半导体设备维护工程师岗位招聘考试试卷及答案

半导体设备维护工程师岗位招聘考试试卷及答案一、填空题（共10题，每题1分）1.光刻机中承载晶圆并实现高精度定位的部件是______。2.等离子体刻蚀设备产生等离子体的常用电源是______。3.半导体设备维护中测量微小电压的工具是______。4.晶圆传输系统常用的真空机械手类型是______。5.设备预防性维护（PM）周期通常分为周、月、______三级。6.防止静电损坏晶圆的关键部件是______。7.CVD设备加热晶圆的常见方式有电阻加热和______。8.故障排查“先外部后内部，先电源后负载”属于______原则。9.真空系统检测漏率的常用仪器是______。10.记录每次维护操作的文档是______。答案：1.晶圆台2.射频电源（RF）3.高精度万用表4.真空机械手（EndEffector）5.季度/年6.静电消除器（离子风扇）7.感应加热8.故障排查9.氦质谱检漏仪10.维护日志二、单项选择题（共10题，每题2分）1.以下不属于半导体核心制造设备的是？A.光刻机B.刻蚀机C.洗衣机D.CVD设备答案：C2.ESD防护的无效措施是？A.接地B.离子风扇C.穿防静电服D.直接触摸晶圆答案：D3.反应离子刻蚀（RIE）的主要特点是？A.各向同性B.各向异性C.仅刻蚀金属D.仅刻蚀介质答案：B4.预防性维护的主要目的不包括？A.降低故障频率B.提高生产效率C.延长设备寿命D.增加耗材消耗答案：D5.旋片泵的主要作用是获得？A.高真空B.粗真空C.加热晶圆D.传输晶圆答案：B6.测量机械振动的工具是？A.示波器B.振动分析仪C.万用表D.光谱仪答案：B7.控制气体流量的部件是？A.MFCB.PLCC.CPUD.真空泵答案：A8.常见设备报警“E001”通常代表？A.电源故障B.温度过高C.真空泄漏D.耗材耗尽答案：A9.晶圆清洗液不包括？A.去离子水B.氢氟酸C.酒精D.汽油答案：D10.更换耗材应遵循的原则是？A.先拆后装B.记录参数C.不用清洁D.随意更换答案：B三、多项选择题（共10题，每题2分）1.半导体设备维护安全规范包括？A.LOTO锁存挂牌B.穿PPEC.化学品安全D.高空防护答案：ABCD2.光刻机关键子系统包括？A.光学系统B.晶圆台C.掩模台D.传输系统答案：ABCD3.故障排查常用方法有？A.观察法B.测试法C.替换法D.逻辑分析法答案：ABCD4.真空系统组成部件包括？A.真空泵B.真空计C.阀门D.管路答案：ABCD5.设备维护耗材包括？A.过滤器B.密封圈C.电极片D.晶圆答案：ABC6.等离子体刻蚀影响因素包括？A.气体种类B.压力C.功率D.温度答案：ABCD7.维护文档类型包括？A.维护手册B.故障记录C.校准报告D.培训记录答案：ABCD8.预防性维护内容包括？A.清洁过滤器B.更换密封圈C.校准传感器D.修复故障答案：ABC9.常用传感器类型包括？A.温度传感器B.压力传感器C.流量传感器D.位置传感器答案：ABCD10.维护人员需掌握的技能包括？A.机械维修B.电气调试C.软件操作D.化学分析答案：ABCD四、判断题（共10题，每题2分）1.ESD会损坏晶圆，需严格防护。（√）2.光刻机分辨率仅与光源波长有关。（×）3.分子泵可直接从大气压获得高真空。（×）4.PM需按固定周期执行，无需考虑设备状态。（×）5.CVD气体纯度不影响沉积质量。（×）6.晶圆传输机械手精度影响定位准确性。（√）7.故障排查可直接断电拆卸内部部件。（×）8.各向异性刻蚀适合高深宽比结构。（√）9.更换过滤器后无需校准。（×）10.维护日志仅记录故障维修。（×）五、简答题（共4题，每题5分）1.简述LOTO锁存挂牌的作用及要点。答案：LOTO是防止设备意外启动的安全措施，作用是避免触电、机械伤害。要点：①识别所有电源/气源；②断开并锁上开关；③挂牌标注维护人、时间、内容；④测试确认能源切断；⑤维护后按流程移除锁牌。需严格执行，防止误操作。2.PM与CM的区别是什么？答案：PM是主动维护，按周期清洁、换耗材、校准，预防故障；CM是被动维护，故障后修复。PM降低CM频率，减少停机；CM是应急处理，成本高。两者结合是设备维护核心策略。3.真空系统漏率检测的常用方法及注意事项？答案：常用方法：氦质谱检漏仪（喷氦/吸氦法）、压力衰减法。注意：①检测前抽至合适压力；②喷氦量适中，避免污染；③重点检查密封圈、阀门；④记录漏率，超阈值维修。4.晶圆传输系统常见故障及排查思路？答案：常见故障：定位不准、卡顿、真空泄漏。排查：①定位不准：查机械臂校准、编码器；②卡顿：清洁导轨、润滑、除异物；③泄漏：查密封圈、管路、真空计。步骤：观察→测试信号→替换可疑部件→验证。六、讨论题（共2题，每题5分）1.如何平衡设备维护成本与生产效率？答案：①优化PM周期：按设备数据调整，避免过度维护；②分类维护：关键设备重点维护，非关键简化；③技能培训：提升维护人员效率；④耗材管理：按需采购，减少库存；⑤数据驱动：用CMMS分析故障规律，提前预防。核心是稳定设备前提下，降成本提效率。2.突发故障导致生产线停机，如何应对？答案：①快速响应