ebsd晶体学与材料学的应用

ebsd晶体学与材料学的应用

自电子背散射衍射技术（ebsd技术）的商业化以来已经16年，被称为不新技术。作为一

种标准的分析仪，它可以与能谱仪相配合，同时完成材料的微观形状、组成、结构和方向

信息的测量。与透射电镜上的结构与取向分析相比，EBSD技术是更简单的衍射分析技术。

我国目前已有超过100套的EBSD装置，许多单位已有3套或更多。除高校及研究院外，

钢铁企'巾是EBSD技术主要用户.EBSD技术新的发展趋势是：扫描电镜附件的复合化，即以

扫描电镜镜筒为基础，集（1）扫描、透射分析、（2）样品加工、（3）拉压、加热试验

等于一体的多功能化;在扫描电镜内完成材料精细加工或制备，实现对材料的形貌、结构

与取向、成分的3维分析，将国际材料的织构会议与国际材料分析电镜会议相比，前一会

议中使用EBSD技术的文章更多。例如，2005年在比利时鲁汶大学召开的第14届国际织构

大会上，有约34%的文章涉及EBSD技术;在2008年美国卡涅基-梅隆大学召开的第15届国

际织构会议上，有约40%的文章涉及EBSD技术，特别是3维取向成像专题会占1天半，虽

然使用者还不够广泛，但层次很深。我国EBSD技术的应用情况不理想，在国际会议上所

占比重始终很小。

1ebsd的对称理论

晶体学是研究晶体的结构、外形及性能的学科。它的范围很宽，包含：（1）晶体几何学；

（2）晶体结构学；（3）晶体生成学；（4）晶体物理学；（5）晶体化学。这些研究涉及到分

子生物、固体物理、金属学、矿物学及聚合物等广泛领域。研究晶体结构可用各种衍射方

法，也可用计算数学方法、对称性理论方法。即，狭义地讲，EBSD技术是用衍射方法研究

晶体学问题;广义地看，钎对己有的EBSD数据，还可用如计算数学或对称性理论进一步分

析晶体学问题。

晶体学是材料科学的重要组成部分，是材料制备加工中必然反映出来的一个方面;材料性

能的优化是材料工作者的目标，而晶体学变化不但必然存在于材料制备过程中，也必然影

响材料的性能

EBSD技术是扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发出的衍射菊池带的分析确定晶体结构、

取向及相关信息的方法，它与透射电镜卜的衍射菊池带的分析没有本质的差别。.与衍射点

（倒易点阵）相比，衍射带更直接显示实际晶面的几何位置。一个菊池带直接对应放大的

晶面在屏幕上的投影，而电子衍射图要通过倒易点阵的原理确定实际晶面的位置。电子衍

射图只是二维信息，并受180。不确定性的影响，菊池花样显示3维晶面的投影，具有唯

一性。EBSD软件的帮助还可使研究者很便利地得到从不同方向观察某一种取向关系。

图1是Zeiss公司生产的NVision40系统示意图

2织构是晶体学的一部分

EBSD技术在我国的应用推广上一直受到较大的障碍，其主要原因可能有如下几方面：：)初

次使用者对相关的晶体学知识认识不够，如取向的概念、晶体投影、对称性、极图;2)对

材料科学中晶体学的作用认识不够，如不清楚材料制备过程中，哪些晶体学信息在变化?3)

对EBSD技术表达数据的方式，设计样品坐标系的认识不够;透射电镜研究者不习惯，也可

能用不上样品坐标系;4)在《材料分析方法》中对EBSD技术介绍的不够。现在的问题不

是EBSD技术是什么？如何进行EBSD技术测试?而主要是如何分析EBSD数据？如何用EBSD

技术揭示及解决自己遇到的问题?作者根据实际经验讨论如下。

(1)教材。既然EBSD是一种简单的衍射分析方法，为什么中文“材料分析方法”教科书

中很少有相关介绍。笔者认为，相关授课教师或教材编者可能只用TEM和X射线研究晶体

结构，不了解EBSD技术，在编书中也就忽略了这一方面。

(2)观念上的认识。一些人总认为EBSD只是搞织构的人才用的上。其实，织构是晶体学

的一部分，织构的含义是多晶中晶体取向的几何分布(或择优)，它还包括界面的取向分

布、两相取向关系、相界面结构、惯习面、变体选择等都不是织构，但都是晶体学问题，

都可用EBSD技术研究。

(3)晶体学基础。用TEM和X射线研究晶体结构的学者可能主要与晶体坐标系打交道，

样品坐标系用处不大;研究断裂的人也只关心从哪个晶体学面断裂，而不太关心该解理面

与样品坐标系的轧面、轧句成什么角度；同样一个(11D晶面，平行、垂直或倾转与拉伸

轴时表现并不相同。而EESD的任何数据都以与外界坐标系有关的取向方式给出，这使有

些人不习惯，从而回避。仅知道晶体本身的｛11D面还不行，还要确定该面相对外界坐标

系的关系，这是晶体取向的概念。

(4)坐标系的概念及矩阵的作用。1)受力分析，坐标变换;2)取向关系，惯习面分析;3)

变体选择，相变矩阵;4)界面位错量及分布等。了解样品坐标系的另一个优点是:与工程

更接近，也为晶体学矩阵运算打下基础。一个取向是两个坐标系的转动关系，以一个矩阵

表示；外界应力场、应变场都是通过坐标换算作用在晶体内部；取向差、重位点阵、取向美

系、相变晶体学、形变过程等都是通过矩阵变换完成。矩阵把形变、界面和相变晶体学连

在•起。贝茵应变、不变平面应变及不变线应变、相似变换(把一种坐标系下的应变应力

表达换算到另一坐标系下j、马氏体相变晶体学(取向关系)都对应矩阵变换或运算。

(5)极射投影的重要作用。极射投影与极图是晶体学以及EBSD分析时必熟练掌握的方法。

图2给出除在晶体学领域外，在几何学、地质学、制图学、摄影等方面极射投影的广泛应

用，极射投影法最早用于表示天体位置

(6)背景知识应加强。有关材料科学基础的课程中晶体学部分介绍的较少，太抽象，如：

取向差、取向关系、界面与性能;钢中常见的几种织构的几何联系?一个织构组分取向在极

图上是几个投影点?等效取向的计算;取向的各类表达换算;逆矩阵的换算;取向差、取向关

系及界面晶体学。

（7）现场工程问题中包含的材料学问题。EBSD的各种图像和数据说明它们只是基本晶体

学信息，如果不知道晶体学与材料科学的关系，就可能看不清其作用；以钢铁生产中的问

题为例，工程问题常可简化为如下基础问题：

1）晶粒细化问题（与晶粒取向有关吗?）；

2）冲压行为（冲压性不够导致的冲裂及表面质量问题，橘皮）与晶粒取向的关系；

3）形变是否与取向有关？

4）再结晶是否与取向有关?再结晶时什么取向的基体中形成什么取向的新晶粒？

5）相变与取向是否有关?相变时都是哪种取向关系？

6）析出是否与取向有关?析出如何受形变影响?什么取向的晶粒内析出快？

7）连铸环中的柱状晶可能带来的影响（特别是无后续相变时），指柱状晶的形变；

8）BCC金属中哪些取向形变时稳定或不稳定？

9）宏、微观形变不均匀性问题（特别是热轧时）及对组织、取向的影响。

3做好了不同晶粒间的挛晶关系

我国较早用EBSD技术研究相变晶体学的工作参看文献[5],当时尚未使用取向成像。以下

为作者近期工作的一个例子。具有TRIP（相变诱发塑性）TWIP（季生诱发塑性）效应的高

强高韧高镒钢（含锌15^32酚中除面心立方结构的奥氏体外，还含有六方结构的

马氏体和体心立方结构的£-马氏体，利用EBSD取向成像技术可快速鉴别两种马氏体的相

变特点。图3a,3b分别是含22舟Mn的高镒钢1050c加热后水冷的组织形貌像和取向成像,

图3a中被电子束污染的长方区域是取向成像区。图3b中灰色为奥氏体，红色£-马氏体，

蓝色为马氏体。根据多个取向成像结果可知马氏体主要是细小透镜状（图3a中箔

头所指），类似普碳钢中的高碳马氏体；£-马氏体是粗大长条状;且a-马氏体总是从E

中形成，说明£马氏体是中间过渡产物。图3b中左上角的长条状马氏体是原透镜状

长大吃掉原长条状马氏体后的形状。粉色线是a-马氏体内的相变挛晶界。

图4给出3个相的极图。为方便分析起见，将主要的奥氏体基体取向转到｛111｝极图口心，

这样可直接看出3相之间对应的取向关系是：｛111｝YII｛0002｝£II｛110｝a,

<110>yll<U20>ell<lll>a,见用红、绿环圈出的平行面及方向。从奥氏体的｛111｝极

图（4b）还可看出1,2取向晶粒间存在退火挛晶关系，说明马氏体最容易从奥氏体的挛

晶界上形核，而不是从晶界上形核。此外，2号晶粒内的另2个｛111｝面上也形成了，-马

氏体，见图4c箭头所指。

图5标出图4e,4f中各变体间的挛晶关系。将BCC结构（马氏体中出现的不同相变李晶

变体以不同颜色加以区分，已知从六方结构变为体心结构的Burgers取向关系时最多有6

个变体，从图中可见这6个变体都出现，且它们是3对李晶。挛晶关系的出现一方面说明

是K-S关系，因为N-W关系中的变体间不存在挛晶关系。另一方面说明，3种类型的挛晶

出现更有利于减小相变体积变化产生的应变能，但变体选择倾向小。图5a,5b是挛晶关

系的｛111｝极图和｛110｝极弱。在｛111｝极图中，3对挛晶的共同｛111｝极点不重合(ab,c

d,ef),而｛110｝极图中3对挛晶共同具有同一个(110)极(极图中心处)已知BCC结

构的形变挛晶应是在｛112：面上沿<111>方向，而其转轴(即切面)是所以，图5a

中的3类挛晶界应是3类｛112｝面与样品表面的截线，沿3个不同的<111>方向切动，拥有

1个共同的［110］转轴。3个｛112｝极必在｛110｝极图的圆周上，更确切地说，应在大圆上每

2个｛110｝极点的中心。全部6个变休的出现也说明相变时没有明显的变体选择，而形变的

加入就可能产生变体选择：即只有广2个变体出现。此外，ac之间和de之间是

50°<110>的£11的关系。

进一步工作是计算马氏体相变晶体学中的各类矩阵，相关的文献较多

通过X射线法测出含Fe-18Mn-3Si-2Al的高钵钢的3相的点阵常数可计算3相间的晶向、

晶面匹配度，从而解释为何奥氏体不直接转变为a马氏体X射线法测出3相的点阵营数

是:a

(1)对hepbcc,a

<1120>£II<lll>a晶向匹配计算：

(2)面心向六方结构转变的匹配情况

<110>yII<1120>s晶向匹配计算：

｛111｝YII(0002)e晶面匹配：

(3)面心向体心转变时的不匹配度

<110>yII<lll>a晶向匹配计算：

｛111｝YII｛110｝a晶面匹配：

从计算结果可知，若奥氏体直接转变为体心结构的马氏体，晶向及晶面不匹配度分别为

2.13%和2.16%,若先转变为六方结构的马氏体，则晶向及晶面不匹配度只有0.10席和

0.82乐再由六方结构的马氏体转变为体心结构马氏体的品向及晶面不匹配度为2.03%和

1.35%o过程虽然复杂，但位垒降低。从几何条件就可说明六方马氏体是中间产物的原因。

另一个原因是奥氏体的低层错能产生很多层错，层错本身就是六方结构的(马氏体的核，

所以面心很容易向六方结构转变。

图6给出文献［7］按K-S关系和N-W关系相变时算出的所有可能变体取向的分布，一个奥

氏体按K-S关系可产生24个体心结构变体，按