项目8 任务8-4 化学品系统材质选用

半导体厂务项目工程管理项目八化学品分类任务8-4化学品系统材质选用任务8-4化学品系统材质选用【相关知识】系统材质及其特性1.不锈钢不锈钢是半导体制造中常用的材料，尤其是316L型不锈钢‌。不锈钢具有高强度和韧性，能够承受高压和机械压力，确保管道系统的安全性和可靠性。同时不锈钢材质表面光滑，不易附着杂质，方便管道的清洗和保养。任务8-4化学品系统材质选用【相关知识】系统材质及其特性2.‌PFA‌PFA（聚四氟乙烯）作为一种高性能的氟聚合物，因其化学兼容性、低吸附性和耐高温性能，在半导体制造过程中被广泛使用。PFA管道适用于高纯度化学品的输送，如蚀刻液、清洗液等；超纯水的输送；高纯气体的输送和真空密封与保护‌。任务8-4化学品系统材质选用【相关知识】系统材质及其特性3.PP‌PP（聚丙烯）‌因其良好的耐化学腐蚀性，同样适用于半导体行业的高纯净管路系统。其耐热性能虽然不如PFA和不锈钢，但在一定温度范围内仍能保持稳定。同时质轻且易加工，便于安装和维护。因此PP管道在某些对耐腐蚀性和耐热性要求不是极高的化学品输送场合，可作为辅助系统使用。在半导体厂的排水系统中PP管道可用于输送废水或雨水等。任务8-4化学品系统材质选用【相关知识】系统材质及其特性4.PVCPVC（聚氯乙烯）对多种化学物质具有良好的耐腐蚀性，包括强酸、强碱、盐类以及多种有机溶剂等。同时PVC具有耐高温性，特别是经过特殊改性的CPVC（氯化聚氯乙烯）管道，其热变形温度通常在110°C到120°C之间。在半导体厂中，PVC管道广泛用于输送各种化学品，如蚀刻液、清洗液、溶剂等，以及用于废水处理系统和超纯水系统中以保证水得到有效处理。PVC管道还可用于半导体厂的辅助设施中，如冷却水系统、气体输送系统等。任务8-4化学品系统材质选用【相关知识】系统材质及其特性材质类型英文缩写聚氯乙烯PVC聚四氟乙烯PFA聚丙烯PP氯化聚乙烯PTFE氯化聚氯乙烯CPVC硬聚氯乙烯UPVC聚乙烯PE聚偏氟乙烯PVDF不锈钢（电解抛光）SUS316L-EP不锈钢（光辉烧钝）SUS316L-BA不锈钢（表面不做任何处理）SUS316L-AP任务8-4化学品系统材质选用【任务实施】化学品系统材质选用1.酸碱化学品对于酸碱化学品系统，系统设计必须要考虑到耐腐蚀的要求。因此对于化学品供应单元、VMB和T-BOX，其外壳通常选用PP或者PVC材质。对于直接储存化学品的储罐，通常选择内衬PFA或者PTFE的SUS304储罐、内衬PFA或者PTFE的碳钢储罐、内衬PFA或PTFE的FRP（纤维强化塑料）储罐。对于化学品桶槽，通常选用内衬PFA或PTFE的PE桶槽、内衬PFA或PTFE的SUS304桶槽。对于输送的管路，一般选用PFA和C-PVC的双套管材质结构。对于控制流量的阀门，一般选用PFA作为外壳，PTFE作为膜片材料。管路的接头可以选择PFA、PTFE或者PVDF材料。任务8-4化学品系统材质选用【任务实施】化学品系统材质选用2.腐蚀性溶剂对于腐蚀性有机溶剂化学品系统，系统设计必须要考虑到耐腐蚀和防爆的要求。对于化学品供应单元、VMB和T-BOX，其外壳通常选用PP或者PVC材质。对于直接储存溶剂的储罐，通常选择内衬PFA或者PTFE的SUS304储罐、内衬PFA或者PTFE的碳钢储罐。对于化学品桶槽，通常选用内衬PFA或PTFE的碳钢桶槽、内衬PFA或PTFE的SUS304桶槽。对于输送的管路，一般选用PFA和SUS304的双套管材质结构。对于控制流量的阀门，一般选用SUS316EP作为外壳，PTFE作为膜片材料。管路的接头一般选择SUS316，确保在腐蚀性化学品供应过程中的稳定和安全。任务8-4化学品系统材质选用【任务实施】化学品系统材质选用3.非腐蚀性溶剂对于非腐蚀性化学品，如有机溶剂，系统设计一般要考虑到防爆的要求。对于化学品供应单元、VMB和T-BOX，其外壳通常选用不锈钢材质即可。对于直接储存溶剂的储罐和桶槽，通常选择SUS316LE