TCCGA30009电子级混合气体配制技术要求

ICS71.100.20

CCSJ74

CCGA

中国工业气体工业协会团体标准

T/CCGA30009—XXXX

电子级混合气体配制技术要求

Technicalrequirementsforpreparationofelectronicgasesmixture

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

2024-XX-XX发布2024-XX-XX实施

中国工业气体工业协会发布

T/CCGA30009—XXXX

电子级混合气体配制技术要求

1范围

本文件规定了电子级混和气体的配制或生产的基本要求、设备实施要求、技术要求及配制要求。

本文件适用于电子级混和气体的配制或生产。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T4844纯氦、高纯氦和超纯氦

GB/T5099（全部）钢质无缝气瓶

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T11640铝合金无缝气瓶

GB/T15382气瓶阀通用技术要求

GB/T16483化学品安全技术说明书内容和项目顺序

GB/T34525气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定

GB/T34526-2017混合气体气瓶充装规定

GB/T34710混合气体分类

TSG07特种设备生产和充装单位许可规则

TSG23气瓶安全技术规程

T/CCGA10013实验室气体安全导则

T/CCGA20006气瓶安全使用技术规定

T/CCGA90001氧气或富氧场所的火灾危险

T/CCGA90002惰性气体或缺氧场所的危险

3术语和定义

GB/T34710、GB/T34526-2017界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

电子级混合气体electronicgasesmixture

指含有两种或两种以上有效组份，或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的电子级气体。

4基本要求

4.1人员要求

4.1.1所有电子级混和气体配制人员及相关人员均应经培训考核合格，掌握电子级混合气体配制的技

术和安全要求。

4.1.2电子级混和气体配制人员及配制前后检查人员，还应取得特种设备作业人员资格证书。

4.1.3质量安全员、质量安全总监应按要求，经过专业技术培训合格，掌握质量相关法规标准，落实

产品质量安全责任的行为及其监督管理。

4.1.4质量检验员及与充装介质相适应的分析检验人员，应取得相应的质量检验资格证书或能力评价

证书。

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4.2配制机构要求

4.2.1配制机构应满足TSG23、TSG07规定的要求。

4.2.2除一般性气体配制一般性电子级混合气体外，应按TSG07取得充装许可证。

5设备设施要求

5.1电子级混合气体配制机构应具备GB/T34526-2017中7.1要求的设备设施，使用的压力表精度应

不低于2.5级。

5.2电子级混合气体配制系统、气瓶及瓶阀应满足配气的需要，其材质、材料应不与电子级混合气体

中的组分发生任何化学反应，且不影响气体的质量。

5.3氧气及强氧化性原料气及电子级混合气体气瓶的瓶阀，密封材料应采用无油脂的阻燃材料。

5.4可燃性与氧化性，酸性与碱性气体电子级混合气体的配制不宜使用同一个配气装置。

5.5配气装置及相关设备要设置良好的接地保护。

5.6应配有耐高压、耐腐蚀的精密气体过滤器，并不定期对气体过滤器的过滤效果进行评价和测量。

5.7气体储存间以及配制间，应根据原料气、产品混合气体的特性，设置可燃气体、有毒气体或其他

气体浓度检测报警设施，并设有效通风设施。氧化性气体与可燃性气体不应储存在同一房间。

5.8气体分析间的设备设施，应符合T/CCCGA10013的要求。

6技术要求

6.1原料气及产品电子级混合气体气瓶宜经过内壁处理，符合T/CCGA20006的要求，不应采用高分子

材料。

6.2气瓶处理后应经充纯氦气测试，其氧含量、水含量、颗粒度含量均符合要求。

6.3电子级混合气体配制装置的管路宜采用EP（电解研磨）级别，材质应符合5.2的要求。

6.4配气系统应进行正压试验，试验压力为1.5倍工作压力，保压30min，无变形、无泄漏。

6.5配气系统应进行真空氦检漏，抽真空至10-8Pa,充入符合GB/T4844要求的99.99%纯氦检漏，泄漏

率≤1×10-10。

6.6配气系统在氦检漏符合要求后，应分析其氦中杂质，满足水分≤-80℃、氧含量≤1×10-9,颗粒度

≤1EA/ft3(0.1μm)或5EA/ft3(0.05μm)的要求。

6.7有毒和可燃气体的排放，包含分析尾气排放，应经安全处理后，方可排放到大气中。

6.8真空泵宜设置在室外专用厂房内，并保持良好通风。

6.9电子级混合气体应保留原料、生产、销售和检验记录，各记录应符合一致性要求，并按相关要求

建立电子级混合气体气瓶安全追溯体系，保证电子级混合气体质量的可追溯性

7配制要求

7.1应根据电子级混和气体的原料气体、过程气体、产品气体的要求，配置相应的分析仪器。

7.2电子级混合气体配制的作业指导书编制、审批应符合GB/T34526-2017中8.1.2要求。

7.3原料电子气体应经相应的仪器分析，符合作业指导书的要求，不仅要分析原料电子气体浓度，而

且要分析原料气中有害杂质含量。

7.4平衡气或底气，宜按作业指导书要求设终端净化器，并设在线水分、氧等分析仪，随时反映净化

器出口气体关键杂质的含量。

7.5气瓶经烘干抽空，符合作业指导书的要求。

7.6配制前后检查及配制，应按GB/T34526-2017中8.2、8.3、8.4进行。

7.7验证分析时应每瓶按相应电子级混合气体产品标准进行分析，若有任何一项不符合电子级混合气

体产品标准要求，则该瓶气体不合格。验证分析时不仅应分析电子级混合气体组分浓度，而且应分析电

子级混合气体中有害杂质，确保其含量不超标。

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8包装、标志要求

8.1电子级混合气体的包装应符合GB190、TSG23及相关法规的要求。

8.2电子级混合气体气瓶应符合TSG23、T/CCGA20006及GB/T5099（全部）或GB/T11640的规定，

气瓶钢印标志应符合TSG23要求。

8.3电子级混合气体瓶阀应符合GB/T15382的规定。

8.4电子级混合气体气瓶颜色标准应符合GB/T7144的规定。

8.5电子级混合气体使用，应符合GB/T34525、T/CCGA10013、T/CCGA90001、T/CCGA90002的要

求。

8.6电子级混合气体的生产企业应为顾客提供按GB/T16483要求编制的化学品安全技术说明书。

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参考文献

[1]中国工业气体工业协会.中国工业气体大全：第三册.大连：大连理工大学出版社，2008.

[2]市场监管总局办公厅关于加快推进全国气瓶质量安全追溯体系建设的通知（市监特设【2019】69

号）

[3]工业产品销售单位落实质量安全主体责任监督管理规定.（国家市场监督管理总局2023第76

号令）