接排入市政污水管网。纯水制备系统的砂滤、碳滤装置需要定期用自来水进行反冲洗，自来水用水量约为1.6t/d。项目循环冷却系统循环量为200t/h(4800t/d),需定期补充自来水，补水量按1%计，则自来水用量为48t/d。②生活用水项目定员600人，厂区设有食堂，员工生活用水按80L/人·d计，则生活用水量为14400t/a。建设内容(1)生产线废水与其他生产废水分类分质预处理后再进行统一深度处理，处理达标后纳入园区污水管网。项目生产线产水环节及产生量核算表见下生产线用水类型量(t/d)日均补(t/d)日均总用水量(t/d)线*2自来水中水线*2自来水自来水自来水预镀线除油自来水自来水电镀铜自来水自来水挂具退镀铜自来水自来水线*2除油自来水自来水水洗1自来水水洗2自来水水洗1水洗2化学沉铜洗线*1自来水自来水处理*2自来水自来水自来水自来水显影1中水显影2中水中水中水中水中水电镀生除油自来水自来水电镀铜自来水自来水挂具退镀铜自来水自来水自来水洗线*1自来水自来水自来水自来水自来水自来水自来水自来水自来水除钛自来水自来水自来水自来水自来水自来水自来水中水除油阻焊前(喷砂自来水自来水喷砂自来水自来水自来水自来水阻焊显影*1中水中水中水中水中水喷砂线自来水喷砂自来水自来水自来水自来水自来水化银线除油微蚀1线*3除油自来水金保护自来水线*1自来水水切水切//自来水注：上表中日均补充水量为依据各槽槽液更换频次折(2)喷淋塔排水项目喷淋塔用水及补水均采用纯水制备浓水，项目1#~2#喷淋塔喷淋液用量均为57.7t、3#~4#喷淋塔喷淋液用量均为42.39t、5#~6#喷淋塔喷淋液用量均为气喷淋塔喷淋液用量均为8.83t,共计约290.94t,每月定期更水为11.638t/d。(3)初期雨水初期雨水的产生量主要跟当地每次降水量、降水强度及电镀，拟对生产车间及原料罐区、仓库的前15分钟的前期雨水进行收集，并达标处理。金华市多年平均降水量1394.4毫米，本项目厂房及仓库占地面积8461.2m²,按平均降水量的10%计算，初期雨水量为1180t/a(平均约3.934t/d)。(4)纯水制备浓水喷淋塔损失水量按每天5%核算，则补充用水量约为14.547t/d,加之定期更换喷淋水需水量11.638t/d,浓水消耗量共计26.185t/d。根据前述分析，纯水制备产生浓水5.894t/h(141.463t/d),喷淋塔用水及补水用量约26.185t/d,其余115.278t/d直接排入市政污水管网。(5)纯水制备反冲洗废水纯水制备系统采用“砂滤+碳滤+精滤+一级RO反渗透”的处理工艺，砂滤、碳滤装置需要定期进行反冲洗，排水量约为1.6t/d。(6)循环冷却系统排水项目循环冷却系统循环量为200t/h(4800t/d),计，则循环冷却系统排水量为12t/d(3600t/a)。(7)生活污水生系数按0.8计，则本项目员工生活污水产生量为38.4t/d(11520t/a),经厂区化粪池处理后直接排入园区污水管网。3)项目水平衡综上，项目水平衡分析图见图2.1-2所示。内容博惠i霞结第旅向5,建设内容生产废水产生量约为860.429t/d(其中生产线731.55冲洗水116.878t/d、循环冷却系统排水12t/d),回用水量78.257t/d,回用率9.1根据报告分析，项目营运期废水总排水量约为246171m³/a,产品422700万块/年，项目单位产品排水量为0.582m³/万块产品，低于《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表2规定的半导体器件-分立器件产品基准排水量数值(3.5m³/生产厂房共有四层，其中一层主要布置激光钻孔、涂胶、氧化铝版及氮化铝版清洗线、磁控溅射镀膜线等生产设施，同时布置纯水站、污水处理站等公用设施；二层主要设置预镀线、化学沉铜线、电镀铜生产线、沉铜清洗线、后砂带清洗线(抛光线、清洗线)、阻焊前处理、阻焊显影线、干膜前处理、干膜显影线、旋切机、砂带机、研磨机、微蚀清洗线、退膜蚀刻线、阻焊印刷等生产工序；三层主要设置表处理喷砂线、化银线、镍钯金线、镍钯金后清洗线、成品清洗线、激光切割、飞针、打标、检验等生产工序；四层南侧用于办公、北侧闲置。9、劳动定员及工作制度项目定员600人，设有食宿，管理人员为白天一班制，工作人员为三班工作制，每班工作8小时，年工作300天。工艺和产排污环节1、生产工艺介绍本项目生产采用DPC直接镀铜工艺。该工艺首先通过磁控溅射原理于陶瓷基用生产设备均相同，除陶瓷基板类型不同，其余所用原辅料也都相同。因此，两种产品的生产工艺统一介绍。其总体工艺流程见下图。工艺和产陶瓷基板涂胶沉铜贴膜曝光显影电镀前砂带/研磨/旋切退膜蚀刻后砂带电测阻焊前处理丝网印刷阻焊预烤阻焊曝光阻焊显影阻焊后烤喷砂激光切割水切/清洗检测包装出货2、重点工艺产污环节说明项目使用的陶瓷基板主要分为氧化铝陶瓷基板和氮化铝陶瓷基板两类，其中氧化铝基板占60%、氮化铝基板占40%,分别按800片/箱和1000片/箱的成品基板包装规格运送至本项目进行后续生产加工，设计规格主要有两种尺和117*117mm,各占50%左右。企业各清洗线、预镀线、化学沉铜、电镀线、蚀刻线、表面处理线等工序采用PLC控制，采用人工方式基板上挂及下挂，激光打孔前，首先在陶瓷基板上通过毛刷刷涂上一层水溶性食物级红胶(本项目使用的红胶为胭脂红，其MSDS见附件4),目的是降低激光增强激光打孔效果。放在烘干箱内烘干(电能),然后使用激光打孔机将上下两面基板打通，作为上下板面连通的路径。本项目激光打孔均控制在25μm,一般标准孔径为100μm至150μm。激光打孔机同时可进行打码，主激光打孔后的基板上附着有红胶及打码产生的微量颗粒去除打孔产生的毛刺。自来水自来水中水纯水基板水洗磨板超声波漂洗烘干W3综合废水W1磨板废水W2一般清洗废水人工通孔下道工序氧化铝工艺说明：①水洗：激光打孔阶段涂布的红胶为水溶性染料及水的鼓风装置，去除基板表面的水分。该工序产生工作槽名称用水类型温度控制(℃)水1天1次自来水常温磨板水/中水常温水1天1次纯水氢氧化钾、自来水草酸、纯水自来水纯水G2氨自来水 W3综合废水W9酸性废液W2一般清洗废水W10碱性废液W3综合废水在冲胶槽内直接浸泡冲洗即可清洗去除，此②酸洗：用25%草酸进行浸泡，该工序有W9酸性废液产氮化铝先和水反应，反应方程式为：AIN+3H₂O===Al(OH)3↓+NH₃↑在微观状况下，形成氢氧化钾过量的条件，A1(OH)应方程式为：Al(OH)3+KOH=KAlO₂+2H₂O总反应为：AIN+KOH+H₂O=KAlO₂+NH₃↑该工序有G2氨、W10碱性废液产生，后面水洗工序产生W3综合废废液，后道产生W2一般清洗废水。工作槽名称更换频次用水类型温度控制(℃)水洗水1天1次自来水常温2天1次纯水水洗水1天1次自来水常温10%氢氧化钾、水2天1次纯水水洗水1天1次自来水常温3%硫酸、水1天1次纯水常温水1天1次纯水///具体工艺流程见图2.2-4,各设备技术参数见表2.2-3。中性环保清洗酸性环保清W2一般清洗废水W10碱性废液W3综合废水W9酸性废液W下道工序工艺说明：①鼓泡：同上，去除表面可能附着的颗粒物。②清洗：分别采用中性环保清洗剂、酸性环保清洗剂对基表面可能附着的油脂、杂质等，以提高板面的清洁度，优化果，该工序产生W10碱性废液和W9酸性废液，后续水洗产生W2一般清洗废水。③慢拉：在慢拉槽中，通过使用纯水平稳流出漫过基板，残留的微量颗粒物及手印等，以确保后续磁控溅射的效果。该工序产生W2一般清④磁控溅射：本工段使用钛和铜做成的靶材，溅射过程先基板上的钛金属膜作为过渡层，能在陶瓷基板表面形成一层牢固绑定层，使得溅射的第二层铜层能够更加牢固的抓附在基板上。据建设单位提供的资料，两层金属膜膜厚一般控制在钛层0.1~0.25μm,铜层0.5~0.6μm之间，使用的靶材约有2/3被有效利用，其余1/3无法继续利用，产生为S3废靶材。工作槽名更换频次用水类型温度控制(℃)鼓泡水1天1次纯水气泡冲刷常温8%中性环保清洗剂2天1次纯水水洗水1天1次纯水8%酸性环保清洗剂2天1次纯水水洗水1天1次纯水水1天1次纯水///////真空高压/5)预镀(全板电镀)预电镀铜的作用主要为增加铜层厚度，主要包括除油、微蚀、酸洗、镀铜、退镀(挂具)工序。其工艺流程详见图2.2-5,各设备技术参数见表2.2-4。酸性除油剂、酸性除油剂、自来水自来水纯水酸、光剂、纯水基板上挂-除油基板上挂-除油W3综合废水W2一般清洗废水W9酸性废液W11含铜废液自来水自来水自来水自来水理效果。除油过程有W9酸性废液产生，后续热水洗过程产生W3综合废水，二级②浸酸：采用5%硫酸保护电镀槽槽液不受污染，该过程有W9酸性废液和G3③电镀铜由以下阴极化学反应式表示：Cu²++2e→Cu。操作温度在24±3℃,操作时间为5~15min,经过电流40~80安培/h,硫酸铜浓该过程有W11含铜废液产生，后续溢流水洗过程产生W2一般清洗废水。④退镀铜(挂具):预镀铜完成后，需要对夹具上多余的目采用硫酸和双氧水退镀液退掉铜层，退镀液使用10%硫酸和15%双氧水，铜离子达到40g/L,排掉2/3药液，保留部分母液，补充药水。H₂SO₄+H₂O₂+Cu=CuSO₄退镀过程会产生W11含铜废液及G3硫酸雾，后续工作槽名用水类型制(℃)除油8%酸性除油剂、2.5%硫酸、水纯水热水洗水自来水水自来水10%硫酸、水纯水常温电镀铜硫酸80~90g/L、硫酸铜70g/L、0.02%盐酸、铜粉、1.5%光剂、水纯水水自来水常温高位水洗水自来水常温退镀铜10%硫酸、15%双氧水、水纯水常温水自来水常温高位水洗水自来水常温化学沉铜简称沉铜，其主要用途为增厚铜层，增加导通孔的导电性，同时可以化等前处理工序。具体工艺流程详见图2.2-6,各设备技术参数见表2.2-5。氧化钠、纯水自来水基板上挂-除油热水洗自来水自来水自来水水洗1自来水自来水水洗1W¹2微蚀废液W3综合废水W2一般清洗W3综合废水W9酸性废液W2一般清洗W3综合废水W13活化沉铜液、络合剂、 W¹4沉铜废液W3综合废水工艺说明：1)除油：基板的表面脱脂，使基板表面油污除去，提高后续工艺的处理效化铜前处理中的除油采用碱性除油剂，除油过程有W10碱性废液产生，后续热水洗产生W3综合废水，二级水洗过程产生W2一般清洗废水。2)微蚀：微蚀陶瓷基板表面溅射形成的金属铜膜，目的是为后续的化学沉铜工序提供一个微粗糙的活性基材表面，同时去除基材板面残留的氧化物。为了达到理想的效果，微蚀深度通常控制在0.08~0.12μm左右。本项目使用NaS₂O₈/H₂SO₄体系微蚀液，反应机理如下：NaS₂O₈+2H₂O→Na₂SO₄+H₂SO₄微蚀过程主要有W12微蚀废液产生，后续前道水洗产生W3综合废水，后道水洗产生W2一般清洗废水。3)预浸：为防止水带到随后的活化液中，防止贵重的活化液浓度和pH值发生变化，通常在活化槽前先将基板浸入低浓度的预浸液中进行处理，以防止对后续活化液的污染，基板随后水洗进入活化钯槽。当槽中Cu²+约达1500mg/L以上时更该工序会产生G4氯化氢，同时在更换槽液时产生W9酸性废液。4)活化：活化槽是镀铜生产线上最贵重的一个槽。活表面上吸附一层具有催化活动的金属钯颗粒，使经过活化的基体表面具有催化还原金属铜的能力，从而使化学镀铜反应在整个催化处理过的基体表面顺利进行。本项目使用的活化液胶体钯溶液主要成份为SnCl₂、PdCl₂。胶体钯活化液的活面因吸附大量的Sn²+和Cl-离子，形成带负电性的胶体化合物悬浮于溶液中，相互碰撞呈布朗运动状态，因而不会聚沉。Pd+nSn²+3nCl→Pd(SnCl₃)-基板浸于胶体钯的酸性溶液中，在活化溶液内Pd-Sn及表面上，作为化学镀铜沉积的底材。操作温度在常温，为了保证活化液污染的最小化，操作时间为5～6min,当槽中Cu