某仪器仪表厂光学元件清洁规范

某仪器仪表厂光学元件清洁规范第一章总则第一条为规范某仪器仪表厂光学元件清洁操作流程，保障光学元件表面质量与性能稳定性，提升产品可靠性及客户满意度，结合行业标准（GB/T26332.1-2010《光学和光子学光学元件和系统制图规范第1部分：总则》、GB/T1185-2006《光学零件表面疵病》）及企业实际生产需求，制定本规范。第二条本规范适用于厂内所有精密光学元件（包括但不限于透镜、棱镜、反射镜、滤光片、光栅等）的生产加工、装配调试及售后维护环节中的清洁作业。第三条光学元件清洁是确保仪器仪表光学系统成像质量、测量精度及长期稳定性的关键环节。各部门须严格执行本规范，强化过程管控，推动企业向高精度、高可靠性仪器仪表制造领域持续发展。第二章职责分工第四条生产部：负责光学元件清洁操作的具体实施，确保作业人员按规范完成清洁、记录及异常上报；定期组织操作培训，提升员工技能水平。第五条质量检验部：负责清洁后光学元件的质量检测与判定，监督清洁过程合规性；对不合格品提出处理意见并跟踪整改。第六条技术研发部：根据光学元件材质（如玻璃、晶体、镀膜材料等）及工艺要求，制定差异化清洁方案；提供技术支持，解决清洁过程中出现的技术难题。第七条仓储与物资管理部：负责清洁工具、溶剂等物料的采购、存储与发放，确保物料符合质量标准（如溶剂纯度≥99.9%）；定期检查库存物料有效期，避免过期使用。第三章清洁环境与人员要求第八条清洁作业应在万级洁净室（或局部百级洁净工作台）内进行，环境温度控制在20±2℃，相对湿度40%-60%RH，避免温湿度波动导致元件表面结露或静电吸附颗粒。第九条洁净室内需定期进行尘埃粒子检测（每季度委托第三方检测），确保≥0.5μm粒子数≤352000个/m³，≥5μm粒子数≤2000个/m³；每日作业前开启空气净化系统至少30分钟，作业中保持正压状态。第十条作业人员要求：（一）需穿戴防静电洁净服、无粉丁腈手套（或棉质手套）、鞋套及口罩，避免皮肤直接接触元件表面；（二）操作前需用去离子水洗手并烘干，禁止涂抹护手霜等油性物质；（三）新员工上岗前须通过清洁操作培训及考核（理论+实操），考核合格后方可独立作业；（四）患有呼吸道疾病、皮肤过敏或手部破损者，暂停参与清洁作业。第四章清洁工具与材料管理第十一条清洁工具分类及要求：（一）擦拭工具：采用低发尘、无纤维脱落的超细纤维无尘布（等级≥Class100）或光学级棉签（材质为脱脂棉+竹/塑料杆），禁止使用普通纸巾、纱布等易残留纤维的材料；（二）辅助工具：高压氮气枪（或空气压缩机+高效过滤器），用于吹除元件表面大颗粒污染物，气源需经除油、除水、除尘处理，压力控制在0.1-0.2MPa，避免气流过大损伤元件；（三）检测工具：白光检查灯（照度≥1000lx）、体视显微镜（放大倍数10-50倍）、激光粒子计数器（用于定量检测表面残留颗粒）。第十二条清洁溶剂选择：（一）优先使用高纯度有机溶剂，如无水乙醇（纯度≥99.9%）、异丙醇（纯度≥99.7%）或光学元件专用清洁剂（需通过材料兼容性测试）；（二）溶剂需存储于棕色玻璃或耐溶剂塑料瓶中，密封保存，避免吸潮或污染；（三）同一溶剂连续使用不超过4小时，超过时限需更换新溶剂，防止溶剂中污染物浓度过高。第五章清洁操作流程第一节清洁前准备第十三条元件确认：作业前需核对元件型号、批次及工艺要求（如是否镀膜、是否有胶层等），确认无误后登记《光学元件清洁记录表》（见附件1）。第十四条表面初检：使用白光检查灯45°角照射元件表面，观察是否有明显划痕、崩边或大面积污渍；若发现严重缺陷（如划痕宽度＞0.1mm），需立即上报质检部处理，禁止强行清洁。第十五条工具与溶剂检查：确认无尘布、棉签无破损，溶剂无浑浊或沉淀；氮气枪管道无堵塞，气压符合要求。第二节预处理（去除大颗粒污染物）第十六条手持元件边缘（非光学面），将光学面倾斜30°-45°，用氮气枪从元件上方10-15cm处沿同一方向匀速吹扫（距离由远及近），直至无可见颗粒脱落；吹扫时禁止枪口正对同一位置超过2秒，避免局部压力过大。第十七条若元件表面有明显油污或指纹，先用干燥无尘布轻触擦拭（力度以不留下布纹为准），去除大部分污染物；若油污顽固，可蘸取少量溶剂（约0.1ml）在无尘布角落预擦拭，确认无腐蚀后再正式清洁。第三节精细清洁第十八条溶剂浸润：将无尘布折叠成4层（约2cm×2cm），蘸取溶剂至微湿（以不滴落为限）；若使用棉签，需将棉签头浸入溶剂1-2秒，轻挤去除多余溶剂。第十九条擦拭方法：（一）平面元件：从中心向边缘单向直线擦拭（避免环形擦拭导致污染物聚集），每次擦拭覆盖1/3-1/2元件面积，更换无尘布新区域后重复，直至整个表面清洁；（二）曲面元件（如球面透镜）：沿母线方向单向擦拭，或采用“米”字形路径，避免在同一位置反复摩擦；（三）镀膜元件：使用棉签蘸溶剂轻拭边缘污染区域，禁止用无尘布直接擦拭镀膜面，防止膜层脱落；（四）光栅、滤光片等精密元件：仅用氮气枪吹扫，禁止接触式擦拭，特殊情况需经技术部审批后使用专用软毛刷轻扫。第二十条单次清洁时间控制在3-5分钟，避免溶剂挥发过慢导致残留；若一次清洁未达标，需间隔10分钟待溶剂完全挥发后再进行二次清洁。第四节干燥与检查第二十一条自然干燥：清洁后将元件放置于洁净托盘中，在洁净室内静置5-10分钟，或用氮气枪低速吹扫（压力≤0.1MPa）加速溶剂挥发，禁止用热风枪或烘箱烘干，防止热应力导致元件变形。第二十二条清洁效果检查：（一）目检：在白光检查灯下，以45°角观察元件表面，应无可见颗粒、指纹、水痕或纤维残留；（二）镜检：使用体视显微镜（20倍）观察，每平方厘米内≥5μm的颗粒数≤3个，≥10μm的颗粒数≤1个；（三）定量检测（关键元件）：使用激光粒子计数器扫描表面，0.5-5μm颗粒数≤100个/cm²，＞5μm颗粒数≤5个/cm²。第二十三条检查合格后，在元件非光学面标记清洁标识（如“C-20240601-01”，表示2024年6月1日第01次清洁），并填写《光学元件清洁记录表》；不合格元件需重新清洁或隔离存放，由技术部分析原因并制定改进措施。第六章安全与环保要求第二十四条溶剂使用安全：（一）清洁溶剂属易燃品，作业区域需配备灭火器（干粉或二氧化碳型），禁止明火及吸烟；（二）溶剂使用量每次不超过500ml，未用完的溶剂需密封后放回防爆柜，禁止敞口放置；（三）作业人员若接触溶剂，需立即用大量清水冲洗，若出现皮肤红肿或吸入不适，应及时就医。第二十五条废弃物处理：（一）使用后的无尘布、棉签等固体废弃物需分类收集，存入专用密封袋，委托有资质的环保公司处理；（二）废溶剂需存入防泄漏容器，标注成分及日期，由专业机构回收，禁止随意倾倒。第七章附则第二十六条本规范由厂行政部负责解释，技术部、生产部、质检部协同修订。