2021年半导体设备行业真空泵专题研究报告

伏高增长。真空系统是用来获得真空环境的系统，是半仪器、化工、制药行业重要的子系统，应用广泛。真空泵是真空系统重要的组成部分，是用来产生、改善和维持真空环境的装置。根据ISVT，2019年全球真空设备的市场规模约35我们测算，2019年我国半导体真空泵的设场规模快速扩张。太阳能发电成本不断降低，需求进入上升歧，设备降本对技术路线影响较大，设备降本推进真空泵的国产化进程。根据我们的测算，2019对真空泵的设备与服务需求规模约21.7亿元，预计至2行业高度集中，国内企业在光伏/半导体领域真空少数几家国际知名公司占据，2019年Atlas真空部步实现国产替代。汉钟精机2019年速，目前公司的真空产品主要应用在光伏领域，根据中科仪的招股说明书，公司真空泵已进入隆基、晶盛、长江存储真空泵：真空系统的心脏，应用领域广泛。真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真空环境的装置，是直接影响到通常真空范围可划分三个等级1）粗低真空（LoworRough工、制药行业等2）高真空（HighVacuum，HV气压在10-从原理上来说，主要分为变容式与动量式两种，根据结构特点可分为往复式、旋转式、牵引式等，不同的密封方式、结构从原理上来说，主要分为变容式与动量式两种，根据结构特点可分为往复式、旋转式、牵引式等，不同的密封方式、结构二、半导体真空泵：百亿级产业，需求稳中向上刚起步的时候，仅有两种处理工艺需要用到真空腔。一种是只有一层金属的蒸铝工艺，另一种是在硅片背面蒸金以便将电路芯片固定力。目前真空泵已经广泛应用在半导体制造的多个工艺环节中，包越来越需要以更高的精度和均匀性执行更多的半导体半导体制造中主要应用的真空泵类型包括干式真空泵以及涡轮环泵、油封泵和蒸汽喷射系统相比，干泵设备除了艺可重复性、灵活性和生产率之外，还能够显著节省运营成本、维护成本和安装空间。干泵设备的关键优势，不使用水或油来进行真空阶段的密封或者润滑，因为设备的运行成本非常经济，可让用户优化真空工艺。另外，干泵消除了工艺过程污染油或油搭载进入尾气处理系统的风险，他们不会产生废物、或者污染宝抽气机构内不使用润滑剂，并有一系列的监测和控制选项。干泵广泛应用于半导体领域，也应用于冶金、涂料、干燥、太阳能等工业的主要特点是转速高。涡轮泵通常与主湿泵或干泵一起使用。它们在刻蚀和薄膜沉积设备中通常使用干泵+涡轮分子泵，将大至一定真空使得符合工艺的需求。由于干泵抽真空的能力有限，需500个涡轮分子泵。其中干泵和减排系统直接出售给铸造厂和集成设备制造商，供其在制造过程中使用，涡轮分子泵直接出售给设备制户，真空泵和减排系统每天24小时、每周7天运行，因此除了再制造外，还需要定期维护。我们估计，用于超清洁环境的干泵通常需要台，涡轮分子泵500台2）平均更新年限假定为10年（ISVT的估计相近。预计到2025年全球半导体真空泵的设备与服务需对国内的半导体真空泵市场规模进行测算，并假设国内装机占全球三、光伏真空泵：下游扩产积极，需求快速扩张网，2020年中青海海南州的竞价项目中标电价为0.2427元/W已经碳中和目标下，光伏装机需求确定性强。2020年9月，我国在也会用到干式真空泵。干式真空泵可用于光伏产业链中硅片的拉晶等。根据捷佳伟创的招股说明书，以其PECVD设备为例，干式真空虑存量真空泵的更新与真空泵的维保费用之后，同时期设备与维保的市场规模约22.6/28.6/35.6亿元，复合增长率约25.5%，维持高线的产能占比以及镀膜设备在不同技术路线中的价值量占比等（由于技术路线迭代变化，近年电池片环节设备更新较快，故未设备需求规模约6.5/9.8/11.7亿元，整个光伏行业对真空泵的设备需求为21.7/2服务维保市场，光伏行业对真空泵的设备与服务需求规模约33.5/45.0/55.5亿元，复合增长率28.7%，保持高速增长。一环。前文已经提到组件价格的大幅下降，与之同时发生的则是随着设备的国产化与产能的逐步上升，设备投资额的大幅度下降，根等多种技术路线并行、竞争焦灼的现阶段，设备投资额将是决定技术路线走向的重要一环，而将若干零部件国产化将会是设备降本的商捷佳伟创为例，出于配合电池片厂商降本以及保持市场份额的需提高利润率的需要，以捷佳为代表的电池片设备厂在投资者问答平台上对投资者的答复，汉钟的真空产品已经供货捷公司均为成立多年的百年企业，在激烈的行业竞争中脱颖而出，技起家，后陆续切入气动工具、压缩机、船用发动机、柴油机等，经干式真空泵3）涡轮分子泵4）液环真空泵5）减排和综合系2020年Atlas收入约108.8亿美元，其中真空部门收入约27亿2014年被Atlas收购。产品的应用领域主要有分析仪器（电子显微的真空泵随之不断进步，一个是技术上，不断的进行技术开发以符Edwards收入增长与半导体设备市长的最大动力来自于半导体领域。在上一轮半导体设备行业的顶点的真空技术部门收入达到约21.1亿英镑，其中主要的收购仅在2016公司的产品组合包括真空产生、测量与分析、安装工具、真空系统、真空单元、捡漏设备等，可以提供各种复杂的真空系统解决方高真空范围内运行，需使用干式粗抽泵、涡轮泵以及2015-2019年，普发的收入从5.01亿美元增长到2019年的7.1最大的部分，2015年到2019年，半导体行业的收入占比从31.0%上体机械及系统，主要包括泵、压缩机、涡轮机、鼓风机等，主要用于石油、天然气、液化天然气等2）环境工程，包括市政垃圾焚烧厂、工业垃圾焚烧厂、水处理厂等3）精密器械，包括干式真空泵、CMP（化学机械抛光）设备、电镀设备及排气处理设用于半导体、平板显示、LED和太阳能电从公司的发展历程来看，可分为以下几个阶段1）1912~1944年，主要致力于水利基础设施2）1945~1980年，趁着战后日本备，1992年推出CPM设备4）2000年之后，可持续增长阶段，致2016-2020年，公司精密器械部门的收入从约7.8亿美元上升到精密器械部门的收入拆分来看1）应用领域。2019年半导体技术壁垒较高，除去真空泵之外，还可以提供包括捡漏、真空计在汉钟精机的年报，公司的真空产品在光伏产业深耕多年，已经实现大批量供货以及长时间可靠运行，以优异的性价比赢得了较大的市业，已在光伏行业取得不错成绩，并且随着产品性能的不断进步以半导体行业对真空泵的要求更高，国产真空泵需要较长的时间进行技术探索和验证，但是国产化的进程已经开始泵的龙头，真空泵以螺杆式为主，旋片泵也有所布局；中科仪以涡旋罗茨泵、涡旋式、螺杆式均是干式真空泵的主流结构，均为变容间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的（3）螺杆干泵是利用一对螺杆，在泵壳内做同步高速反向旋转而产生的吸气和排气达到压缩气体的效果，主要的真空度应用范围从真空度的应用范围来看，罗茨干泵最广，螺杆干泵次之，最后从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，主年的发展，已成为中国大陆颇有实力的压缩机生产厂家。按照产品分类，公司的主要产品包括制冷产品、空压产品、真空产品、铸件3.69亿元，占总收入的20.43%，根据公司的业绩快报，2020年营业主要应用在光伏领域。受益于光伏行业积极扩产，公司真空业务近泵在国内半导体一线大厂及设备厂都已导入，产品符合业界需求，并可与欧、日国际真空泵大厂在产品性能规格等方面竞争。在半导新能源行业等，应用于光伏行业的占比最高，而其中又以光伏硅片的拉晶环节以及电池片环节为主，在光伏行业改善和优化，目前公司已有能满足半导体最先进工艺的全系列中真Metrology等干净制程2）iPM：体积小、节能，适用于一般严苛仪器设备制造企业，主要业务包括真空科研设备、LED高干式真空泵产品已在中芯国际、长江存储、上海华力、北方华创等集成电路制造企业及集成电路装备制造企业通过工列产品主要应用于集成电路苛刻工艺制程，如CVD；涡旋干泵分为可。根据公司招股说明书，中科仪的主要客户包括隆基、晶盛机电等光伏