防爆装置技术协议

U!I川永祥多晶硅有限企业

四氯化硅冷氢化节能降耗技改项目

安全阀及爆破片

技术协议

买方：四川永祥多晶硅有限企业

签字：

卖方：永一阀门集团有限企业

签字：

二。一四年七月

四川永祥多晶硅有限企业（如下简称买方）与华陆工程式科技有限责任企业（如

下简称设计方），永一阀匚集团有限企业（如下简称卖方），就买方四氯化硅冷氢化节

能降耗技改项目191台安全阀及爆破片的设计、原材料采购、制造、检查验收、包装、

运送等到达如下技术协议c本技术协议作为商务协议的附件，与商务协议具有同等法

律效力。

1总则

1.1本技术附件仅合用于四川永祥多晶硅有限企业四氯化硅冷氢化节能降耗技改项目191

台安全阀及爆破片的订货C

1.2安全阀的设计、原材料采购、制造、检查、试验和交货应严格按照买方提供的安全阀

安全阀及爆破片数据表、有关原则规范和本技术协议进行。

1.3买方及设计方对卖方提供日勺资料确实认，并不能免除或减轻卖方对协议所有条款应负

H勺责任。

1.4卖方应具有对应日勺安全阀的设计、制造资质。

1.5在协议执行过程中，卖方对买方及设计方提供日勺技术文献H勺个别条款存在异议，应事

先向买方及设计方提出，由双方协商处理。

1.6卖方的技术文献的计量单位除温度和压力外均采用SI制。温度采用摄氏度；压力单位

采用MPa。

2制造根据

2.1安全阀及爆破片询价文献

2.2以本技术协议中所引用的有关规范和原则为主，当上述根据中H勺条款发生矛盾时，应

按严者执行。

3卖方供货范围、备品备件及分包商

3.1供货范围

3.1.1安全阀及爆破片的详细供货数量见安全阀清单。

卖方应提供所述设备H勺设计、原材料采购、制造、组装、检（试）验、包装、运送、铭牌

等服务，所有安全阀均应按APT规范设计制造。安全阀进出口均为法兰连接，接口法兰原

则为HG/T20615-2023,法兰密封面的形式应符合安全阀数据表的规定。安全阀与工艺接管

连接的配对法兰（法兰材质人口按阀体材质考虑，出口按碳钢考虑）及附属的垫片、螺母和

螺栓由卖方提供。

3.1.3详细包括：

・卖方应提供整套符合规定的安全阀设备。

・试验汇报或检查汇报

・设备涂漆或包装

•本技术协议规定H勺卖方应当提供H勺技术文献

•其他记录文献及现场服务应包括：

计算书、产品合格证、原材料（阀体、波纹管、阀座、弹簧）等材质单、所有检查和

试验汇报、喷砂和油漆记录、安装操作和维修手册及对买方的现场服务。

注：

（1）卖方设计的安全阀在协议生效后2周内提供2套详细计算成果及图纸报送买方及设计

方确认后，方可进行制造°但买方及设计方确实认与意见并不能减轻卖方所应当承担的责

任。

（2）卖方提供的安全阀供货范围包括卖方对安全阀的设计、制造、运行、交付及性能负

全责。

4执行原则

4.1原则规范

下列原则的最新版本作为安全阀n勺设计、检查、制造的执行原则：

APIRP520炼油厂泄压设备尺寸确定、选型与安装

API526钢制法兰连接泄压阀

API527压力泄放阀内金属密封度

ASTMA216可熔焊高温用碳钢铸件

ASTMA217高温承压零件用马氏体不锈钢和合金钢铸件

ASTMA182高温用锻制或轧制合金银管道法兰及铸造管配件、阀门及零件

ASTMA351承压元件用奥氏体、奥氏体-铁素件（双相）铸件

ASTMA320低温用途合金钢螺栓材料

ASTMA193高温用途合金钢螺栓

ASTMA194高压与高温用途碳钢以及合金钢螺母

NACEMR-0103腐蚀性炼油环境下抗硫化物应力开裂口勺材料

ANSIB16.11锻制承插焊和螺纹管件

API521泄压和降压系统指南

ASMESecV无损检测

ASMEPTC25泄压装置性能试验规范

ASMEVUI压力容器建造规则

TSGZF001-2023安全阀安全技术监察规程

HG/T20615-2023管法兰与法兰管件

ASME/ANSIB16.34阀门面至面与端至端尺寸

ASME/ANSIB46.1表面特性（表而粗糙度、波纹度与加工纹理）

ASME/ANSIPTC25.3性能考核规范：泄压设备术语

ASME锅炉与压力容器规范第一卷动力锅炉规范

4.2文献优先级

在招标与协议执行的过程中，假如安全阀数据表、订单与有关原则等发生矛盾，卖方

应在设计和制造之前向买方及设计方提出澄清申请。在正常状况下，文献的优先执行次序

由高到低为：

・订单

・技术文献（包括本技术协议、SET提供的安全阀安全阀数据表）

・美国国家及行业原则规范

・其他原则

注：1.执行原则与安全质技术条件、本技术协议三者互补，如有矛盾时应按较严者执行。

2.以上原则未注版本均应采用最新版本。

5材料规定

5.1卖方应严格按照华陆工程科技有限责任企业提供的安全阀及爆破片数据表中的有关规

定确定安全阀对应零部件的材质，各个零部件的材质不得低于安全阀数据表的规定。

5.2所有材料应整体表面清洁，没有缺陷、焊渣、电弧冲击、锈蚀、污垢、夹砂、油漆和

其他所有杂质。

5.3所有材料应根据安全阀数据表和合用的材料规范检查。阀体、阀盖、法兰及过流部件

的材料，应根据使用条件和制造规定选用，满足设计工况，并应符合ASTMA182,ASTMA216>

ASTMA217和ASTMA351等日勺规定。

5.4多种材料的安全阀压力一温度等级符合API526的规定。

5.5假如安全阀安全阀数据表注明的材料不能满足设计压力/温度规定，卖方应及时与买方

及设计方协商处理。

5.6奥氏体不锈钢材质的安全阀日勺供货状态为固溶处理状态。

5.7填料和垫片

阀门内垫片H勺选择应符合工艺条件的规定（不得使用含石棉、石墨的垫片）。

5.8所有阀门材料的化学成分和机械性能均符合ASME原则。

6安全阀的设计

6.1一般规定

卖方保证所提供的安全阀满足技术安全阀数据表的规定。

6.1.2卖方提供所有安全阀口勺计算书供买方及设计方确认。

6.1.3对接焊缝（如有）应100%RT检查。

6.1.4法兰密封面,连接件的表面均应100%MT或PT检查。

6.1.5法兰、连接件不容许有返修焊缝，安全阀日勺锻件，至少应为二级。

6.1.6卖方提供日勺最终图纸需设计方及买方确认。

6.1.7检查和试验计划应提交给设计方及买方，以供需要时现场见证。

6.1.8法兰及法兰密封面的形式应符合规格书的规定。

6.2技术规定

6.2.1安全阀应根据ASME第八卷或相称于中国规范的规定进行设计以及制造，并应当符合

华陆工程科技有限责任企业提供日勺安全阀数据表中日勺有关规定。对于液体用途的阀门，除

非安全阀数据表上另有规定，否则ASME规范第八卷也合用。

6.2.2法兰面以及尺寸应符合1笈/1'20615-2023日勺规定。API526容许卖方所设计的进口突

面高度超过HG/T20615-2023所规定H勺公称尺寸。

6.2.3法兰连接日勺一般安全阀、波纹管以及先导式安全阀应符合API526的规定。任何与

API526的偏差应征得买方及设计方承认。

6.2.4根据ANSIB46.1,突面法兰连接阀门端部的垫片接触面日勺Ra（平均粗糙度）应在

125与250AARH（3.2与6.3微米）之间，而环连接法兰阀门的垫片接触面的Ra（平均粗糙

度）应为63AARH（1.6微米）。

6.2.5安全阀上口勺螺栓及螺母材料应符合ASTMA193、A194原则。安全阀螺栓、螺母材料

的规定应适应安全阀所工作的条件，并且应与阀体材料相配。

6.2.6阀盖、阀帽的I材质应与阀体的材质相似或相近。

6.2.7弹簧材料应适合安全阀数据表所规定日勺使用条件，并符合安全阀数据表的规定。

6.2.8水压试验应符合ASME/ANS1B16.34或相称卖方原则日勺规定。阀座密封应符合API527

H勺规定，卖方提供试验汇报。

6.2.9在制造前，卖方H勺计算书应征得买方及设计方承认。弹簧冷压差试验压力应包括在

计算书中。

6.2.10泄压能力以及孔口尺寸应符合ASME第八卷的规定。若ASME不合用，可采用API

RP520原则。

6.3阀门选型

先导式安全阀动作形式规定选用可调整式(Mdulating)o安全阀时选型应严格按照华陆工

程科技有限责任企业提供的安全阀数据表中欧J规定进行选型，假如卖方对个别安全阀欧J选

型存在异议，卖方应与买方及设计方协商处理。

7制造与检、试验

7.1所有阀门法兰密封面均不容许用补焊日勺措施修补缺陷。安全阀出入口法兰应与阀体整

体铸造或铸造。

7.2阀门材料及制造规定

7.2.1阀体锻件应按ASTMA105、A182进行，同步增长如下规定:

A、阀体锻件表面不容许补焊。

B、所有锻件按ASMEV做100陨JT检查。

7.2.2阀体铸件应符合ASTMA216、ASTMA217、ASTMA351的规定，在材料复检时候应

按ASTMA217、ASTMA351原则对铸件化学成分、表而质量进行全面复检，对所有安全阀

日勺锻件进行100%内外MT或PT,锻件应进行机械性能日勺复验。

7.2.3弹簧、导向套、阀瓣、阀座采用耐腐蚀材料制造，导向表面应采用耐磨材料。

7.2.4弹簧进行24小时200℃恒温强压处理，保证弹簧布*稳定日勺刚度和韧性。

7.2.5安全阀H勺阀瓣与阀座密封面应堆焊钻基或银基硬质合金,堆焊时应当焊前预热,焊后

热处理，硬质合金在加工后日勺厚度应符合如下规定：

阀门压力等级不不小于等于300LB（5.OMPa）厚度:3mm

阀门压力等级不小于等于6OOLB（11.MPa）厚度:4-5nim.

碳钢阀体承压部位，考虑腐蚀性介质对阀体的腐蚀作用，阀体的腐蚀余量不低于4mm。

7.2.6除规范或当地主管部门所规定日勺检查外，设备材料、制造与试验还应接受买方检查。

买方实行的检查并不能免除卖方自身所应承担的责任。在具有检查条件时，卖方应提前10

个工作日告知买方，卖方应为买方检查提供工作便利。

7.3卖方必须按照有关H勺原则规范、工程规定和下述规定进行试验和检查。

7.3.1安全阀入口侧应采用规定公称压力1.5倍的试验压力进行试验，以确定铸（锻）件

H勺完整性。

7.3.2安全阀日勺出口侧应采用相称于卖方最大容许背压1.5倍日勺试验压力（试验压力不低

于0.345MPag）进行试验，以确定铸（锻）件的完整性。

7.3.3阀座密封性试验：按APT527进行阀座密封性试验，假如操作压力高于90%整定压力,

则按高者进行密封试验。

7.3.4整定压力测试：每个安全阀都必须进行试验以验证其起跳和整定压力。

7.3.5制造厂在工厂完毕安全阀日勺定压，应当符合ASMEPTC25中的有关规定，并完毕定压

记录资料。

7.3.6有奥氏体不锈钢材质日勺安全阀，强度试验时所用水的氯离子的含量不高于25ppmo

7.4所有•试验文献应得到买方承认。卖方（包括在所有分包商H勺订单）应保证买方检查及

试验规定。

7.5在卖方根据原则程序进行阀门试验H勺过程中，买方可以对每个阀门试验逐一见证。买方

人员也可任意指定阀门进行试验见证，以保证试验符合卖方质控程序的规定。

7.6其他规定不得低于对应原则规定的最低规定。

7.7当完毕上述检查后，应对安全阀所有可调整元件进行铅封。

8监造与验收

8.1产品投料前及生产制造过程中，买方有权（或委托第三方）指派检查人员对产品进行

全过程向监督检查。

8.2卖方应为监造人员日勺工作提供以便，包括提供必要的检测仪器、工具等。

8.3中间及最终验收内容

序号检查内容卖方买方

1材料原厂质量汇报V

材料检查、复验HH

2焊接（如有）

・检查零件硬度V

•焊后消除应力处理V

•焊缝探伤V

•液压强度、气密试验V

3总体尺寸检查V

4安全阀试验

•出、入口液压强度试验HH

•气密试验HH

序号检查内容卖方买方

•安全阀起跳试验HH

•出厂试验，合格后铅封HH

・阀门重要尺寸的检查HH

・阀门密封面平行度或垂直度偏差H勺检查HH

5喷漆V

6钉标牌V

7标识、标牌的外观检查V

8喷漆的I外观检查V

9出厂验收11H

10文献检查V

11产品包装、装箱V

12货运准备日勺外观检查V

13放行HH

注：V—文献检查

H--现场检查

注：卖方应在中标后两周内向买方交设备制造检查计戈九材料复验、性能试验及出

厂验收，告知买方参与验收。所有买方参与的检查项目必须提前至少10天以书面告知买

方检查的I详细时间。检查、试验成果必须经买方同意后才容许进行下一步工作，买方所有

口勺检查验收并不减轻卖方所承担日勺责任。

9铭牌、标示

9.1在阀门法兰上标注：法兰压力等级、规格标识（钢印）。

9.2阀体铸件应有炉批号和阀门压力等级。

9.3阀体上应注明阀体材料

9.4卖方应提供不锈钢材质铭牌。

9.5铭牌座应卸接在阀门上。

9.6不锈钢铭牌应符合MSS-SP-25原则，并标明如下内容：

•制造厂名称或标志

・阀门位号、出厂编号

•阀门型号

・设计温度

•安全阀的整定压力、背压、冷态试验压力

・额定排量系数

10清理、油漆

10.1安全阀制造完毕后，应彻底清理洁净，任何铁屑、焊渣、外部物质、锈皮和油污等均

应清除。

10.2法兰密封面等机加工面应采用合适内防腐措施，并注明防腐剂H勺类型。

10.3安全阀内日勺螺栓和螺母应采用防锈措施。

11包装、运送

11.1安全阀应在试验合格后装运。

11.2每个包装箱上都应标有永久性的标志，其内容应包括协议号、设备位号及设备名称。

11.3在运送过程中，所有裸露日勺法兰面要用带橡胶或塑料垫片日勺盖板保护，盖板应由12mm

厚欧J木夹板或4nmi厚日勺钢板制成，并用50%数量（至少4个）螺栓固定。

11.4安全阀应有可靠日勺装卸、运送的保护措施。安全阀应保证竖直安装、运送，严禁歪斜;

安全阀管口应予以封闭。

11.5装箱单一式两份，一份装入包装箱，一份提供应买方

11.6卖方的交货地点由买方指定，运送方式汽运。

12安装和服务

12.1卖方对买方质量反馈在4小时内予以答复，如有需要48小时内到现场。

12.2在质保期内，卖方负责免费维修更换零件。

12.3卖方向买方免费提供技术支持服务。

12.4卖方应按协议规定派遣专业技术人员到买方现场，指导安装以及调试和运行等技术

征询服务，并应详细简介产品的性能和操作措施。

12.5卖方对所提供阀门的）技术服务、工程服务、技术培训、调试、开箱检查、现场验收、

安装指导及运行等各个环节负有完全责任。

12.6技术服务包括项目服务和现场服务。项目服务包括工厂检查和出厂验收等，现场服务

包括到货开箱检查、使用和维护培训、现场安装指导、联调试运、保运等工作°

12.7卖方应对装置动工后日勺售后技术服务、使用和维修技术征询等提供良好日勺保证。卖方

应保证其指定的技术服务与维修日勺支持部门在接到买方（）后4小时内对买方提出

H勺问题予以答复（或），直到问题处理。必要时应派专业技术人员在48小时内赶到

买方所在地处理。

12.8在阀门安装前、试运行或质保期内，卖方在接到顾客有关阀门需要现场处理问题的正

式告知后3天内，派维修服务人员到现场进行指导安装或维修服务。若3天内未能抵达，

在征得卖方H勺同意后，买方以根据状况先行对阀门进行处理，若7天内仍未明确答复，买

方有权对阀门自行处理，由此产生的后果由卖方承担。

13责任及资料交付

13.1卖方应在中标后2周内将安全阀日勺计算阐明书、外型尺寸、排放反作用力及安全阀重

量提交给买方及设计方。安装详图至少包括安全阀规格、安装尺、」、法兰的规格尺寸。并

应在商务协议生效后H勺2周内提供该项目H勺制造进度表给买方。

13.2卖方提交的所有技术资料包括：所有安全阀日勺合格证（原材料合格证、配套件等外购

件合格证，检查汇报）纸版，1份电子版，1套电子版（按工艺位号分，每套：安全阀外

型图、安装使用、操作、维护阐明书），每套按装置单独装订成册。竣工图应按PDF格式

电子版提供应买方1套。

13.3卖方对产品因制造、材料质量引起的问题承担责任，并负责免费服务直至问题处理。

13.4卖方应交付的文献清单

中间供设计用文献最终交付文献

代

文献名称份数时间份数时间备注

码

纸/电子纸/电子

A01设备制造进度计划4/1中标后2周内提交买方

A02产品质量控制计划（含

4/1中标后3周内提交买方

见证点和停止点表）

A03产品检查计划4/1中标后3周内提交买方

A04提议日勺关键控制点、停

4/141标2周内提交买方

止点表

A05安全阀参数及计算书2/1中标后2周内提交设计方

B01推荐时运送和保留方

4/1运送前一种月提交买方

案

D01原材料、零配件的原

4/1随设备交付提交买方

始质量证明书

D02受压元件材料复验汇

4/1随设备交付提交买方

报

中间供设计用文献最终交付文献

代

文献名称份数时间份数时间备注

码

纸/电子纸/电子

D03热处理汇报4/1随设备交付提交买方

D04硬度检查成果4/1随设备交付提交买方

D05无损检测汇报4/1随设备交付提交买方

E01产品质量证明书4/1随设备交付提交买方

X01设备装配图4/1随设备交付提交买方

X02供货清单及设备，安装

4/1随设备交付提交买方

操作和维修手册

X03气密试验汇报4/1随设备交付提交买方

注：质量证明书至少应包括如下内容:

重要零部件材料的化学成分分析汇报，碳钢材质的零部件不作规定;

无损探伤成果；

产品试验成果；

产品相对于设计文献和图样日勺变更或不符合项汇报。

14性能保证及性能考核

14.1性能保证

14.1.1卖方提供日勺安全阀必须满足安全阀数据表排量、口径、温度、压力、喉径面积

等规定。

14.1.2安全阀应有良好的机械特性,在排放时保证不出现频跳、颤振和卡涩现象。

14.1.3卖方保证设计制造的安全阀尺寸符合买方H勺现场安装规定。

14.1.4卖方保证安全阀不不不小于四年的持续稳定运行周期。

14.1.5安全阀壳体的使用寿命不少于二十年。

14.1.6安全阀的启动压力、排放压力满足APT原则规定。

14.1.7卖方所提供的所有•设备均为未使用日勺原厂产品，且具有ASMEW11认证或中国国

家质量技术监督局的认证，卖方应提供应买方有关资质证明文献。

14.1.8安全阀买方保证能实现如下动作性能：

•整定压力偏差：3%

・超压：W10%、16%（对多阀）或21%（对火灾工况）

・启闭压差：＜7%（对气体）或20%（对液体）

・密封性能：符合APIStd527原则中日勺规定

14.1.9波纹管时使用寿命应不低于5000次。

14.2卖方向买方提供H勺安全阀的质保期为投用后12个月或到货后18个月，在正常操

作条件下设备出现质量问题，卖方应免费维修、更换，并对制造质量负责。

14.3卖方保证所提供安全阀日勺选型、性能和质量日勺完好，所有技术指标到达产品阐明

书、供货协议所制定日勺规定，所有产品必须是全新日勺、未经使用的和专门为本装置设计制

造的。

14.4在保证期内，卖方保证免费更换由产品质量引起发生故障或有缺陷的部件和设

备。用来更换的部件和设备应当是新口勺，更换时间保证在一周内完毕。

15备品备件

无

16分包商清单

序号设翻1细牛产地厂家名称交用也点备注

1铸钢件温州浙江卡达阀门有限企业温州

温州浙江时代铸造有限企业温州

温州永嘉县金鼎泰铸造有限企业温州

温州温州鸿华精密铸造有限企业温州

温州温州宝'业阀门铸造有限企业温州

温州瑞安市万鑫铸造有限企业温州

2锻件温州瑞安市汀田利王冲件机械厂温州

苏州昆山市在市阀门弹簧有限企业温州

3弹簧绍兴浙江英科弹簧有限企业温州

丹东丹东克隆集团有限企业温州

4波纹管上海上海金波弹性元件有限企业温州

沈阳沈阳晨光弗泰波纹管有限企业温州

温州温州龙强紧固件厂温州

5螺栓、螺母绍兴浙江高强度紧固件有限企业温州

17偏离

详见附件技术偏离表

18其他

未尽事宜由买方协商处理，所补充的协议或者往来书面文字材料在双方签字确认后与

本技术协议具有同等的法律效力。

19附件

附件1安全阀供货清单

附件2安全阀选型计算书

附件3安全阀技术偏离表

附件4安全阀数据表

20联络方式

买方：四川永祥多晶硅有限企业

地址：

联络人：

电话：

邮箱：

卖方：永一阀门集团有限企业

地址：浙江省永嘉县瓯北东瓯工业区永一工业圆

邮编：325105

联络人：刘健

电话：

传真：

邮箱:

附件1:

爆破片夹持播

公称爆破压爆破

序工作混

位号通径法兰原则工作介质力Mpa允套数

号度匕型号材料数量型号材料数量

mm（fi）差%

HG/T20615-97

氧气带有YOJA50-

1PS以。刈岫050DN50CLASS150400.4+/・5YF5(M).4e60A316U3I6I.5042

少许硅扬3962

RF

HGfT20615-97

氧气带有YOJA50.

2PSE・0202a,b650DN50CLASS300403.9YC50.3.9-60A316L50422

少许硅酚31(H)

RF

HGrr20615-97氧气和氯

YOJAI5

3PSE-0203a,b0150DN150CLASS9(M)硅灯帝有500-5303.6♦/・5YC1503I00A316L31b2

30-2122

W少许硅酚

HGfT20615-97

飘,带有YOJA50.

4PSE>0204a,b4>50DN50CLASSISO1200.4+/-SYE50-0.4.200A316U316L504

少许硅粉39622

RF

HGAT20615.97氯硅烷带

YOJASO-

5PSE・0205a.b©50DN50CLASS150有少许硅120O.«+/・5YF50-0.8.140A316IJ316L3042

3962

RF盼

P5EOS()2abcd,

PSEOWBabcd,1IG"2O615・97YOJA25-

6025氯硅烷721.2♦/・5VC25-1.2-100.VHC哈氏合金3161,16

PSE0806abed.DN2sISO#RF206816

PSEO807abcd

7压力表组件（一般压力表）30426

增长

HG/T20615-97

PSE9023161，哈氏Y0JA5O

80>50DN50CLASSISO氯建烧550.5+/-SYF50-0.5-1IMA/HC1031&88

01a〜h合金96

RF

压大表组件（一股压力衰）J048

进口

口役压力级压力_L作构图

连接启闭温度材料

序LbMpa«(g>介质长度数

位号型号形式乐背e

号ft

%

DNXdnXN进口出口操作设定冷整定背压陶体俄芯弹簧波收管LLI

SiH2c12、

YFWA42C-150CSiCU、

1PSV080IRF/RF2X32.5X315015004110.17%80WCB3O4L5(K?rVA316L1241361

2J3SiHCI3.H2

气体

SiH2a2、

YFWA42C-150P31-1/2X15.9SOCrVA+

2PSV)802ahcdRF/RF1501500.91.21.2120.17%SICI4.140CF3316L316Lill1244

M/2F2X2PTFE

SiHC】3气体

SiH2c12、

YFWA42C-I50P311/2X15.950CrVA+

3PSV)803abc(iRF/RF150ISO0.91.21.2120.17%SiCM.140(13316L3161.1211244

M/2F2X2PTFE

SiHCI3气体

YFA41C-150C

4PS、0804RF/Rt3/4X9.5X11501500.20.50.5015%循环水39WCIJ304SOCrVA/96921

3/4D1

SiH2a2、

YFWA4Jr.Kn<'

3KF/Kf2XJ2.?X319UU.411U.l7%MJ34MLMK.TVA316L1241361

2J3SiliCI3x112

气体

SIH2a2、

YFWA42C-150C1-1/2X15.9SOCrVA+

6PSV)806abc(lRF/RF1501500.81.21.2120.17%SiCkk140WCB3U4L316L1211244

1-1/2F2X2PTFE

SIHCI3气体

SiH2a2、

YFWA42C-I50C1.1/2X15.9SOCrVA*

7PSV)807abcdRF/RF1501500.81.21.2120.17%SiC14.140WCB34ML316L1211244

M/2F2X2FIFE

SiHCI3气体

YFA4ICI50C'

8PSVOKOSRF/RF3/4X9.5X11501500.20.5Of015%循环水39WCB3045(K：rVA/96921

MD1

YFWA42C-I5O<氟硅烷

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