半导体无尘室施工技术交底

半导体无尘室施工技术交底一、工程概况与设计标准本项目为半导体封装测试车间无尘室施工，总面积800㎡，划分为洁净区（500㎡）、准洁净区（200㎡）及辅助区（100㎡），洁净度等级执行ISO14644-1:2025标准ISO8级（动态条件下每立方米≥0.5μm粒子数≤3,520个）。核心环境参数控制要求：温度22±2℃，相对湿度45%±5%，洁净区与非洁净区静压差≥10Pa，噪声级（空态）≤65dB(A)，截面风速0.45m/s±10%。气流组织采用垂直单向流设计，通过三级空气过滤系统（初效G4+中效F8+高效H13）实现洁净度控制，符合GB50073-2013《洁净厂房设计规范》及GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》要求。二、施工准备与资源配置2.1技术准备图纸深化采用BIM技术完成三维空间布局，重点标注FFU（风机过滤单元）矩阵排布（3×3m间距）、风淋室位置（入口处设置2台双人双吹型）及压差梯度设计。气流组织遵循"洁净区→准洁净区→辅助区"单向流动原则，各区域压差维持10-15Pa，通过PLC控制系统实现自动调节。材料验证标准|系统|材料名称|技术参数要求|验收指标||--------|---------------------------|---------------------------------------|-----------------------------------||墙面|抗菌电解钢板|厚度0.8mm，表面菌落数≤1CFU/㎡|接缝圆弧过渡（R≥50mm）||地面|防静电PVC同质透心地板|厚度2mm，表面电阻10⁶-10⁹Ω|焊接接缝宽度≤0.5mm，平整度≤2mm/2m||吊顶|岩棉彩钢板|厚度50mm，铝合金龙骨间距≤1200mm|悬吊荷载≥150kg/㎡||过滤器|高效过滤器（HEPA）|过滤效率≥99.97%@0.3μm，DOP检漏≤0.01%|边框密封压缩量30%-50%|2.2人员与设备配置施工团队组成项目经理1人（持洁净室施工管理认证）技术负责人2人（空气净化/防静电系统各1人）专职洁净管制员1人（负责进出管控与环境监测）专业施工班组6个（墙板/吊顶/地面/空调/电气/自控）专用设备清单|设备名称|规格参数|用途||------------------------|-----------------------------------|-------------------------------||工业级吸尘器|HEPA过滤，吸力≥20kPa|施工面清洁，避免交叉污染||激光粒子计数器|量程0.3-10μm，流量28.3L/min|洁净度实时监测||数字压差计|精度±0.5Pa，量程-500~+500Pa|区域压差调试||防静电接地电阻测试仪|量程0-20Ω，精度±1%|接地系统电阻检测|2.3场地预处理污染隔离措施设置三级防护屏障：外围警戒线（2m宽）→缓冲区（配备除尘垫与风淋通道）→施工区（全封闭彩钢板围护）。入口处配置风淋室（风速≥25m/s，吹淋时间30s）及鞋底清洁机（滚轮式+粘尘垫双重清洁）。地面保护方案基层处理：先铺设0.2mm厚PE塑料膜，再覆盖18mm厚多层夹板，接缝处用防静电胶带密封，转角处加设5cm宽防撞条。所有运输工具采用橡胶轮推车，轮胎表面包覆防静电胶带。三、分阶段施工管控要点3.1前期管制阶段（结构施工期）3.1.1墙板与吊顶安装材料进场流程所有板材进场需缠绕双层PE膜，在缓冲区拆除外包装并经Class100级无尘布擦拭（蘸75%异丙醇），通过专用橡胶轮推车转运。墙板采用"企口式"拼接，缝隙填充食品级硅胶（邵氏硬度60±5），固化后进行压平处理，确保表面平整度误差≤2mm/2m。吊顶施工工艺吊杆采用M10膨胀螺栓固定，间距≤1200mm，垂直度偏差≤1°。龙骨安装后进行水平度校正，每平方米悬吊荷载测试≥150kg。灯具与风口气密性达到IP65等级，安装后用密封胶封堵缝隙，确保无渗漏。3.1.2隐蔽工程处理管线穿越密封电气线管与风管穿墙处采用防火岩棉+密封胶双重封堵，穿墙套管与管道间隙≤3mm。接地系统采用6mm²铜箔将防静电地板与独立接地极连接，接地电阻≤1Ω，每50㎡设置1个测试点。防静电系统施工地面铜箔网格间距2m×2m，交叉点采用放热焊接，与接地干线连接点不少于2处。所有金属设备外壳、管路通过4mm²多股铜线与接地系统连接，形成等电位网络。3.2中期管制阶段（系统安装期）3.2.1空气净化系统施工风管制作与安装采用0.8mm厚镀锌钢板，咬口连接后进行密封胶灌注，漏风率测试≤2%（1000Pa静压下）。风管支架间距：水平管≤3m，立管≤2m，与墙体间距≥150mm，避免产生振动噪声。FFU集群安装按矩阵式排布，安装前进行风速均匀性测试（偏差≤±10%）。FFU与吊顶龙骨之间加设EPDM密封垫，运行噪音≤65dB(A)。每台FFU独立设置电源开关与风速调节模块，实现分区控制。3.2.2设备安装与调试空调系统调试配置变频空调机组（制冷量120kW），加装转轮除湿机（除湿量5kg/h），通过比例积分调节阀实现温湿度精准控制（温度±0.5℃，湿度±2%）。新风量按"排风量+正压风量+人员需求"最大值设计，确保每人每小时新风量≥40m³。自控系统联调采用PLC控制系统（西门子S7-1200系列），实时监测参数包括：洁净度（0.3μm/0.5μm粒子浓度）温湿度（每区域设置2个监测点）压差（洁净区与外界≥10Pa，相邻区域≥5Pa）FFU运行状态（风速、滤器阻力）3.3后期管制阶段（洁净度保障期）3.3.1全面清洁与密封无尘化清洁流程墙面/吊顶：75%异丙醇浸湿无尘布，按"从上到下、从里到外"螺旋式擦拭，每块布限用一次地面：先用HEPA吸尘器吸尘（吸口距地面≤5mm），再用去离子水（电阻率≥18MΩ·cm）配合无尘拖把清洁设备表面：专用防静电清洁剂擦拭，避免残留离子污染物缝隙密封标准所有板材接缝、设备基座与地面接触处打注无硅密封胶，胶缝宽度8-10mm，表面平滑无气泡。灯具、风口气流扩散板与吊顶间隙用密封胶填充，确保气流无短路。3.3.2动态管控措施人员管理规定施工人员需通过洁净培训（考核合格颁发准入证）进入洁净区流程：一更（换鞋）→二更（穿洁净服/帽/口罩/手套）→风淋（30s）→缓冲间（静压平衡）禁止携带纸质文件，记录采用专用无尘笔记本与原子笔物料控制流程工具与材料在室外"清洁站"进行三级处理：压缩空气吹扫（去除表面浮尘）75%异丙醇擦拭（消毒杀菌）UV照射30min（降解有机污染物）所有物料需记录《洁净物料入场检验单》，包括名称、数量、清洁日期、责任人等信息。四、质量控制与验收标准4.1过程检验关键节点施工阶段检验项目标准要求检验工具墙板安装表面平整度≤2mm/2m2m靠尺+塞尺风管安装漏风率≤1.5%（800Pa静压下）漏风测试仪FFU运行风速均匀性±5%（设定值0.45m/s）热球式风速仪地面处理防静电性能10⁶-10⁹Ω表面电阻测试仪洁净度测试≥0.5μm粒子浓度≤3,520个/m³（动态条件）激光粒子计数器4.2竣工验收文件技术资料竣工图（含BIM模型）及设计变更单材料出厂合格证（如H13过滤器的EN1822测试报告）隐蔽工程验收记录（管线密封、接地系统等）检测报告洁净度等级检测（空态/静态/动态三种状态）空调系统风量平衡报告（总风量偏差≤10%）AMC污染物检测（TVOC浓度≤500μg/m³，金属离子浓度符合SEMI标准）防静电系统检测报告（接地电阻、表面电阻分布）操作文件《洁净室维护手册》（含过滤器更换周期、清洁规程等）《设备操作规程》（空调/自控/FFU系统）《应急处理预案》（停电、火灾、洁净度超标等突发情况）五、安全与环保措施5.1施工安全动火作业管控焊接作业需在专用隔离棚（2m×2m×2.5m）内进行，棚内配备HEPA过滤单元及氧含量监测仪（氧含量≥19.5%）。作业后静置30min，经粒子计数器检测确认无粉尘污染方可撤离。电气安全临时用电采用TN-S系统，配电箱加装浪涌保护器（Imax≥40kA），手持工具绝缘电阻≥2MΩ。所有带电设备设置"防静电接地"标识，与接地系统可靠连接。5.2环保控制废弃物管理废弃密封胶、过滤器等危险废物分类存放于防泄漏容器，由有资质单位外运处理。施工废水经三级沉淀（pH调节→过滤→中和）后排放，COD≤150mg/L。噪声控制昼间施工噪声≤70dB(A)，夜间（22:00-6:00）禁止使用冲击钻等设备。必要时设置声屏障（降噪量≥25dB），风机、水泵等设备加装减振垫。5.3应急预案洁净度超标处理立即启动备用FFU机组，增加换气次数至20次/h，同时检测高