T-CSEA 36-2025 真空等离子喷涂设备 技术规范

真空等离子喷涂设备技术规范(发布稿)2025-3-17发布2025-3-17实施I1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 14技术要求 14.1设备组成 14.2技术条件 25检查与验收 5.1功能性检查 5.2性能检查或验收 6质量保证 7检验报告 附录A(资料性)真空等离子喷涂设备检查与验收报告 6本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国表面工程协会热喷涂分会提出。本文件由中国表面工程协会归口。本文件起草单位：北京金轮坤天特种机械有限公司、北京动力机械研究所、廊坊斯博瑞精密机械有限公司本文件主要起草人：何箐、葛超、王亚军、王锦江、房师阁、崔亮、杨明超、王秋童、徐法令1真空等离子喷涂设备技术规范仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本真空技术术语热喷涂术语、分类热喷涂热喷涂设备的验收检查GB/T32218真空技术真空系统漏率测试方法GB/T32293真空技术真空设备的检漏方法选择GB/T36176真空技术氦质谱真空检漏方法是容器内部低压(1kPa~90kPa)、超低压(5Pa~1kPa)、低压可控气氛(通常为填充氩气气氛)下注：也可称为低压等离子喷涂设备(lowpressureplasmasprayequipment)。设备由真空系统(真空泵组、真空容器、真空过滤器等)、等离子喷涂系统(等离子电源、等离子喷枪、送粉器等)、集成控制及操作系统(系统控制柜、气体控制柜、应用软件等)、喷枪和工件夹持单元(机械手、转台等)、辅助单元(冷水机、除尘器等)等组成。24.2技术条件a)设备应具有PLC集成控制功能，人机交互宜采用工业PC,也可采用触摸屏。b)设备应具有工艺配方管理功能，包括存储、读取、调用、修改、删除等功能。c)设备应具备半自动/自动运行模式，半自动运行时依靠人工操作修改、确认参数及确定工步状f)设备在环境保护、操作人员职业健康防护表1性能要求1极限真空2系统漏率真空等离子喷涂设备在洁净真空容器环境下，真空漏率不高于1×10-234等离子电源应为逆变电源或高频斩波电源，为单电源或多电源并联，电35真空容器压力控制精度100Pa~500Pa范围内，真空容器压力控制精度为±20Pa;500Pa~90kPa范围内，真空容器压力控制精度为±50Pa6工作气体流量控制精度7类型备注1功能要求2极限真空系统漏率真空容器压力控制精度工作气体流量控制精度b)无明显漏点后，应按GB/T32218中静态压升法测试要求，将抽至极限真空的真空系统，关闭真绘制压力随时间的变化曲线(见图2),记录时间不宜低于12h。4图2压力随时间变化曲线d)找出压力随时间变化曲线的线性段，并在线性段上取两点A(t₁,p₁,T₁)和B(t₂,p₂,T₂),t₂-t₁≥300s,系统漏率应按下列公式计算：系统漏率值，单位为帕立方米每秒(Pa·m³/s);t——B点时间值，单位为秒(s);—A点时间值，单位为秒(s);T₂——B点温度，单位为开(K);60kPa、80kPa真空容器压力，每个压力条件下保压1b)等离子喷枪工作状态下真空容器压力5a)选取真空等离子喷涂使用典型粉末材料，在100℃±20℃进行2h烘干处理，粉末采用精度为b)根据送粉器特点，随机选择三个不同的送粉参数，包括送粉盘转速(Pv)和载气流量(F),测量三次送粉速率，每次测量3min,采用秒表计时，收集并称量3分钟粉体的输送质量m,c)每个送粉参数下，三次送粉速率分别计为Pr、P₂、Pe,三个数值的标准方差与平均值的比值6.2检验结果判定，合格性判定应根据本标准或用户与设备制造商双方签订的技术协议。检查与验收报告见附录A,检查与验收报告应由用户与设备制造商双方签6(资料性)真空等离子喷涂设备检查与验收报告序号：编号：序号：设备名称设备型号出厂编号设备制造商检验员12设备应具有工艺配方管理功能，包括存储、读取、调用、修改、删除等功能3设备应具备半自动/自动运行模式，半自动运行时依靠人工操作修改、确认参数及确定工步状态切换，自动运行模式时按照调用工艺4设备应具有联锁、报警、急停等安全性功能5设备应具有真空过滤器除尘功能，应具有压差控制的反吹功能6设备在环境保护、操作人员职业健康防护措项目检验员1极限真空真空等离子喷涂设备在洁净真空依据5.3.12系统漏率真空等离子喷涂设备在洁净真空容器环境下，真空漏率不高于34等离子电功率最大使用功率的2倍以上。5压力控制精度作状态下真空容器压力100Pa~500Pa范围内，真空容器压力控制精度为±20Pa;500Pa~90kPa范7等离子喷枪工作状态下真空容器压力围内，真空容器压力控制精度6流量控制精度依据5.3.67依据5.3.7