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文档简介

半导体厂务项目工程管理项目六净化室系统的设计与维护任务6-3洁净室环境检测任务6-3洁净室环境检测【空态检测】空态洁净室是指已经建造完成并具备所有相关服务和功能的洁净室，但尚未安装或运行操作人员操作的设备。此时，洁净室处于无人员、无生产活动干扰的初始状态。空气洁净度检测（核心检测）气流组织检测密封性检测表面洁净度检测。。。。任务6-3洁净室环境检测【静态检测】静态洁净室是指功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室，但此时设施内没有操作人员。这种状态下，洁净室已经配备了必要的设备和设施，但尚未开始生产活动。关注空气的物理参数噪声电磁辐射。。。。任务6-3洁净室环境检测【动态检测】动态洁净室是指处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员操作，可以进行正常的生产活动。这是洁净室最真实的运行状态。实时监测各项参数任务6-3洁净室环境检测【防静电检测】在有静电防护要求的洁净室（区）内，为了避免在洁净室运行过程中由于静电的产生影响产品生产或工作人员的正常作业，甚至造成设备、仪器或操作的中断运行和人员伤害，应在洁净室（区）内的防静电设施建造过程和使用过程中进行防静电检测，以确保洁净厂房的防静电设施满足产品生产工艺或使用的需求。通常检测的内容有洁净室（区）的接地系统、地面（地垫）、墙体和顶棚、工作台、台垫、工作椅、物料传递器具、人体静电防护用品、静电消除器等。静电测量主要是静电参数测量（如电压、电量、电流、火花放电能量等）和材料电气特性参数测量（如电阻率、介电常数、电阻、电容、半衰期等）。任务6-3洁净室环境检测【防静电检测】静电测量的特点①静电电流小。在静电带电情况下，物体的带电量和储存的能量通常是很小的，放电电流般在皮安和微安范围内。为避免测量仪表的分流作用造成测量误差，仪表的输入阻抗要高。②静电电压高。一般在数百伏至数万伏范围。为此，测量仪表要满足高电压测量及其分挡的要求。③高绝缘材料容易产生和积累静电。一般在静电测量中涉及的绝缘体电阻可达1018。测量仪表要适应高绝缘测量的要求。测量时，整个测量系统要保持高绝缘性能。④基于上述特点，要求静电测量仪表的灵敏度高。⑤静电测量受各种环境条件影响因素

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