常州净化车间施工方案

常州电子制造业净化车间施工方案一、项目概况1.1项目基本信息本项目位于江苏省常州市高新技术产业开发区，总建筑面积12000平方米，其中净化区面积8500平方米，按功能划分为核心洁净区（ISO5级）、一般洁净区（ISO6级）及辅助区域。建筑结构采用钢筋混凝土框架体系，设计使用年限50年，抗震设防烈度7度。车间主要用于半导体封装测试及微电子组件生产，投产后预计可实现月产能150万片芯片的生产规模。1.2洁净度分级规划区域类型洁净度等级（ISO标准）对应传统等级主要功能面积占比A区ISO5级百级光刻、键合工艺18%B区ISO6级千级封装测试32%C区ISO7级万级物料准备、检验25%D区ISO8级十万级仓储、更衣25%1.3主要技术指标温度控制：A/B区22±1℃，C/D区24±2℃湿度控制：A/B区45-55%RH，C/D区50-65%RH压差梯度：洁净区相对室外≥15Pa，不同级别区域间≥10Pa噪声控制：空态≤60dB(A)，动态≤65dB(A)照度标准：操作区≥300lux，走道≥200lux二、施工执行标准与规范体系2.1核心引用标准《洁净厂房设计规范》（GB50073-2013）《ISO14644-1空气洁净度分级》国际标准《建筑机电安装工程施工质量验收标准》（GB50303-2015）《通风与空调工程施工质量验收规范》（GB50243-2016）《防静电工程施工与质量验收规范》（GB50944-2013）2.2材料选用标准围护结构：0.6mm厚彩钢板（镀锌层≥120g/m²），芯材为防火岩棉（密度120kg/m³）地面系统：2mm环氧自流平+防静电涂层（表面电阻10⁶-10⁸Ω）吊顶材料：铝合金龙骨+铝合金扣板（厚度≥0.8mm）门窗系统：304不锈钢门框+双层钢化玻璃（厚度5+5mm）三、主要施工技术方案3.1围护结构施工墙体安装工艺：基准放线：采用激光投线仪定位，误差控制在±2mm内，弹出墨线后安装地槽铝彩钢板安装：采用企口式连接，竖缝间距≤1.2m设置加强筋，板缝填充防火密封胶（膨胀倍率≥250%）圆弧处理：所有墙角、地角采用R50mm圆弧铝型材过渡，与墙面间隙用硅酮密封胶填充穿墙处理：管线穿墙处采用双层套管密封，内侧加装不锈钢装饰圈吊顶施工要点：吊杆间距≤1.2m，采用M10膨胀螺栓固定，承载能力≥150kg/点主龙骨采用C型钢（规格50×30×1.5mm），间距≤1.5m吊顶平整度误差≤3mm/2m，接缝高低差≤0.5mm灯具、风口气流组织装置与吊顶板间隙密封处理3.2空气净化系统施工HVAC系统配置：冷热源：采用离心式冷水机组（制冷量2800kW）+燃气锅炉（制热量1800kW）空气处理机组：组合式空调箱（风量45000m³/h），配置表冷器、加湿器及三级过滤段末端装置：A区采用FFU全覆盖（数量324台，风量1100m³/h/台），B区采用FFU+散流器混合送风高效过滤器安装工艺：安装前检测：对H13级高效过滤器进行完整性测试（PAO检漏，泄漏率≤0.01%）框架处理：采用铝合金型材制作静压箱，内表面粘贴镀锌钢板（厚度≥0.8mm）密封方式：采用液槽密封胶（邵氏硬度60±5），胶条压缩量控制在30-50%安装顺序：先外后内、先上后下，相邻过滤器间距误差≤5mm气流组织优化：A区采用垂直单向流（断面风速0.45±0.05m/s），满布FFU（覆盖率85%）B区采用局部层流罩（覆盖关键工位）+乱流送风组合方式回风系统：A/B区采用格栅地板回风，空气循环次数≥60次/h气流模拟：施工前通过CFD软件进行气流组织模拟，确保无涡流区（风速不均匀度≤20%）3.3地面工程施工环氧自流平施工流程：基层处理：混凝土基面打磨（表面平整度≤2mm/2m）真空吸尘（≥2000Pa吸力）涂刷底涂（无溶剂环氧底漆，干膜厚度80μm）中涂施工：铺设石英砂骨料（粒径0.3-0.5mm）机械镘涂（厚度1.2mm）养护时间≥24h（温度≥20℃条件下）面涂施工：防静电自流平面漆（添加导电炭黑）消泡处理（使用消泡滚筒）固化养护（7d/25℃）地面特殊处理：防开裂措施：每6m×6m设置伸缩缝，填充弹性密封胶坡度控制：排水坡度0.5‰，坡向地漏防静电接地：采用铜箔网格（间距1.5m×1.5m），接地电阻≤1Ω耐磨测试：按ASTMD4060标准，耐磨性≤0.02g/cm²3.4公用动力系统施工工艺管道系统：材质选择：高纯气体管道采用316L不锈钢（内壁电解抛光），冷却水管道采用304不锈钢焊接工艺：全自动轨道焊接（氩气保护，纯度99.999%），焊口内表面Ra≤0.8μm压力测试：气体管道进行1.5倍设计压力的水压试验（保压30min无压降）泄漏检测：氦质谱检漏（泄漏率≤1×10⁻⁹Pa·m³/s）电气系统配置：供配电：采用双回路供电（10kV），配置UPS不间断电源（容量2000kVA）照明系统：洁净荧光灯（A区36W/盏，间距1.2m×1.2m），应急照明连续供电≥90min接地系统：独立接地网（接地电阻≤1Ω），采用TN-S接地形式自控系统：配置DCS控制系统，实现温湿度、压差、粒子浓度等参数的实时监控3.5洁净辅助设施施工人员净化通道：流程设计：换鞋→一次更衣→二次更衣→风淋→缓冲→洁净区风淋室参数：喷嘴风速≥25m/s，吹淋时间15-30s可调，双门互锁（联锁延时≥3s）更衣区配置：不锈钢衣柜（每人1个，容积≥0.15m³），洁净工作台4台物料传递系统：传递窗：不锈钢材质（304），尺寸800×800×600mm，配置紫外线杀菌灯（功率30W）气闸室：尺寸3m×2m×2.5m，内维持ISO7级洁净度，设置压差显示装置物料电梯：载重2000kg，内壁不锈钢覆面，配置净化空调系统四、施工质量控制体系4.1质量保证组织架构建立项目经理负责制的三级质量管理体系：决策层：项目经理、技术负责人、质量总监管理层：各专业施工员、质量检查员执行层：施工班组兼职质量员实行质量终身责任制，所有分项工程验收需留存影像资料及责任人签字记录，建立质量追溯档案。4.2关键工序控制点工序名称控制要点检验方法标准要求检验频率彩钢板安装垂直度、接缝严密性靠尺、塞尺垂直度≤2mm/m，缝隙≤0.5mm每50m²/点高效过滤器安装泄漏率、风速均匀性PAO检漏仪、热球风速仪泄漏率≤0.01%，风速偏差≤15%100%检验环氧地面施工表面电阻、平整度阻抗仪、水平仪10⁶-10⁸Ω，平整度≤2mm/2m每200m²/点管道焊接焊口质量、泄漏率内窥镜、氦检仪焊口无氧化，泄漏率≤1×10⁻⁹Pa·m³/s10%抽检4.3过程质量控制措施材料进场检验：彩钢板：每批次检测镀锌层厚度、防火性能（A1级）过滤器：逐台进行效率测试（钠焰法）密封胶：检测邵氏硬度、拉伸强度（≥1.5MPa）施工过程控制：实行样板引路制度，每个分项工程先做样板区（面积≥20m²）特殊工种持证上岗（焊工、电工等需持特种作业证）工序交接实行"三检制"（自检、互检、专检）环境控制：施工区与非施工区设置隔离带进入洁净区施工人员需进行二次更衣施工环境温湿度监控（温度18-28℃，湿度40-70%）五、施工进度计划与管理5.1施工阶段划分准备阶段（第1-4周）：图纸会审、材料采购、施工方案编制结构改造阶段（第5-8周）：墙体拆除、门洞开设、结构加固净化施工阶段（第9-24周）：围护结构、地面、吊顶施工系统安装阶段（第16-30周）：HVAC、电气、管道安装调试阶段（第31-34周）：单机调试、联动调试验收阶段（第35-36周）：性能测试、洁净度检测5.2关键线路控制彩钢板围护结构施工（12周）空气净化系统安装（15周）洁净度调试（4周）采用Project软件进行进度管理，每周召开进度协调会，偏差超过3天及时采取纠偏措施（增加资源投入、调整工序搭接等）。5.3资源配置计划劳动力：高峰期投入施工人员120人（其中技术工人占比≥60%）主要机械：洁净室专用施工设备（无尘打磨机、真空吸尘器等）焊接设备（全自动轨道焊机3台）检测仪器（粒子计数器、风量仪等）材料供应：建立材料储备库（满足7天用量），实行JIT供应模式六、安全生产与文明施工6.1安全管理体系建立安全生产责任制，配备专职安全员3名（持证上岗）编制专项安全施工方案（高空作业、临时用电等）每日开展班前安全技术交底，每周组织安全检查6.2安全防护措施高空作业：设置防护栏杆（高度1.2m），使用防坠器（承重≥15kN）临时用电：采用TN-S系统，配电箱配置漏电保护器（动作电流≤30mA）动火作业：办理动火许可证，配备灭火器材（每50m²配置2具4kg干粉灭火器）交叉作业：设置隔离防护层（采用防火帆布）6.3文明施工措施施工区域划分：材料堆放区、加工区、半成品区明确标识粉尘控制：切割作业配备除尘装置，PM10浓度≤0.5mg/m³噪声控制：昼间≤70dB(A)，夜间≤55dB(A)（采用低噪声设备）废弃物管理：危险废物分类存放（废胶水桶、废过滤材料等）七、调试与验收方案7.1系统调试流程单机调试：空调机组：检查风机转向、皮带张紧度，测定风量（偏差≤10%设计值）FFU：测试风速（0.45±0.05m/s）、振动（≤4.5mm/s）自控系统：传感器校准（精度±0.5℃，±3%RH）联动调试：温湿度控制：连续8小时监测，波动范围符合设计要求压差控制：调整风阀开度，建立稳定压差梯度（5-15Pa）联锁功能：测试风淋室、传递窗互锁功能（响应时间≤1s）洁净度调试：空态测试：粒子计数器扫描（采样量100L/min）静态测试：设备安装完成，人员撤离状态下检测动态测试：模拟生产工况（人员、设备运行）检测7.2验收标准与方法洁净度检测：粒子浓度：按ISO14644-1标准，采用光散射粒子计数器（激光波长650nm）采样点数量：每20-30m²设1个采样点，最少采样点数量≥5个采样时间：每个采样点采样时间≥1min合格标准：所有采样点粒子浓度≤规定限值的80%其他性能检测：沉降菌：培养皿暴露30min，A区≤1CFU/皿，B区≤3CFU/皿照度：使用照度计（精度±5%），距地面0.8m测量噪声：声级计（A计权），测点距地面1.2m振动：测振仪，检测设备基础振动速度（≤4.5mm/s）7.3验收文件准备竣工图纸（含电子版）材料质量证明文件（合格证、检测报告）施工记录（隐蔽工程记录、焊接记录等）检测报告（洁净度、风速、温湿度等）操作手册（含设备维护保养规程）八、售后服务与运维管理8.1质保期服务质保期：整体工程质保2年，其中HVAC系统、洁净室围护结构质保3年响应时间：接到故障通知后2小时内响应，24小时内到场维修定期巡检：每月1次现场巡检，每季度提交运行状况报告8.2运维人员培训培训内容：系统原理、操作维护、故障处理等培训时长：理论培训40学时，实操培训6