《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》

1．高端工业母机.......................................................................................1

1.1数控机床......................................................................................1

1.2铸造装备......................................................................................3

1.3锻压装备......................................................................................4

1.4焊接装备......................................................................................4

1.5热、表面处理装备......................................................................4

1.6增材制造装备..............................................................................4

1.7工业机器人..................................................................................5

1.8其他成形装备..............................................................................6

1.9高端工业母机核心系统和关键零部件.....................................6

2．电子专用装备.......................................................................................8

2.1集成电路生产装备......................................................................8

2.2片式元件生产装备....................................................................10

2.3新型显示生产装备....................................................................10

2.4太阳能电池生产装备................................................................10

3．电力装备.............................................................................................11

3.1核电机组....................................................................................11

3.2大型火电机组............................................................................12

3.3大型水电机组............................................................................12

3.4大型风电机组............................................................................12

3.5太阳能机组................................................................................12

3.6生物质能发电装备....................................................................12

3.7新型储能装备............................................................................12

3.8新型电力系统输配电装备.......................................................13

3.9电力装备核心系统和关键零部件...........................................14

4．大型矿山和冶金装备.........................................................................17

4.1千万吨级井工综采综掘成套装备...........................................17

I

4.2千万吨级大型露天矿用装备...................................................17

4.3金属冶炼铸造装备....................................................................17

4.4金属压延及加工装备................................................................18

4.5物料搬运及港口机械装备.......................................................18

4.6大型矿山和冶金装备核心系统和关键零部件.......................19

5．大型石油和化工装备.........................................................................20

5.1陆地油气钻采装备....................................................................20

5.2油气管道集输装备....................................................................20

5.3千万吨级炼油装置....................................................................21

5.4百万吨级乙烯装置....................................................................21

5.5百万吨级精对苯二甲酸装置...................................................22

5.6煤化工成套装备........................................................................22

5.7气体分离、压缩装备................................................................22

5.8大型石油和化工装备核心系统和关键零部件.......................23

6．先进节能环保装备.............................................................................24

6.1节水与水处理装备....................................................................24

6.2大气污染治理装备....................................................................24

6.3固体废物处理利用装备...........................................................24

6.4先进节能环保装备核心系统和关键零部件...........................25

7．先进轨道交通装备.............................................................................26

7.1动车组........................................................................................26

7.2铁路机车车辆............................................................................26

7.3铁路工程机械............................................................................26

7.4城市轨道交通车辆....................................................................26

7.5先进轨道交通装备核心系统和关键零部件...........................27

8．船舶与海洋工程装备.........................................................................28

8.1船舶............................................................................................28

8.2海洋工程装备............................................................................29

II

8.3海上油气钻采装备....................................................................29

8.4船舶与海洋工程装备核心系统和关键零部件.......................29

9．航空航天装备.....................................................................................37

9.1固定翼飞机................................................................................37

9.2直升机........................................................................................37

9.3无人机及其他航空器................................................................38

9.4航天运载器................................................................................38

9.5航天飞行器................................................................................39

9.6机场地面设备............................................................................40

9.7航空航天装备核心系统和关键零部件...................................40

10．新型农业机械装备...........................................................................41

10.1新型高效拖拉机......................................................................41

10.2自走式收获机..........................................................................41

10.3大型播种机..............................................................................42

10.4植保机械..................................................................................42

11．大型工程机械...................................................................................44

11.1掘进机械..................................................................................44

11.2起重机械..................................................................................44

11.3挖掘铲运机械..........................................................................44

11.4路面压实与桩工机械..............................................................44

11.5安全应急装备..........................................................................44

11.6大型工程机械核心系统和关键零部件.................................45

12．新型轻工和纺织机械.......................................................................46

12.1食品机械..................................................................................46

12.2药品机械..................................................................................46

12.3印刷机械..................................................................................46

12.4织造机械..................................................................................46

12.5印染整理机械..........................................................................47

12.6化纤与非织造布机械.............................................................47

III

13．高端医疗装备...................................................................................48

13.1手术装备..................................................................................48

13.2医学影像装备..........................................................................48

13.3放射治疗装备..........................................................................49

13.4体外诊断装备..........................................................................49

13.5卫生应急装备..........................................................................49

13.6高端医疗装备核心系统和关键零部件.................................50

14．精密仪器仪表...................................................................................51

14.1仪器..........................................................................................51

14.2仪表..........................................................................................52

14.3测量检测装备..........................................................................52

15．重大技术装备关键配套及基础件..................................................53

15.1液压气动密封装置及系统.....................................................53

15.2轴承..........................................................................................53

15.3传动系统及连接件..................................................................53

15.4控制部件及系统......................................................................53

IV

1．高端工业母机

编号装备名称核心技术指标

1.1数控机床

最大加工直径：3500～5000mm；

最大加工工件高度≥2500mm；

工作台跳动（端面、径向）＜0.015mm；

X/Z（直线轴）定位精度≤12μm（行程≤

2000mm），行程每增加1000mm精度增

加4μm；

X/Z（直线轴）重复定位精度≤6μm

1.1.1重型精密立式车床

最大加工直径＞5000mm；

最大加工工件高度≥4000mm；

工作台跳动（端面、径向）＜0.02mm；

X/Z（直线轴）定位精度≤12μm（行程≤

2000mm），行程每增加1000mm精度增

加5μm；

X/Z（直线轴）重复定位精度≤8μm

加工工件圆度≤0.5μm，圆柱度≤1μm；

1.1.2精密车削中心直线轴定位精度≤2μm；

直线轴重复定位精度≤1μm

转台直径：630～1000mm；

直线轴定位精度≤5μm；

直线轴重复定位精度≤3μm；

回转轴定位精度≤5″；

回转轴重复定位精度≤3″

1.1.3高精度车铣复合加工中心

转台直径：1000（不含）～3000mm；

直线轴定位精度＜10μm；

直线轴重复定位精度＜6μm；

回转轴定位精度≤10″；

回转轴重复定位精度≤5″

最大加工直径：630mm；

直线轴定位精度≤6μm；

1.1.4五轴联动铣车复合加工中心直线轴重复定位精度≤3μm；

回转轴定位精度≤6″；

回转轴重复定位精度≤3″

1

编号装备名称核心技术指标

最大加工直径：630（不含）～1100mm；

直线轴定位精度≤8μm；

直线轴重复定位精度≤5μm；

回转轴定位精度≤8″；

回转轴重复定位精度≤5″

最小壁厚≤0.9mm；

1.1.5五轴立式龙门镜像铣削机床

壁厚精度：±0.1mm

工作台尺寸＞1000mm；

直线轴定位精度≤5μm；

1.1.6五轴立式加工中心直线轴重复定位精度≤3μm；

回转轴定位精度≤5″；

回转轴重复定位精度≤3″

工作台尺寸＜800mm；

直线轴定位精度≤4μm；

直线轴重复定位精度≤2μm；

回转轴定位精度≤4″；

回转轴重复定位精度≤2″

工作台尺寸：800～1250mm；

直线轴定位精度≤6μm；

1.1.7五轴卧式加工中心直线轴重复定位精度≤4μm；

回转轴定位精度≤6″；

回转轴重复定位精度≤4″

工作台尺寸：1250（不含）～1600mm；

直线轴定位精度＜10μm；

直线轴重复定位精度＜6μm；

回转轴定位精度＜10″；

回转轴重复定位精度＜6″

工作台尺寸≥630mm；

定位精度≤3μm；

1.1.8精密坐标镗加工中心重复定位精度≤1.5μm；

回转轴定位精度≤3″；

回转轴重复定位精度≤1.5″

Y/Z（直线轴）定位精度≤15μm；

1.1.9卧式数控高速拉床Y/Z（直线轴）重复定位精度≤10μm；

A/C（回转轴）定位精度≤15″；

2

编号装备名称核心技术指标

A/C（回转轴）重复定位精度≤10″；

粗糙度≤Ra0.8μm

最大磨削直径≥1000mm；

直线轴定位精度≤4μm；

1.1.10高精度立式磨床直线轴重复定位精度≤2μm；

内圆圆度≤0.6μm，粗糙度≤Ra0.2μm；

工作台跳动（端面、径向）≤0.002mm

主轴转速≥45000r/min；

1.1.11精密数控坐标磨床直线轴定位精度≤4μm；

直线轴重复定位精度≤2μm

加工精度：外圆圆度≤0.2μm，内圆圆度

1.1.12精密复合磨削中心≤0.4μm；

圆柱度≤1μm

加工幅面≥250mm×250mm；

X/Y（直线轴）定位精度≤0.5μm；

1.1.13复合材料飞秒激光切割装备切割厚度≥2mm；

热影响区≤5μm；

拉伸强度≥95%

1.2铸造装备

锁模力≥90000kN，最大压射力≥3500kN；

最大铸造面积：2250cm2（40MPa）；

1.2.1超大型冷室压铸机最大空压射速度≥9m/s；

建压时间≤40ms；

压铸周期≤120s

额定容量≥50kg；

温度控制精度：±1℃；

1.2.2单晶定向炉

拉晶柱精度误差：±0.1mm；

工作真空度≤1Pa，极限真空度≤0.01Pa

最大成形尺寸≥5000mm×3000mm×1000mm；

1.2.3高效精密无模成形装备成形精度≤0.1mm/1000mm；

X/Y（直线轴）最大进给速度≥30m/min

3

编号装备名称核心技术指标

1.3锻压装备

锻造力≥6MN；

最高锻造频次≥310次/分钟；

1.3.1高效精密径向锻机锤头调节精度：±0.2mm；

夹头行走定位精度：±1mm；

夹头旋转定位精度：±0.5°

公称压力≥250MN；

1.3.2伺服电动螺旋压机运动部分能量：5000kJ；

行程次数：8次/分钟

工位数≥5；

公称压力≥16MN；

1.3.3精密冷温锻造压机公称力最大行程≥16mm；

最大行程次数≥40次/分钟；

成形精度≥6级

1.4焊接装备

焊接力≥1000kN；

1.4.1大型线性摩擦焊装备顶锻力≥1200kN；

频率：10～90Hz

主轴转速≥600r/min；

1.4.2大型惯性摩擦焊装备最大转动惯量≥8700kg·m2；

最大顶锻力≥10000kN

激光功率≥12kW；

激光输出功率不稳定性≤1.5%；

高功率激光—电弧复合焊接电弧电流≥400A；

1.4.3

装备有效行程≥30m；

定位精度≤0.5mm；

重复定位精度≤0.3mm

1.5热、表面处理装备

1.6增材制造装备

粉末粒径≤10μm；

1.6.1微尺度粉末床熔融装备成形精度：±2μm；

表面粗糙度≤Ra1.6μm

4

编号装备名称核心技术指标

成形尺寸≥300mm×300mm×300mm；

1.6.2全覆盖多激光粉末床熔融装备激光器数量≥8个；

每个激光器覆盖全幅面

成形尺寸≥1500mm×1500mm×1000mm；

1.6.3超大幅面粉末床熔融装备激光器数量≥20个；

制造效率≥900cm3/h

成形尺寸≥800mm×800mm×800mm；

电子枪数量≥4个；

单枪功率≥4.5kW；

1.6.4多电子束选区熔化增材制造装备

成形精度≤0.5mm；

孔隙率≤0.3%；

制造效率≥200cm3/h

1.7工业机器人

负载≥12kg；

电子制造用高速高精度自由度：6；

1.7.1

工业机器人重复定位精度：±0.02mm；

防护等级：IP67

负载≥150kg；

1.7.2.1点焊机器人重复定位精度：±0.05mm；

平均无故障时间≥80000h

负载≥6kg；

重复定位精度：±0.02mm；

汽车制造用弧焊机器人

1.7.2.2重复轨迹精度：；

1.7.2工业机器人±0.1mm

平均无故障时间≥80000h

重复定位精度：±0.2mm；

换色时间≤15s；

1.7.2.3喷涂机器人

平均无故障时间≥80000h；

防护等级：IP66

工具末端最大冲击载荷≥90000N；

定位精度：±5mm；

冶炼炉高温强冲击载荷

最大速度≥；

1.7.3工业机器人1.8m/s

无故障冲击次数≥12000次；

机器人本体耐受环境温度≥80℃

5

编号装备名称核心技术指标

负载≥700kg；

重复定位精度：±0.08mm；

1.7.4重载工业机器人

绝对定位精度：±1mm；

平均无故障时间≥80000h

1.8其他成形装备

螺杆直径≥190mm；

长径比≥34:1；

1.8.1大型薄膜平行双螺杆挤出机额定转速≥200r/min；

产能≥9t/h；

装机功率≥2000kw

1.9高端工业母机核心系统和关键零部件

中径：25～63mm；

1.9.1数控机床滚珠丝杠噪声≤72dB（48m/min以上）；

精度达到P1级

宽度：25～55mm；

1.9.2数控机床导轨噪声≤70dB（60m/min以上）；

精度达到P1级

A/C（回转轴）定位精度≤10″；

1.9.3数控机床直驱转台

A/C（回转轴）重复定位精度≤4″

回转误差≤0.1μm；

静刚度≥1000N/μm；

1.9.4数控机床电主轴

转速≥15000r/min；

低速输出扭矩≥300N·m

A/C（回转轴）驱动扭矩≥5000N·m；

夹紧扭矩≥6000N·m；

1.9.5数控机床双摆角铣头主轴扭矩≥1250N·m；

定位精度≤8″；

重复定位精度≤4″

DN值≥7×105mm·r/min；

1.9.6数控机床高速精密转台轴承刚性≥175kN·m/mrad；

精度达到P2级

精度：±1″；

1.9.7数控机床光栅/时栅回转编码器

平均无故障时间≥10000h

6

编号装备名称核心技术指标

精度：±1μm/m；

1.9.8数控机床光栅/时栅直线编码器

平均无故障时间≥10000h

最高支持通道数≥8；

单通道插补周期≤1ms；

1.9.9数控机床数控装置平均无故障时间≥30000h；

具备RTCP误差补偿、刀轴矢量控制动态

前馈控制功能

位置输出最高分辨率：28位；

最大调速比：1:100000；

1.9.10数控机床伺服驱动器最大载波频率：8K；

具备2倍过载能力（持续3s），支持动态

精度优化、全闭环接口

传动精度≤50″；

背隙回差≤1′；

1.9.11重载工业机器人RV减速器

传动效率≥85%；

寿命≥6000h

7

2．电子专用装备

编号装备名称核心技术指标

2.1集成电路生产装备

晶圆直径：300mm；

2.1.1硅外延炉工艺节点等于或优于28nm；

应用材料：硅、锗硅

晶圆直径：300mm；

2.1.2湿法清洗机工艺节点优于28nm；

用于关键层清洗

晶圆直径：300mm；

2.1.3氧化炉

工艺节点等于或优于28nm

晶圆直径：300mm；

2.1.4涂胶显影机工艺节点等于或优于28nm；

用于关键层涂胶显影

晶圆直径：300mm；

照明波长：248nm；

2.1.5氟化氪光刻机

分辨率≤110nm；

套刻≤25nm

晶圆直径：300mm；

照明波长：193nm；

2.1.6氟化氩光刻机

分辨率≤65nm；

套刻≤8nm

晶圆直径：300mm；

注入均匀性≤0.5%；

2.1.7高能离子注入机

能量范围≥1MeV；

能量纯度：99.9%

晶圆直径：300mm；

能量范围：200eV～50KeV；

2.1.8低能离子注入机

注入剂量：5×1013～5×1016ions/cm²；

束流大小：0.5～30mA

晶圆直径：300mm；

2.1.9等离子干法刻蚀机工艺节点等于或优于28nm；

用于关键层刻蚀

刻蚀晶圆规格：12英寸；

2.1.10特种金属膜层刻蚀机

CD1σ均匀性（片内、片间、批间）≤3%；

8

编号装备名称核心技术指标

MTJ特征CD：25～80nm；

MTJ侧壁损伤≤2nm；

MTJ侧壁陡直度≥80°

晶圆直径：300mm；

2.1.11化学气相沉积装备工艺节点等于或优于28nm；

用于关键层沉积

晶圆直径：300mm；

2.1.12物理气相沉积装备工艺节点等于或优于28nm；

用于关键层沉积

铜抛光：

晶圆直径：300mm；

工艺节点等于或优于14nm；

片内及片间非均匀性≤5%；

抛光速率＞5000Å/min

钨抛光：

晶圆直径：300mm；

工艺节点等于或优于14nm；

片内及片间非均匀性≤5%；

抛光速率≥2000Å/min

2.1.13化学机械抛光机

铝抛光：

晶圆直径：300mm；

工艺节点等于或优于28nm；

片内及片间非均匀性≤5%；

抛光速率≥2500Å/min

介质抛光：

晶圆直径：300mm；

工艺节点等于或优于28nm；

片内及片间非均匀性≤5%；

抛光速率≥1000Å/min

晶圆直径：300mm；

2.1.14激光退火装备

工艺节点等于或优于28nm

动态重复性：宽度≤0.1nm，高度≤0.15nm，

角度≤0.08°；

2.1.15光学线宽量测装备

准确性：线性度≥0.9，斜率：within1±0.1；

表面颗粒增加≤4颗@＞30nm

9

编号装备名称核心技术指标

2.2片式元件生产装备

有效运行时间≥80%；

膜卷最大可安装直径≥500mm；

2.2.1多层片式陶瓷电容器用辊印机印刷宽度≥330mm；

印刷速度≥100m/min；

印刷辊与黑胶辊之间的平行度≤30μm

叠层尺寸≥310mm×310mm；

叠层效率≤7s；

图像重复精度：±2μm，对位台定位精度：

±2μm；

2.2.2多层片式陶瓷电容器用叠层机

叠层图形变形量：△X≤0.015mm，

△Y≤0.015mm；

单膜厚度≤2μm，层数可达1000层；

有效运行时间占比≥85%

适用PET膜宽：350mm；

最大流膜宽度≥310mm；

流延厚度：1～10μm，流延速度≥

2.2.3薄膜流延机

100m/min；

烘干温度≤120℃；

流延极差：±5%

2.3新型显示生产装备

厚度≤70μm；

2.3.1超薄玻璃一次拉制成形装备厚度差≤10%；

透过率≥90%

2.4太阳能电池生产装备

膜厚均匀性≤5%；

片间膜厚稳定性≤2%；

2.4.1钙钛矿真空镀膜机

组件尺寸≥0.72m2；

生产节拍≤60s

膜厚均匀性≤5%；

片间膜厚稳定性≤5%；

2.4.2钙钛矿涂布机

组件尺寸≥0.72m2；

生产节拍≤60s

10

3．电力装备

编号装备名称核心技术指标

3.1核电机组

3.1.1.1主回路系统

装备及堆芯测量

系统

3.1.1.2主泵变频器

三代核电机组额定功率≥1200MWe；

3.1.1.3主蒸汽与

（华龙一号、设计寿命≥年；

主给水隔离阀门及60

系列）堆芯损坏概率≤-5堆年；

3.1.1CAP高灵敏度调节阀1.0×10/

核心系统和大量放射性物质释放概率≤1.0×10-6/堆年；

数字化仪控

关键零部件3.1.1.4换料周期≥18个月

系统

3.1.1.5乏燃料运输

容器

3.1.1.6核级专用焊材

3.1.2.1一回路系统

装备和测量系统

3.1.2.2燃料及其

装卸系统

堆芯出口温度≥750℃；

高温气冷堆3.1.2.3数字化仪控

单模块热功率≥；

核心系统和系统250MWte

3.1.2设计寿命≥年；

关键零部件60

3.1.2.4氦气冷却满足第四代核电安全特性

回路相关设备及

阀门

3.1.2.5氦气回路

核级专用焊材

3.1.3.1钠回路系统

装备机组额定功率≥；

快中子反应堆600MWe

3.1.3.2钠回路仪控设计寿命≥40年；

3.1.3核心系统和

和检测装备堆芯损坏概率≤-6堆年；

关键零部件1.0×10/

-7

3.1.3.3钠回路核级大量放射性物质释放概率≤1.0×10/堆年

专用焊材

11

编号装备名称核心技术指标

3.2大型火电机组

额定功率＜30MW，单循环热效率≥20%；

3.2.1燃气轮机额定功率：30～50MW，单循环热效率≥26%；

额定功率＞50MW，单循环热效率≥32%

额定功率≥1200MW；

3.2.2高效二次再热煤电机组技术装备再热蒸汽温度≥630℃；

蒸汽压力≥30MPa

3.3大型水电机组

单机容量≥300MW；

3.3.1大型变速抽水蓄能机组

转子交流励磁系统额定电压≥3kV

3.4大型风电机组

额定功率≥15MW；

3.4.1.1近海抗台型风能利用系数（Cp值）≥0.47；

风电机组设计寿命≥25年；

极限生存风速≥45m/s（10min平均值）

海上风力

额定功率≥；

3.4.1发电机组7MW

风能利用系数（值）≥；

深远海漂浮式Cp0.47

3.4.1.2设计水深≥；

风电机组50m

设计寿命≥25年；

极限生存风速≥55m/s（10min平均值）

3.5太阳能机组

3.6生物质能发电装备

3.7新型储能装备

额定功率≥200MW；

额定能量≥800MWh；

3.7.1全钒液流电池储能系统

系统能量效率≥65%；

设计寿命≥20年

额定能量≥6MWh；

额定功率≥1