静电防护管制程序

编号

XXXX科技股份有限公司

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文件名称：静电防护管制程序版次

一、制订维护人员:

职称姓名B期

二、会审纪录:

三、核准:

（本份文件修订纪录表共1页）

XXXX科技股分有限公司

文件修订纪录表

窗体版次：A0

文件编号文件名称：静电防护管制程序

修订日期ADMC修订内容版次修订者备注

修订种类：A：增）川C：减少M：修改0：草节

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一、目的：

1.1建立并定义本公司静电敏感组件及静电防护区域内管制规范。

1.2提供一个适当的准则，以保护所有静电敏感组件免于受到静电放电伤害。

1.3确保所有人员进入静电防护区域人员明了静电防护设备设施及正确观念，特订本管制程

序期能静电放电伤害降到最低。

二、范围：

依据ANSI/ESDS20.20进行规范，凡属本公司之静电防护措施及静电防护区域均合用。

三、权责：

3.1组件敏感等级之判定：各产品设计研发处。

3.2组件敏感等级数据提供：各产品设计研发处及采购部。

3.3ESD量测设备量规仪器校正：质量工程部。

3.4ESD教育训练导入：人力资源部.

3.5ESD日常作业量测：静电防护小组。

3.6ESD防护稽核验证：静电防护小组/质量管理部。

3.7供货商ESD防护稽核：供货商实地评鉴小组。

四、定义：

4.1ESD：静电放电：物质表面的正/负电分离所造成电位。

4.2E.P.A：静电防护区：能限制静电压包含物料及设备的工作环境。

4.3ESDS：静电放电敏感度：对组件特性产生改变，导致组件无法符合其特定特性下的ESD

最低水平。

4.4HBM；人体模式：由人体的指尖接触ESDS产品而放电。

4.5CDM；组件充电装置模式：由组件本身放电至周围对象。

4.6MM；机械模式：由设备本体接触ESDS产品而放电。

4.7C.G.P.；静电防护区中一个共享的接地点。

4.8离子化：将中性空气份子分离为带正/负电的份子。

4.9ANSI/ESDS20.20：美国标准静电防护规范。

4.10静电防护小组：包括项目经理/总务/研发/生产/工程/品保/采购/仓管/RMA代表。

五、ESD作业管制：

5.1接地系统：

5.1.1静电地桩

阻抗值小于10Q,每年委外量测并出俱『静电接地阻抗测试报告」。

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5.1.4.3静电服

静电服材质必须以导电纤维编织而成，可防止静电产生，并可将静电安全

消散释放。于每次新品购入时，须进行抽验(或者供货商检附证明)，以确

认静电服之纤维有无断线造成无法达到静电释放之情形发生。

5.1.5导电地板

表面阻抗值在1.OX1O4Q~1.OX1O9Q。导电地板须搭配导电鞋使用，每半年定期

量测一次导电地板阻抗值及保养清洁打腊后量测。

5.2静电放电保护区(EPA)温湿度管制要求

(1)研发零件拆焊区(2)RMA(3)实验室(4)收料室⑸生产厂区均属静电放电保护区，温湿度

须管制在室温摄氏20度以上30度以下，湿度30%RH~70%RH。(零件仓等区域湿度规

定为30%RH〜60%RH)

5.2.1工作场所的管制

卷标标记：贴有如下图示之工作场所，则为E.P.A区，所有人员进入此区域必需

遵守E.P.A的防护要求来进行作业。张贴在人员进入静电放电保护区之前可清晰

地看到的地方。___

・▲注意ATTENTION

A游电敏感的区域▲EIIROSrATIC

SENSITIVEAREA

常螂(你)没仃侬常的沛也DOXOIEXIFRmiHOlT

PROPERElfCTROSTATK

।防规措施畤睛勿起人WinEQIIPMiM

1在⑪区域士续封押充敏感的SENSITIVEELECTRONIC

IWDEVICESINTHISAREA

也F—小心意侦USECAUTION

静电放电保拧区可以是一个单独的工作台或者整个房偶尔整座建造。限完成为了

相应的静电放电培训的人员，才干进入静电放电保护区，未经培训的人员(供货

商/客户)进入静电放电保护区时，应由受过培训的人员陪同。

作业人员采坐姿作业及无导电地板作业区一律须佩带使用静电环。

5.2.2静电敏感区内静电电压的管制标准(EOS/ESDSTM5.1、ESDDS5.3.1)静电敏感

区内静电电压的管制标准为H.B.M模式100V以下。

5.2.3人员进入EPA区需依据规定进行防护作业。

5.2.3.1静电敏感区内作业人员之防护配备

A.静电防护基本认知

B.静电服

C.静电鞋

D.静电环

E.所有使用于此工作站内的机器，须有共同的接地系统。

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5.2.32产品的运输、存放

在运输和存放ESDS产品时应使用防静电袋、防静电货架、防静电推车和

防静电周转箱。防静电货架必须铺防静电垫并接地。运输用的防静手推车

和转运车的表面必须为防静电材质并接地。推车的轮子必须是导电轮或者

使用金属链条拖地接地。单板挪移搬运时需使用防静电包材将产品包覆。

5.2.4静电敏感组件的分类

静电敏感组件等级区分，主要是依照HBM模式进行分类。所有半成品之静电压

分类，则依据工程中心所展出零件ESDS敏感等级进行归类。

HBMESDSComponentClassification

ClassVoltageRange

0<250

1A250to<500

1B500to<1000

1C1000to<2000

22000to<4000

3A4000to<8000

3B工8000

5.2.5葩缘体在E.P.A区域规范

为了减少电场感应所导致的带电器件破坏模式，静电放电控制方案应包含对制程

中所必要的绝缘材料的处理计划。如果电场超过2000伏/英寸，应采取下列的步

骤中的一个：

A.将绝缘体与静电放电敏感器件分开30厘米(12英寸)的距离。

B.使用离子风扇电荷中和。

所有的离子风扇，必须是能够自我中和其所释放出来的正负离子，而离子风扇

的使用与否，由静电防护小组来决定。当挪移一个静电敏感组件至一个没有导

电地板保护的区域时，须使用静电防护袋。

5.2.6ESD防护检验规范

A.新品依「ESD新品量测规范」作业。

B.符合性查证依「ESD定期量测规范」作业。

C.量测时，需作读值记录，并贴合格卷标方式实施。

D.治具工具需为静电消散材或者导电材质。

E.静电放电保护区(EPA)检验标准如下表：

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表格3静电放电保护区防静电控制物:

产品人可（注7》符合性验证

技术要求防静电纯制物品

测试方法要求跟值测试方法要求限值

ESDTR53

工作表面（可通过

工作台面京

任一重试方法认ANSI/ESDS4.1<1X10«6to10t9ohns<1X1O«6to10«9

节

可）AJBI/ESDS4.1<1X10«6to10e9ohswohas

（注9.10）ESDTR53

ANSI/ESDS4.2<200V地面重甘

0.8X10e6to1.2X

,带线ANSI/ESDSI.110«6ohas

手IR带系统的符合忤鞋证见表格2

ANSI/ESDSl.l内阻〈IX102ohas

n«ANSI/ESDSI.1外阴XX10“oh>3

人员手腕带接地连接地连接系

接件（车检测）ANSI/ESDS6.1核地<2ohas统按地<2oh»z

ANSI/ESD

EPA龄电

鞋<1X10«9ohas

放电保护SMT31

区BSDSP9.2<1X10e9ohas般地面系绫的符合竹蛉证见表格2

ANSI/ESD<1X10«9ohns

地面

SMT7.1<1X10«9ohss

ANSI/ESDESDTR53

桌椅聿6

桌椅SMT12.1<XX10<9ohne<1X1O«9ohas

ESDTR53消K时间自定义

ANSI/ESD

技术要防静电控制物产品认可（注7）符合性验证

求品测试方法要求*值测试方法要求跟值

货架（存放无防

护的静电・后点对点电阻CX10.9ohu工作表面・

■件）节

点对点电阻〈IX107Oh«5ESDTR53

移动设工作ANSI/ESD

工作表面基接地电阻（IX10.9ohx

表面）S4.1

点对可接电IH＜1X】O,9节

尖端对地电用＜2。X

饵按珞铁・

EPA静手动电饵/拆焊ASSI/ESD节或BSD

尖端接地电阻“OohBS

电放电工具S13.1尖端电压＜20♦伏S13.1的6.1

”区tw

关航泄漏电源＜10・安

用户自定连埃杵监测

用户自定义厂商自定义

连埃性也费卷义壮«;

ANSI/ESD点对可按电用TM10.11ESDTR53点前可按电阻＜1X10*11

防静电JKSMT2.1ohas服装・埼ohas

点野可接电用＜1X1O«9

点前可按电阻＜[X]g9oka

可按地放静电ANSI/ESDESDTR53ohas

服SMT2.1点对可按电咀Q”X10e7■*«ir点对可按电用＜3.5Xi0e7

ohasohns

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注7：产品认可一般在初选择防静电产品时管理，可以使用产品规范复查，独立实验室

评估或内部实验室评估任一方法.

注8：标准有多种电阻测试方法时，限值适用所有方法.

注9：工作表面电压为无防护的静电敏感件放置的任何表面.

注10:由于工作表面的应用广泛性和多样化，特殊需求很难确定，如果有

CDM失效，应考虑点对点电阻对地接地点电阻值低于IX10e6ohms。

注11：电离器定期测试附加信息查ANSI/ESDSP3.3・

5.2.7中电防护系统认证串验计划

1.确保各单位能辰落实执行静电放电管制的要求及）电防护系统监测成立静电防

护小组，负责相关业务维护及推动。静电防护小组需针全公司静电防护管制进

行监督，执行年度ESD静电防护计划并执行稽核作业,并于执行过程时填写

干「内部稽核，检表」0日需将异常发现于管理审杳会议中提出.若发牛不符

合事项时，依据「异常与矫正预防措施程序」进行改善追踪。达行供货商（委外

―加JJ）评鉴时，除依据「供货冏管制程序」执仃外,仍需针对该厂对于ESD

—防护能力进行了解及稽核。

3.产品认证检验计鼠依5.2.6ESD防护检验规范执行。

5.3包装

5.3.1静电放电保护包装应符合合同，采购定单、制图或者其他文件。如果上述槽未作特

殊说明，根据ANSI/ESDS541,对静电放电保护区内外的静电放电包装作出定义,

532采购静电敏感组件一定要要求供货商装入具有导电材之容器或者静电消散包装内，

被动组件若为静电敏感者，其料卷也应使用导电材与静电消散材之包装。

5.3.3包装管须为抗静电，如导电材质，且包覆于导电袋或者导电盒，则可单独运送或者

装入标准纸箱内。管