光电量仪检定与调修 课件全套 任务1-7 立式光学计的检定与调修 -超声波测厚仪的校准与调修

立式光学计的检定与调修01任务背景与目标高端计测需求启动检定任务任务背景某精密制造事业部新引进立式光学计，用于轴类零件外径高精度比对。设备到货后，质量处依据国家规程启动首次检定。任务执行计量工程师老杨编制任务工单，协调恒温实验室，对光学计外观、光学系统、测力、示值等全项目开展验证。任务意义案例凸显高端制造对微米级精度溯源的刚性需求，也带出后续对立式光学计结构原理、检定项目、误差调修及不确定度评定的系统学习。教学目标：懂光路精检会修教学目标本课程聚焦六大成果：熟悉立式光学计光路与结构原理、吃透国家检定规程、掌握全项目检定方法与数据处理方法、了解常见故障成因与调修技能、养成以数据说话一丝不苟的职业素养。02光学计分类与光路原理立式卧式投影光管分辨要点分类光学计按光轴布置分立式和卧式两类，立式适合轴件外径比对，卧式多用于孔径或环规测量；按读数方式分投影式、光管式和数显式。光路原理核心光路为自准直原理：光源经聚光镜照亮分划板，投射到反射镜后返回，与原始像产生位移差，通过目镜刻度读取微米级偏差。自准直光路与零位对准要诀01自准直光路立式光学计采用自准直光路：分划板十字刻线经物镜成平行光射向测量反射镜，镜面前后微位移导致返回像偏移，偏移量与位移成正比，通过鼓轮刻度直接读出微米值。02零位对准零位对准时需调节反射镜俯仰螺钉，使十字像与固定基准线重合，并确保视场亮度均匀。03检定项目与设备全项目性能与标准器匹配检定项目与标准器规程将立式光学计检定格定为：外观、相互作用、光学系统成像、测杆测力、示值变动性、示值误差、回程误差、漂零、稳定度等。配套标准器包括2等或3等量块、0级平板、专用测力计、干涉检查镜、标准反射镜、刚性表架，确保测量不确定度优于被检计允许误差的三分之一，为微米级判定提供法定依据。环境条件与平衡时间控制环境条件检定室内温度20℃±2℃，每小时变化≤0.5℃，相对湿度≤60%RH，光学计与量块同置铸铁平板平衡≥4h，防止热胀冷缩与空气折射率变化引入误差。实验室要求实验室采用双层隔振地基，远离振源与气流，照明采用漫反射无频闪LED，避免强光直射目镜。环境参数实时记录并附于原始记录，满足后续不确定度评定与溯源审查需要，确保光学比较测量数据真实可追溯，为高精度比对提供稳定条件。04核心项目操作要点外观和各部分相互作用外观在仪器的各工作面上不应有锈迹、碰伤、显著划痕以及影响准确度的其他缺陷。学系统成像应清晰，视场内或影屏上的亮度应均匀，应无油迹、灰尘、水渍、霉点、擦痕、麻点以及影响读数的其它缺陷。仪器上应标明制造厂名或厂标、仪器型号及出厂编号和分度值。部分相互作用各活动部分的配合应紧松适度，各活动部分的移动和转动应平稳方便，无跳动或阻滞现象，紧固螺钉作用应切实有效。工作台工作面平面度和可调性01平面度圆形平面工作台和圆形带筋工作台的平面度用直径不小于工作台面的2级平晶以技术光波干涉法检定。方形固定式带筋工作台工作面的平面度用直径为150㎜的2级平晶以技术光波干涉法检定。辅助工作台的平面度用1级刀口直尺以标准光隙比较法检定。筋形工作台和球筋工作台的平面度用直径为60㎜的开槽2级平晶以技术光波干涉法检定。中间筋的平面度用直径为60㎜的1级平晶检定。02可调性在仪器测量杆上安装直径为φ8㎜的平面测帽，在工作台上放置一块（5～10）㎜的4等量块，调整仪器，使测帽与量块接触，并使仪器的示值处于零位或邻近的某值，借助工作台调整螺钉将工作台面调至与测帽测量面平行。用量块的同一部位与平面测帽的四个方位接触，测帽每一方位的接触位置为其直径的四分之一，同时观察示值变化，可调工作台应能方便调整至任意两读数差不大于0.3µm。光管紧固螺钉和刻度尺光管紧固螺钉时所引起的示值变化在测量杆上安装球面测帽，借助光管的凸轮升降机构，使测量头与工作台面接触，并使刻度尺处于某一示值，用紧固螺钉固定光管时，观察刻度尺的示值变化。不大于3.0µm光管刻度尺在目镜视场内的位置当光学计测量杆处于自由状态和压缩至极限位置时，在目镜视场内，应能见到刻度尺的15～25个分度。指标线或刻度尺微调机构的作用01技术要求指标线或刻度尺微动时应平稳，其移动方向应与刻度尺的刻线或指标线无明显不垂直，调节范围不小于20µm。02检定方法使光管测量杆上的球面测帽与工作台面接触，借助仪器的升降机构，使仪器示值处于零位或临近某值。移动指标线或刻度尺，同时观察刻度尺在移动过程中是否平稳，指标线或刻度尺的移动方向是否与刻度尺刻线或指标线垂直。当转动至正负方向极限位置时，记下仪器读数，两读数差值即为调节范围。示值变动性和示值误差示值变动性在测量杆上安装球面测帽，在工作台上放置一块（5～10）㎜的4等量块，调整仪器使球面测帽与量块测量面接触。然后拨动测量杆10次，并记下刻度尺的示值，其中最大值与最小值的差值即为示值变动性。示值变动性的检定，应分别在零位和±90µm位置上进行。要求不超过0.1µm。示值误差用3等量块以“配对法”检定。检定前，在测量杆上安装球面测帽。立式光学计的工作台上安装三珠工作台（或球筋工作台），其中心应处在测量轴线上。受检点应至少分布在±30µm，±60µm和±90µm六个位置上。。05常见故障与调修路线六大故障成因与修理顺序故障与修理顺序立式光学计常见故障按修理顺序分为：光路十字像模糊或偏移、测杆卡滞与径向摆动、测力超差与弹簧疲劳、示值非线性及回程大、漂零漂移超标、反射镜膜层氧化。顺序先光学后机械、先基准后放大、先清洁后调整，避免重复拆装。光路偏移与测杆研磨技巧光路偏移光路十字像偏移先清洁物镜与分划板，用专用调焦筒重新校正焦距，使像面与目镜分划板重合；反射镜俯仰螺钉调整后锁紧并涂防松胶。测杆研磨测杆直线度超差可在车床用红宝石油石打磨，再用铜套缩孔法减小导向间隙至0.005mm，研磨后表面粗糙度Ra≤0.05µm。测力弹簧与示值非线性调修测力弹簧调修测力超差多因弹簧疲劳或杠杆比变化，可更换恒定测力弹簧组并调整杠杆支点位置，使测杆下行力落在0.3–0.8N区间。示值非线性调修示值非线性由光学放大区段误差引起，可微调分划板倾角补偿放大斜率，或更换线性更好的物镜组。06数据处理与证书出具原始记录与不确定度评定原始记录每台光学计赋予唯一编号，按全项目分列实测值、允许值、结论三栏。记录表由检定员、复核员双签字，附环境温湿度与标准器溯源信息。不确定度评定示值误差不确定度分量包括2等量块、检定器分辨力、温度漂移、光学读数重复性、测力变化等，按GUM方法合成，扩展因子k=2。证书出具与周期建议证书出具据《国家计量检定规程》中对各检定项目的要求进行相应的数据处理，并判各项目是否合格。经检定合格的，应填发检定证书；不合格的，发检定结果通知书，注明其不合格项目。周期建议建议检定周期1年，高频率或现场恶劣环境使用可缩至6个月。企业应建立期间核查制度：用50mm量块快速比对零位与50µm点，发现漂移≥允许误差1/3即提前送检。07案例复盘与素养提升任务工单复盘与风险警示任务复盘计量工程师按工单对送检立式光学计实施全项检定，发现十字像偏移0.3格、测力下限0.25N、示值误差在+40µm点+0.6µm超差。风险警示通过重新调焦校正光路、更换测力弹簧、微调分划板倾角补偿，调修后全部复检合格，出具证书并附修理记录。职业素养：数据唯一严谨至上职业素养立式光学计检定与调修的终极产品是信任。每一次十字像判读、每一次测力读数、每一次分划板微调，均向下游磨削、抛光、装配工序传递，最终影响发动机轴径与轴承配合间隙。养成先校标准、后测光学计，先记原始、后出证书的习惯，把一丝不苟内化为职业本能，让数据成为唯一语言。YOUR

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YOU感谢您的观看万能测长仪的校准与调修01任务背景与目标高端量值溯源需求启动校准任务航空精密制造公司需求某航空精密制造公司新购一台万能测长仪，用于发动机叶片榫头量规的微米级长度比对，对高精度长度基准有刚性需求。质量处启动校准流程设备到货后，质量处依据国家规程启动首次校准，计量工程师老周编制任务工单并协调恒温实验室，对仪器外观、主轴系统、测力、示值等全项目开展验证。完整职业场景与能力目标案例凸显高端制造对高精度长度基准的刚性需求，也带出后续对万能测长仪结构原理、校准项目、误差调修及不确定度评定的系统学习，为学员提供完整职业场景与能力目标。教学目标：懂结构精校会修01六大教学成果本课程聚焦六大成果：熟悉万能测长仪测量与结构原理、吃透国家校准规范、掌握全项目校准方法与数据处理方法、了解常见故障成因与调修技能、养成以数据说话一丝不苟的职业素养。02学员能力培养通过任务驱动，使学员能独立完成从设备接收、环境平衡、系统对零、测力校准、示值比对、误差调修到出具校准证书的完整链条，为承担高精度测长仪计量与维修岗位奠定核心能力，并具备现场故障快速诊断与修复能力。02测长仪分类与结构原理万能高精度测长仪结构速览万能测长仪组成部件万能测长仪由基座、主轴箱、尾座、测量主轴、读数显微镜、测力机构、温度传感器组成，测量范围0–500mm，分辨力0.1µm。主轴精度主轴采用空气轴承或密珠轴承，直线度≤0.3µm/100mm，是实现高精度测量的关键部件。读数系统读数显微镜的读数原理是采用光学游标式，确保测量精度。应用范围通过比较法实现内外尺寸、环规、塞规、量块的高精度检定，是长度实验室实现微米级溯源的核心装备，也是现场周期校准与调修的重点对象。阿贝原则与力变形补偿要点01阿贝原则被测工件的被测尺寸是在仪器毫米标准刻度尺的延长线上，因此能保证仪器较高的测量精度，符合阿贝原则，最大限度降低阿贝误差。02力变形补偿带有内置测力传感器的万能测长仪可以实时监测0.2–1.5N接触力，通过软件补偿主轴弹性变形，确保测量精度。03校准项目与设备全项目性能与标准器匹配01校准项目规程将万能测长仪校准定格定为：平面测帽、固定式工作台的平面度、、示值变动性、示值误差、测量重复性、内测尺寸示值误差等。02配套标准器配套标准器包括2等或3等量块、平面平晶、激光干涉仪、环规等，确保测量不确定度优于被检仪允许误差的三分之一。03环境参数记录环境参数实时记录并附于原始记录，满足后续不确定度评定与溯源审查需要，确保激光比较测量数据真实可追溯。环境条件与平衡时间控制校准室温湿度要求校准仪器的室内温度为20±3℃，室温每小时变化不超过0.5℃，被校准仪器在室内平衡温度的时间不少于24ｈ，测长仪和检定用的标准器具的温度差不超过0.5℃。设备平衡时间测长仪与量块同置花岗石平板平衡≥24h，确保设备与标准器温度一致。实验室环境控制实验室采用双层隔振地基，远离振源与气流，照明采用漫反射无频闪LED，避免强光直射读数窗。04核心项目操作要点平面度与示值变动性平面测帽、固定式工作台的平面度平面测帽、固定式工作台的平面度用平晶以光波干涉法测量，测量前，平晶必须至少恒温1h。示值变动性使用平面测帽的示值变动性用标准球校准，校准前在测量(轴)座和尾座测量杆安装平面测帽。使用球面测帽的示值变动性用10mm量块校准，校准前在测量(轴)座和尾座测量杆安装球面测帽。示值误差与测量重复性示值误差检测示值范围≤1100mm的测长仪，选取5个量块，其最小长度为10mm，最大长度不小于示值范围的90%，其余量块的尺寸应使校准点间隔基本均匀。测量(轴)座和尾座测量杆安装球面测帽，设置零位。按校准点选取一组量块，将量块分别安装在工作台上，测量量块长度。每块量块测量3次，记录测长仪示值。示值范围>1100mm的测长仪，还需用激光干涉仪系统进行辅助测量。测量重复性分别取5组示值的极差值除以极差系数为该组示值的实验标准差。内测尺寸示值误差使用小测量钩的内测尺寸示值误差工作台，上安装φ14mm环规。调整工作台找到其示值转折点后读数，重复3次。取下φ14mm环规，换上φ30mm环规。调整工作台找到其示值转折点后读数，重复3次。两只环规的示值之差与实际孔径差的最大值为使用小测量钩的内测尺寸示值误差。使用大测量钩的内测尺寸示值误差作台上安装φ30mm环规。调整工作台找到其示值转折点后读数，重复3次。取下φ30mm环规，换上φ50mm环规。调整工作台找到示值转折点后读数，重复3次。两只环规的示值之差与实际孔径差的最大值为使用大测量钩的内测尺寸示值误差。05常见故障与调修路线六大故障成因与修理顺序常见故障分类万能测长仪常见故障按修理顺序分为：主轴轴承磨损或气浮堵塞、导轨直线度下降、测力弹簧疲劳等六大类。修理顺序顺序先机械后电气、先基准后补偿、先清洁后调整，避免重复拆装，确保调修效率。故障成因理解理解故障成因有助于在校准中快速定位不合格项目，并在调修时优先消除系统性误差源，恢复仪器精度。直线度的修复导轨直线度修复导轨直线度下降可用红宝石油石手工研磨，配合自准直仪监测，局部高点多研，全程直线度恢复至0.3µm/100mm。测量轴移动直线度修复先松开轴承的紧固螺钉，再利用轴承中的偏心轴进行调整。可一边调整一边配合自准直仪监测，直至符合要求，测量轴移动的直线度要求不大于15″。尾管测量杆调整失效与示值不稳定的调修尾管测量杆调整失效与示值不稳定的调修将尾管拆开，并检查测杆1上的四个平面和弹簧2。要求测杆1上的四个平面很光滑，弹簧2应有足够的弹力。轴向弹簧3的质量是极其重要的，它的好坏直接影响此项目。对它的主要要求是：有足够的力量，并且弹簧的轴线与端面应垂直。按上述要求调修好后，仔细地进行装配。光学元件发霉的调修在对光学元件的霉斑或脏点进行清擦时，首先要判断清楚是在哪块分划板和分划板的哪个表面上。可通过上述现象来判断脏物是在物镜上还是在分划板或㎜标尺上，通过测量座的结构原理即可进一步判断脏物是在哪一块光学元件上，这样就可准确的清除掉脏物。06数据处理与证书出具原始记录与不确定度评定01设备编号与记录每台测长仪赋予唯一编号，按全项目分列实测值、允许值、结论三栏，确保记录完整。02不确定度分量示值误差不确定度分量包括1等量块、激光干涉仪分辨力、温度传感器、导轨直线度、测力变化等。03不确定度评定方法按GUM方法合成不确定度，扩展因子k=2，确保数据准确可靠。04记录审核与上传记录表由校准员、复核员双签字，附环境温湿度与标准器溯源信息，满足ISO/IEC17025追溯要求，电子记录实时上传LIMS系统。证书出具与周期建议证书内容经校准的测长仪发给校准证书。校准证书应给出各校准项目的测量结果及示值误差测量结果的扩展不确定度。当用户要求时，可以根据用户提供的计量特性最大允许误差进行符合性判定，并将结论列入校准证书。进行符合性判定应考虑测量结果的扩展不确定度。校准周期建议校准周期1年，高频率或现场恶劣环境使用可缩至6个月，确保设备长期稳定运行。07案例复盘与素养提升任务工单复盘与风险警示01校准任务实施计量工程师按工单对送检万能测长仪实施全项校准，发现主轴直线度0.4µm/100mm、测力下限0.18N、示值误差在200mm点+0.8µm超差。02调修措施通过清洁气浮节流孔、更换测力弹簧、重新拟合温度系数，调修后全部复检合格，出具证书并附修理记录。03复盘价值航空事业部据此恢复叶片榫头量规比对，确保外径过程能力指数提升，体现校准与调修一体化价值。职业素养：数据唯一严谨至上数据重要性万能测长仪校准与调修的终极产品是信任。每一次激光干涉读数、每一次气浮清洁、每一次温度系数重标，均向下游工序传递，最终影响发动机叶片榫头与轮盘配合间隙。职业素养培养养成先校标准、后测测长仪，先记原始、后出证书的习惯，把一丝不苟内化为职业本能，让数据成为唯一语言，是计量人实现自我价值与守护公共安全的核心途径。YOUR

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YOU感谢您的观看万能工具显微镜的检定与调修01任务背景与目标厂区搬迁启动检定任务搬迁背景A单位因厂区扩建及部门调整，将一批万能工具显微镜从检验科搬至质检部，搬运中附件拆卸、重新组装，需全面检定与调修。检定需求质检部联系计量检定所B，要求按规程逐台检定，不合格项目立即修复，确保仪器搬迁后仍达原精度等级。任务意义该场景凸显高精度光学仪器在搬移后的溯源刚性需求，也为后续系统学习万工显结构原理、检定项目与调修技能提供真实任务背景。教学目标：懂光路精检会修知识与技能目标熟悉万能工具显微镜光学与机械结构原理，掌握检定方法与数据处理方法，了解常见故障成因与四大调修技能。素养目标培养以数据说话、一丝不苟的工匠精神，为承担万工显计量与维修岗位奠定核心能力，助力高端制造量值溯源可靠。02仪器认知与光学原理万工显分类与测量范围速览01分类依据万能工具显微镜按测量范围分为小型、大型、万能、重型四类。02承载与附件承载能力与附件数量依次递增，配备测角目镜、轮廓目镜、双像目镜、分度台、分度头、光学定位器、测量刀等。03测量模式实现影像法、轴切法、极坐标等多模式测量，适用于螺纹、凸轮、刀具、锥体、孔间距等复杂参数检测。04应用价值是机械制造与计量室实现微米级万能测量的核心光学装备，也是现场周期检定与调修的重点对象。自准直远心光路与影像轴切法光路组成19JA型万工显采用远心照明与远心物镜系统，光源经聚光镜、可变光阑、滤色片、反射镜、准直镜后均匀照亮工件，物镜将工件影像成像于米字分划板，目镜观测。投影读数纵横向毫米玻璃刻度尺经投影物镜、转像棱镜成像于螺旋线影屏，实现0.001mm读数。测量原理影像法以米字线瞄准工件轮廓，轴切法以测量刀刻线代替轮廓瞄准，精度更高。理解光路组成与瞄准原理是后续检定直线度、垂直度、放大倍数及调修视差、放大率超差的理论基础。03检定项目与设备22项性能与标准器匹配表检定项目检定项目：外观相互作用、工作台平行度、玻璃台平行度、纵横向直线度、垂直度、光轴垂直度、臂架垂直度、读数放大倍数、主显微镜放大倍数、测角目镜十字线平行度、示值误差等。配套标准器配套标准器含1″自准直仪、200mm刀口直角尺、0.001mm测微表、标准玻璃刻度尺、专用量块，确保测量不确定度优于被检仪器允许误差的三分之一。环境条件与24小时平衡控制0102温度要求万能工具显微镜检定要求仪器室温度20℃±1℃，每小时变化≤0.5℃，仪器与标准器具温差≤0.5℃。平衡时间仪器室内平衡时间≥24h，标准器≥4h，防止热胀冷缩与玻璃刻度尺温度梯度引入误差。实验室布局实验室采用双层隔振地基，远离振源与气流，照明采用漫反射无频闪LED，避免强光直射读数窗。04核心项目操作要点外观相互作用与光路清晰度01外观检查在仪器上应注有制造厂名或厂标、出厂编号以及CMC标志。，在各工作面上，应无锈蚀、碰伤、明显划痕及影响使用准确度的缺陷。光学系统的成像应清晰。视场内应无显著的和影响测量的灰尘、水渍、油迹，亮度要均匀。02机械部分附件安装可靠，各活动部分平稳无松动卡住，制动螺钉有效；毫米刻线尺全长清晰无倾斜，读数装置的指标线与微米刻线、0.1毫米刻线和螺旋线应无倾斜和视差。03数显要求数显式计数器和微机数显式计数器应具有清零功能，其最小分辨力应不大于0.5μm，数显式计数器，在移动中不丢数，其示值稳定性4h内，变化量应不大于0.5μm。目力观察与手动试验即可快速完成，是后续精密检定的前提。滑板直线度垂直度直线度检定纵横向滑板直线度用1″自准直仪在水平与垂直两方向全程检定，限值5″以内。将滑板以正反向移动全行程，按自准直仪读数。最大与最小读数的差值即为滑板移动的直线度。根据检定规程要求，纵向和横向滑板移动的直线度，在水平和垂直两个方向上均要检定。垂直度检定垂直度用200mm×100mm刀口直角尺与0.001mm测微表检定，不超过0.003mm/100mm。检定方法调整直角尺使其长工作面平行于纵向滑板移动方向。然后改变测微表的测量方向，使表的测量轴线垂直于直角尺的短工作面。移动横向滑板，观看测微表上的示值变化。对所用直角尺的直角偏差加以修正后，即为纵横向滑板移动的垂直度的测得值。光轴垂直度与放大倍数检定光轴垂直度立柱零位时光轴对工作台面垂直度用组合量块影像法检定：2–3mm量块研合于20–50mm量块，平放工作台，调最小光阑，升降臂架至影像清晰，观察量块两工作面影像同等清晰。放大倍数检定应先使微米刻度示值于零位，移动滑板，使毫米刻度尺的任一毫米线与0.1mm刻度尺零线位置的螺旋线对准，然后观看相邻的一条毫米刻线是否与螺旋线也对准时，转动螺旋线使其对准，并按微米刻度读出其差值。应至少分布于毫米刻度尺5个不同位置上进行。检定意义两项目确保光路与台面几何关系正确及投影读数比例准确，是后续轴切法、测角法精度保障。测角显微镜十字线与滑板移动方向平行度和仪器示值误差01测角显微镜十字线与滑板移动方向平行度测角目镜十字线与滑板移动方向平行度用100mm刀口直角尺检定：调直角尺长边平行纵向，转动十字线水平线与其重合，读测角度盘偏差；短边同理测垂直线，偏差≤1′。02示值误差仪器示值误差用极限误差≤0.5µm玻璃刻度尺在全程正反向行程检定，任意两点最大差值应符合规程公式。主显微镜光轴、立柱回转轴线与顶针轴线相对位置技术要求在左右方向上不大于0.01㎜。在前后方向上不大于0.002㎜。将刻线心轴安装在两顶针之间。当立柱处于零位时，升降主显微镜臂架，直至在主显微镜中见到清晰的刻线心轴的十字线影像为止。移动纵横向滑板，使刻线心轴的十字影像与测角目镜中的十字线相对准之后，按纵横向读数装置读数。将立柱分别向左右侧转12°，移动纵横向滑板，使刻线心轴的十字影像重新与测角目镜中的十字线对准，并按纵横向读数装置读数。立柱处于零位和侧转12°时的读数差即为测得值。05常见故障与调修路线四大故障成因与研磨顺序故障分类万能工具显微镜常见故障按调修顺序分为：纵横向滑板平行度直线度垂直度超差、顶尖重合性超差、立柱光轴不垂直、读数显微镜视差放大率超差。调修顺序顺序先机械基准后光学系统、先导轨后顶尖、先清洁后研磨，避免重复拆装。成因分析理解故障成因有助于在检定中快速定位不合格项目，并在调修时优先消除系统性误差源。调修目标最大限度恢复仪器精度与使用寿命，降低维修成本与停机时间，确保实验室万能测量工作高效运行。滑板导轨研磨与轴承调整技巧平行度研磨滑板平行度超差时，以金属工作台为基准，用小平板研磨器研磨支持导轨，直线度<0.001mm，平行度<0.002mm/200mm。直线度调整直线度超差则检查导向轴承间隙与转动方向一致性，用偏心轴调整轴承高度，使全行程四轴承均匀转动。垂直度修复垂直度超差仅调整纵向右侧导向偏心轴即可，偏差≤6″。三项目修复后需重新检定直线度、平行度、垂直度。顶尖重合性与光轴垂直度修复顶尖重合性顶尖重合性超差时，以内孔为基准车削顶针座外圆并加套精磨，径向跳动<0.002mm，两顶针杆移动100mm重合性≤0.01mm。光轴垂直度光轴不垂直时，调节照明系统反射镜螺钉，使量块两边缘影像同等清晰，左右与前后方向限值分别为0.01mm与0.002mm。读数显微镜视差放大率精校纵向视差纵向视差由毫米刻度尺与螺旋分划板距离变化引起，可松开定位螺母改变镜筒轴向位置。横向视差横向视差多因物镜松动或刻度尺不平行，可转动物镜或调节刻度尺两端螺钉。放大率超差放大率超差则修正机械筒厚或1×物镜轴向位置，误差控制在±0.1%。测角平行度测角十字线平行度超差可松开固定螺钉微调测角目镜定位螺钉，偏差≤1′。06数据处理与证书出具原始记录与不确定度评定记录编号每台万能工具显微镜赋予唯一编号，检定项目分列实测值、允许值、结论三栏。不确定度评定示值误差不确定度分量包括玻璃刻度尺、读数显微镜分辨力、温度漂移、滑板直线度、放大率误差等，按GUM方法合成，扩展因子k=2。记录管理记录表由检定员、复核员双签字，附环境温湿度与标准器溯源信息，满足ISO/IEC17025追溯要求，电子记录实时上传LIMS系统。证书出具与周期建议证书内容经检定符合检定规程要求，应填发检定证书；不符合检定规程要求的应填发检定结果通知书，并进行修理或作其他处理。周期建议建议检定周期1年，高频率或现场恶劣环境使用可缩至6个月。企业应建立期间核查制度，用100mm玻璃刻度尺快速比对零位与100mm点。07案例复盘与素养提升任务工单复盘与风险警示0102复盘过程计量工程师按工单对搬迁后万工显实施全项检定，发现纵向直线度6″、光轴垂直度0.012mm、读数放大率-0.15%超差。调修措施通过研磨支持导轨、调节反射镜定位螺钉、修正机械筒厚，调修后全部复检合格，出具证书并附修理记录。结果应用A单位质检部据此恢复螺纹环规检定，确保螺距测量误差≤1µm，体现检定与调修一体化价值，保障搬迁后量值溯源无缝衔接。职业素养：差之毫厘谬以千里产品影响万能工具显微镜检定与调修的终极产品是信任。每一次导轨研磨、每一次光轴微调、每一次放大率修正，均向下游螺纹、凸轮、刀具测量传递。职业精神养成先校标准、后测万工显，先记原始、后出证书的习惯，把差之毫厘、谬以千里的工匠精神内化为职业本能。行业价值让数据成为唯一语言，是计量人实现自我价值与守护公共安全的核心途径，也是企业质量文化的基石，更是中国制造迈向高精度的基石。YOUR

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YOU感谢您的观看接触式干涉仪的检定与调修01任务背景与目标搬迁启动检定任务学院搬迁背景某学院精测实验室一台接触式干涉仪因教学科研需求，从原址搬迁至工程实训中心。搬迁过程中，仪器的光路、测力、工作台等关键部件可能因位移或应力变化受到影响，导致测量精度下降。主动申请检定为确保仪器搬迁后仍能满足0.01μm级精度要求，实验室主动联系研究所计量站，申请现场检定。这一举措体现了学院对科研与教学质量的严格把控，以及对仪器精度的高度重视。任务背景意义该任务不仅凸显了超精密光学仪器在位移后溯源的刚性需求，还为后续系统学习干涉原理、性能检定与故障调修提供了真实任务背景，有助于学员树立质量意识与工匠精神。教学目标：懂干涉精检会修教学目标概述本课程旨在使学员熟悉接触式干涉仪相干条件与光路原理，掌握国家检定规程，学会检定与数据处理方法，了解常见故障成因及调修技能，培养以数据说话、一丝不苟的工匠精神，为承担亚微米级比较测量与维修岗位奠定核心能力。02原理结构与光路解析相干条件与等厚干涉原理01相干条件接触式干涉仪依赖同一光源分束后满足方向一致、频率相同、相位差恒定的三相干条件，才能形成高对比度等厚干涉条纹。这是仪器能够实现亚微米级测量的基础，也是后续调整光路、判断条纹缺失与成像质量的理论依据。02等厚干涉原理测杆带动反射镜产生轴向位移，光程差随之变化，目镜视场中黑色零级条纹随之平移，其移动量与位移呈线性关系，通过刻度尺直接读出尺寸变化。这一原理确保了仪器能够以高精度测量微小位移。相干条件与等厚干涉原理接触式干涉仪的光学系统等厚干涉条纹示意图03检定项目与设备检定项目与标准器匹配表0102检定项目接触式干涉仪检定项目包括外观相互作用、干涉滤光片特性、工作台平面度、示值误差等。这些项目全面覆盖了仪器的光学、机械和测量性能，确保仪器在各个方面都能满足高精度要求。标准器匹配配套标准器含分光光度计、φ100mm2级平晶、开槽量块等，确保测量不确定度优于被检仪器允许误差的三分之一。这些标准器为纳米级判定提供了法定依据，保证了检定结果的准确性和可靠性。检定周期首次检定全项执行，后续可豁免滤光片、粗糙度等非易失性能，实现风险分级管控。检定周期最长不超过1年，根据实际使用情况确定，以确保仪器始终处于良好的工作状态。环境条件与48小时平衡控制环境条件要求检定要求仪器室温度20℃±1℃，每小时变化≤0.3℃，仪器室内平衡≥48h，标准器≥4h。这些严格的环境条件要求，是为了防止热胀冷缩与空气折射率梯度引入纳米级误差，确保干涉条纹稳定不漂移。实验室环境保障实验室采用双层隔振地基，远离振源与气流，照明采用漫反射无频闪LED，避免强光直射目镜。这些措施为0.01μm级比较测量提供了恒温恒稳条件，保障检定数据真实可追溯。04核心项目操作要点外观各部分相互作用及标识及干涉滤光片外观检查外观检查要求涂镀面平整无斑点，工作面无锈蚀划痕，刻线清晰无断线，视场无油迹灰尘霉点亮度均匀。这些细节检查确保了仪器的物理状态良好，为后续的高精度测量提供了基础保障。干涉滤光片的特性用示值误差不大于1nm的分光光度计或其他仪器进行检定。波长λ=(530-570)nm，一年内最大变化≤3nm，其测量的扩展不确定度不大于2nm(k=2)；半宽度≤9nm；透过率≥20%。工作台平面度与带筋工作台工作台的平面度平面工作台用直径为100mm的2级平晶；带筋工作台、球筋工作台的平面度用直径为60mm的开槽2级平晶(见图4-12)以技术光波干涉法进行检定。中间筋平面度用直径为60mm的1级平晶以技术光波干涉法进行检定。平面度应不大于0.6μm(不允许凹)。中间筋的平面度用平晶研合时，不允许出现干涉色彩。带筋工作台中间筋、球筋工作台测头的高出度用两测量面平行度不大于0.1μm的开槽量块(见图4-13)检定。在测量杆上装上球面测帽，将开槽量块置于仪器工作台上。按图4-14所示的1、2两个位置上检测，2次示值之差即为中间筋或测头的高出度，检定应在中间筋或测头的两边进行。中间筋应比其它筋高出(0.3-0.6)μm，且左右两边等高差应不大于0.1μm。球筋工作台测头应高出筋条(2-3)μm。工作台的可调性及垂直度平面工作台的可调性在仪器的测量杆上安装直径为8mm的平面测帽，用直径为15mm的平行平晶(仪器附件)研合在工作台中央，将平面测帽与平晶相接触。调整工作台的升降螺丝，使测帽与平晶之间的干涉带由窄变宽直至最少为止，此时读得的干涉带条数应不多于一条。平面工作台应能方便地调整至与直径为8mm的平面测帽工作面相平行，其平行度应不大于0.3μm。带筋工作台与测量轴线的垂直度测量杆上装上8mm的刃形测帽。在工作台上放置直径为15mm的平行平晶，并在测帽与平晶之间放置一根直径为1mm的针，针应与测帽的刃长相垂直。滚动三针，读出针位于测帽左右边缘位置时的示值差。然后将测帽转180°重复上述检定，再次读得针位于测帽左右边缘位置时的示值差。两次示值差之和的二分之一即为左右方向的垂直度。工作台工作面的粗糙度及测力工作台工作面的粗糙度表面粗糙度用示值误差不低于7%的表面粗糙度测量仪检定。平面工作台、带筋工作台、球筋工作台工作面的粗糙度Ra应不大于0.012um;辅助工作台工作面的粗糙度Ra应不大于0.025μm。测力及其调整范围将仪器分度值调至0.05μm,用本仪器附件测力装置和砝码进行检定。测量力应为(1.5+0.1)N，调整范围应为(0.75-2.75)N，当分度值为0.05μm时，在整个刻度尺范围内测量力的变化应不大于0.02N。测力径向受力与干涉带质量检定01测量杆径向受力时的示值变化将仪器的分度值调至0.05μm，在球面测帽与工作台之间放置开槽量块，并使示值对在刻度尺的受检位置上。在垂直于测量杆的方向上加2N的力，外力撤去后观察示值变化。检定时应在垂直于测量杆轴线的4个方向，分别在刻度尺-50,0，+50三个分度位置上进行。测量杆在径向受力2N时，示值变化应不大于0.05μm。当外力除去后，示值不复原位应不大于0.02um。02干涉带的成像质量装上球面测帽，使之与工作台面相接触。升降工作台使零级干涉带位于视场中央，观察干涉带的清晰度。然后放上干涉滤光片，观察干涉带的形状。干涉带应清晰，不应有目力可见的弯曲或扇形。零级干涉带移至视场边缘时不准变级(允许目镜跟踪干涉带的移动)。干涉带的宽度和方向应能任意调节，并应切实可靠。干涉带在移动中，其宽度和方向不应有变化。测量重复性与示值误差测量重复性测量重复性用5mm量块在-50、0、+50分度各拨动10次，极差法计算s≤0.007μm。重复性反映了仪器在多次测量中的稳定性，是评估仪器性能的重要指标之一。示值误差分析以2等量块配对法检定。检定工作应在分度值为0.2um，受检点为士50分度时进行。示值误差分析确保了仪器测量结果的准确性，是仪器能否满足要求的关键。05常见故障与调修路线四大故障成因与调修顺序常见故障接触式干涉仪常见故障按调修顺序分为：干涉条纹不清晰、示值不稳定、分划板移动不平衡、摆动反射镜不灵活。这些故障可能影响仪器的测量精度和稳定性，需要及时进行调修。调修顺序调修顺序先光源后光路、先清洁后调整、先机械后光学，避免重复拆装。合理的调修顺序有助于高效解决问题，最大限度恢复仪器精度与使用寿命。条纹不清晰与示值不稳定修复01条纹不清晰修复条纹不清晰多因光源未聚焦、光学零件生霉、分光镜配对超差或物镜成像质量下降，调整聚光镜使灯丝像与光阑重合，拆卸清洗霉斑，必要时更换分光镜组或物镜。这些措施能够有效改善干涉条纹的质量，确保测量信号清晰可靠。02示值不稳定修复示值不稳定常源于工作台毛刺、测杆反射镜松动、弹簧片变形，用油石除毛刺后重新研磨，调整反射镜连接压力并用漆片胶牢，更换簧片组件或重新压紧装配。这些修复方法能够提高仪器的稳定性和可靠性。分划板与反射镜机械精校分划板精校分划板移动不平衡多因导轨磨损间隙大或油脂干固，拆卸后汽油清洗，毛刺用油石打光，压砂平板压光并滴少量钟表油，使移动无扭摆。精确的分划板移动确保了读数的准确性和稳定性。反射镜精校摆动反射镜不灵活源于弹簧片力值不当或装配过紧，拆下检测弹力，重新装配至移动平稳，必要时更换弹簧片，建议专业人员操作。反射镜的稳定性直接影响干涉条纹的清晰度和稳定性。06数据处理与证书出具原始记录与不确定度评定原始记录每台接触式干涉仪赋予唯一编号，检定项目分列实测值、允许值、结论三栏。记录表由检定员、复核员双签字，附环境温湿度与标准器溯源信息，满足ISO/IEC17025追溯要求。完整的原始记录为后续的数据分析和证书出具提供了可靠依据。不确定度评定示值误差不确定度分量包括2等量块、干涉滤光片波长、读数分辨力、温度漂移、重复性等，按GUM方法合成，扩展因子k=2。精确的不确定度评定确保了检定结果的准确性和可靠性。证书出具与周期建议证书出具检定合格出具检定证书，注明示值误差、重复性、干涉带对称性实测值及扩展不确定度；不合格出具通知书并注明不合格项目。证书是仪器性能的权威证明，对用户具有重要意义。周期建议建议检定周期1年，高频率或现场恶劣环境使用可缩至6个月。合理的检定周期有助于及时发现仪器的潜在问题，确保仪器始终处于良好的工作状态。07案例复盘与素养提升任务工单复盘与风险警示任务工单复盘计量工程师按工单对搬迁后干涉仪实施全项检定，发现干涉带轻微弯曲、示值重复性0.009μm、+50分度示值误差+0.018μm超差。通过重新调整光源聚焦、清洗反射镜霉斑、更换疲劳弹簧片、重定分度值k=32，调修后全部复检合格，出具证书并附修理记录。这一案例体现了检定与调修一体化的价值，确保了仪器的性能恢复。YOUR

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YOU感谢您的观看光切显微镜的校准与调修01任务背景与目标搬迁启动校准任务搬迁背景某学院精测实验室的9J型光切显微镜因教学科研需求，从原址搬迁至工程实训中心。搬运过程中，仪器关键部件可能产生位移或应力变化，影响测量精度。校准需求为确保仪器搬迁后仍满足微米级精度要求，实验室主动联系研究所计量站申请现场校准，依据国家校准规范，对仪器进行全面检测与调修。教学目标：懂光切精检会修知识技能目标学员需熟悉光切显微镜的光切法原理与双管成像机制，掌握校准方法，包括测微目镜示值误差、狭缝像直线度平行度、工作台平行度等，以及数据处理流程。职业素养目标培养学员以数据说话、一丝不苟的工匠精神，使其能独立完成从设备接收、环境平衡、光带找像到出具校准证书的完整链条，为表面粗糙度计量与维修岗位奠定核心能力。02原理结构与光路解析光切法原理与双管成像机制光切法原理光切法利用45°角投射的狭窄光带切割被测表面，从垂直方向观察反射光带在峰谷间的位移，将微观不平度放大为可测像高，实现微米级表面粗糙度测量。双管结构9J型光切显微镜采用双管结构，照明管经弯曲狭缝、物镜在表面形成平直绿色光带；观察管通过物镜、反射镜将光带像成像于测微目镜分划板，实现高倍率放大。放大倍数与分度值仪器配备7×、14×、30×、60×四组物镜，对应分度值0.145~1.25μm/格，可根据被测表面粗糙度选择合适物镜，满足不同精度测量需求。弯曲狭缝与场曲补偿光路解析弯曲狭缝设计为补偿照明与观察物镜的场曲，照明管狭缝被设计成曲率半径12.5mm的圆弧，经物镜投射后在工件表面形成平直亮带，提高成像质量。光路补偿机制系统通过平行平板、转向棱镜、辅助物镜实现光路折叠与方向转换，减少像差，使目镜视场中狭缝像中部平直、两端喇叭口最小化，保障光切轮廓像高保真放大。03校准项目与设备校准项目与标准器匹配表校准项目光切显微镜校准涵盖7项性能：测微目镜示值误差、狭缝像边缘直线度和平行度、工作台纵横向导轨平行度、狭缝像垂直弯曲度、托架20N侧向力位移、仪器示值误差等。标准器匹配配套标准器包括万能工具显微镜、五等量块、0.001mm千分表、专用表架、0.01mm线纹尺、单刻线样板或阶梯量块组，确保测量不确定度优于被检仪器允许误差的三分之一。环境条件与4小时平衡控制01环境要求校准温度20℃±5℃，湿度≤70%RH，室内无灰尘、振动、噪音、气流、腐蚀性气体和强磁场，为仪器提供稳定测量环境。02平衡时间被校仪器与标准器需在室内连续平衡≥4h，防止热胀冷缩与空气折射率变化引入微米级误差，保障校准精度。03实验室配置实验室采用防振台、隔光帘、稳压电源，避免强光直射狭缝像，实时记录环境参数并附于原始记录，满足溯源审查要求。04核心项目操作要点测微目镜示值误差01技术要求测微目镜鼓轮指示零位时，测微目镜分划板的毫米刻线应套在双刻线指标内。在仪器视场中，狭缝像与被测物的像应能同时调节清晰，并处于视场中央，其清晰度范围不应小于60%视场直径范围;在目镜视场中观察线纹尺的像应平行而对称，不应有明显偏斜或扇形。测微目镜鼓轮在任意一周内的示值误差不超过0.005mm，在全量程内示值误差不超过0.01mm。02校准方法旋转测微鼓轮指示零位时，观察测微目镜分划板的套线情况。观察成像质量是在仪器工作台上放置分度值为0.01mm的线纹尺，更换四组不同倍数物镜时，调节显微镜调焦机构，在目镜视场中观察狭缝像和线纹尺像的情况。将测微目镜从仪器上取下，旋出它的目镜头，把它安装在万能工具显微镜的工作台上校准测微目镜的示值误差。狭缝像两边缘的直线度和平行度技术要求狭缝像边缘应平直，不应有目力可见的弯曲和缺口。狭缝像两边缘的平行度在目镜视场中不超过0.03mm。校准方法校准时，使用7x物镜。校准狭缝像轮廓边缘的直线度时，在工作台上放一块五等量块，使测微目镜中的水平线与狭缝像两个边缘依次重合时，不允许有目力可见的弯曲度和缺口。校准平行度时，使水平线与视场右端狭缝像的一个边缘重合，并在测微鼓轮上进行读数计算。工作台纵横向导轨移动平面对工作台表面的平行度技术要求平面工作台工作表面，在工作台整个工作行程中任意3mm内的平行度不超过0.002mm。v形块的v形槽工作表面，在工作台整个工作行程内的平行度不超过0.005mm。校准方法在仪器的立柱上装一分度值为0.001mm的测微表，并使测微表的测量头与平面工作台的一端相接触，在纵横向上分别移动工作台时，观察测微表的示值变化。然后将V形块安放在平面工作台上，并将校准用圆柱(圆柱度在50mm长度上不大于0.002mm)放在V形槽内。同样使测微表的测量头与圆柱最高点母线相接触，移动工作台时，观察测微表的示值变化。测微表的示值变化即为平行度。狭缝像在垂直方向的弯曲度01技术要求在使用60x物镜时，不超过0.007mm，在使用30x物镜时，不超过0.011mm。02校准方法在工作台上放一量块，调节仪器使在测微目镜视场中部呈现清晰的狭缝像。然后在仪器的立柱上装夹一千分表，使其测量头与仪器托架相接触。再次调节测微目镜视场中部呈现清晰的狭缝像，读出千分表的读数a1,。再转动微调机构分别调节狭缝像左、右二端清晰，读出千分表的读数a2，a3。a2和a3分别与a1的差值即为狭缝像在垂直方向上左、右二端的弯曲度。托架受20N侧向力时引起物方像的位移技术要求托架受20N侧向力时引起物方像的位移不超过0.05mm。当外力去除后，物方像不返回原位的位移不超过0.03mm。校准方法在仪器工作台上放置分度值为0.01mm的线纹尺，调节测微目镜使测微目镜十字线的垂直线与线纹尺的刻线平行。然后将测微目镜十字线的垂直线对准线纹尺的任一刻线，当在仪器托架下端两侧用测力计分别施加20N压力时，读出物方像的位移。示值误差01技术要求使用不同放大倍数物镜时，仪器允许的相对示值误差列于表5-4。02校准方法在测量样板的刻线深度H时应进行三次调焦，各次调焦要进行三次读数，样板的刻线深度取9次测得深度的平均值，然后带公式计算。05常见故障与调修路线三大故障成因与调修顺序故障一：光带不清晰成因是物镜倍数过大致景深不足或细调未到位。调修方法是按被测粗糙度选择7×~60×物镜，先粗调后细调，使狭缝像边缘清晰。故障二：光带移动源于调焦齿轮齿条自锁失效，使光管缓慢下沉。调修需将两调焦手轮反向拧紧，恢复锁紧力矩，防止焦距漂移。故障三：十字线不平行测微目镜十字线水平线与光带不平行时，松开目镜紧固螺钉，旋转目镜使水平线位于光带中央且与狭缝像长边趋势平行，再锁紧螺钉。光带清晰度与移动性机械精校清晰度调修光带不清晰时，根据被测表面粗糙度选择合适物镜，先进行粗调，再进行细调，直至狭缝像边缘清晰，为后续粗糙度测量提供清晰轮廓像。移动性调修光带移动时，需将两个调焦手轮向相反方向拧紧，恢复齿轮齿条的自锁性能，防止光管下沉导致焦距漂移，确保光带位置稳定。目镜十字线平行度快速校正平行度校正测微目镜十字线水平线与光带不平行时，松开目镜紧固螺钉，旋转目镜使水平线位于光带中央且与狭缝像长边趋势平行，再锁紧螺钉，确保读数基准与光带几何方向一致。06数据处理与证书出具原始记录与不确定度评定记录编号每台光切显微镜赋予唯一编号，校准项目分列实测值、允许值、结论三栏，确保数据可追溯。不确定度评定示值误差不确定度分量包括单刻线样板、测微目镜分辨力、调焦重复性、温度漂移、侧向力位移等，按GUM方法合成，扩展因子k=2。记录规范记录表由校准员、复核员双签字，附环境温湿度与标准器溯源信息，满足ISO/IEC17025追溯要求，电子记录实时上传LIMS系统。证书出具与周期建议证书内容校准合格出具校准证书，注明各物镜分度值c、示值误差、狭缝像平行度实测值及扩展不确定度；不合格出具通知书并注明不合格项目。复校周期建议复校时间间隔不超过2年，高频率或现场恶劣环境使用可缩至1年。企业应建立期间核查制度，快速比对常用物镜示值误差，提前送校。07案例复盘与素养提升任务工单复盘与风险警示01复盘案例计量工程师按工单对搬迁后光切显微镜实施全项校准，发现测微目镜示值误差0.012mm、狭缝像平行度0.04mm、60×物镜示值误差-22%超差。02调修与结果通过重新万能比对目镜、旋转锁紧调焦手轮、校正十字线平行度，调修后全部复检合格，出具证书并附修理记录，确保仪器恢复教学使用。YOUR

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YOU感谢您的观看激光测径仪的校准与调修01任务背景与目标搬迁启动校准任务搬迁背景与校准需求某学院精测实验室一台激光测径仪因教学科研需求从原址搬迁至工程实训中心。搬运过程可能影响测量精度。为确保仪器搬迁后仍满足微米级外径测量精度要求，实验室主动联系研究所计量站申请现场校准。教学目标：懂激光精校会修01教学目标一：原理与规范熟悉激光测径仪工作原理，吃透国家校准规范，掌握校准方法与数据处理方法。02教学目标二：故障与调修了解常见故障成因与调修技能，养成以数据说话、一丝不苟的工匠精神。通过任务驱动，使学员能独立完成从设备接收、环境平衡到出具校准证书的完整链条。02原理结构与光路解析激光测径仪工作原理原理概述激光测径仪采用旋转扫描三角测量原理：半导体激光器发出准直光束经多面扫描镜反射，形成高速扫描光幕，被测工件遮挡后产生阴影边界，线阵CCD接收散射与透射光强分布，通过几何三角关系计算遮挡时间，结合扫描角速度得出工件直径。性能优势测量范围0.1–100mm，分辨力0.1μm，扫描频率高达2kHz，适用于高速在线外径检测。主要用于测量针规、塞规等棒状的精密标准量具或工件的直径和圆跳动，也可用于对易碎、易变形、热的、洁净的零件进行非接触测量。03校准项目与设备校准项目与标准器匹配表01校准项目激光测径仪校准项目：示值误差、重复性、稳定性、自校准用标准规。02配套标准器标准规、量块、接触式干涉仪、光学计、测长机等。环境条件与4小时平衡控制环境要求校准室内温度为（20±2）℃，

温度变化不大于1℃/h，相对湿度不大于75%。被校准仪器与校准用标准器在室内平衡温度时间不少于2h。实验室保障实验室采用防振台、隔光帘、稳压电源，避免强光直射激光窗口。04核心项目操作要点示值误差技术要求仪器示值的最大允许误差及自校准用标准规的技术要求见表6-2。校准方法校准时在仪器测量范围内选取大致均匀分布的5个点作为测量点(含最接近测量范围上、下限的点)，选取相应直径和准确度的标准规依次进行测量。每个测量点在标准规横截面均匀分布的3个位置进行测量，以3次测量的平均值作为该点的测量值di(i=l，2，3，...)，其示值误差δi为仪器测量平均值di;与标准规实际值Di之差。重复性与稳定性重复性示值重复性不超过仪器示值最大允许误差绝对值的1/3。用标准规测量，选择尺寸接近仪器测量范围1/2的标准规对仪器进行9次重复测量，取9次测量的最大值与最小值之差的1/3作为校准结果。稳定性对于非连续测量的，稳定性不超过仪器示值最大允许误差绝对值的1/2，连续测量的则不超过仪器示值最大允许误差的绝对值。仪器开机预热0.5h后，用标准规进行测量，对于非连续测量仪器，在4min内每隔1min观测一次;对于连续测量仪器，在1h内每隔15min观测一次，每次观测值与起始读数值差值的最大值作为校准结果。自校准用标准规01技术要求自校准用标准规的直径测量结果不确定度和直径变动量见表6-2。02校准方法对于测量不确定度要求不大于0.3μm的可选用接触式干涉仪和2等量块以比较法测量;对于测量不确定度要求在(0.3~0.8)μm的可选用光学计和3等量块以比较法测量;对于测量不确定度要求大于0.8μm的可选用测长机进行直接测量。在标准规中心距两端各1/3的长度范围内选取测量部位，并在两相互垂直的方向进行测量。必要时也可增加测量位置。05常见故障与调修路线四大故障成因与调修顺序常见故障激光测径仪常见故障按调修顺序分为：激光功率下降、扫描信号抖动、光轴偏移、软件系数失效。调修顺序顺序先光源后电路、先机械后算法、先清洁后调整，避免重复拆装。激光功率与信号抖动精修激光功率下降激光功率下降多因LD老化或驱动电流漂移，用功率计监测，低于标称80%时更换激光器模块，重写电流校准值。扫描信号抖动扫描信号抖动源于电机轴承磨损或编码器污染，拆下扫描镜组，清洁编码盘，更换轴承并重新润滑，重新紧固联轴器，确保角抖动≤0.01°。光轴偏移与软件系数重校光轴偏移光轴偏移多由搬运冲击或支架松动引起，用对中镜重新校正激光束与接收透镜同轴，X-Y位移≤0.05mm，角度≤0.03°，紧固支架并加防松胶。软件系数失效软件系数失效表现为线性误差突增，重新导入最新温度-线性补偿表，用标准棒全量程验证，误差由±1μm降至±0.3μm以内。06数据处理与证书出具原始记录与不确定度评定01记录要求每台激光测径仪赋予唯一编号，校准项目分列实测值、允许值、结论三栏。不确定度按GUM方法合成，扩展因子k=2。02溯源要求记录表由校准员、复核员双签字，附环境温湿度与标准器溯源信息，电子记录实时上传LIMS系统，防止纸质涂改风险。证书出具与周期建议证书内容出具校准证书，注明实测值及扩展不确定度。复校周期建议复校时间间隔不超过1年，高频率或现场恶劣环境使用可缩至6个月。07案例复盘与素养提升任务工单复盘与风险警示复盘案例计量工程师按工单对搬迁后激光测径仪实施全项校准，发现激光功率下降至标称值75%、10mm点线性误差+0.8μm、温度系数0.08μm/℃超差。调修成果通过更换激光器模块、重新导入补偿系数、紧固扫描镜支架，调修后全部复检合格，出具证书并附修理记录。职业素养：差之毫厘谬以千里职业素养激光测径仪校准与调修的终极产品是信任。每一次功率读数、每一次光轴校正、每一次系