微纳制造工艺服务协议（2025精密加工）

微纳制造工艺服务协议（2025精密加工）本协议由以下双方于______年______月______日在中国______省______市签署：服务方：（以下简称“服务方”）法定代表人：注册地址：统一社会信用代码：联系方式：委托方：（以下简称“委托方”）法定代表人：注册地址：统一社会信用代码：联系方式：鉴于服务方拥有先进的微纳制造设备和技术能力，能够提供精密加工服务；委托方需要利用微纳制造工艺技术制造特定样品或进行相关研发。根据《中华人民共和国民法典》及相关法律法规，双方经友好协商，达成如下协议，以资共同遵守。第一条服务内容与规格1.1服务方根据本协议约定，为委托方提供微纳制造工艺服务，主要包括样品制造、工艺开发与优化、技术咨询等。具体服务项目及内容以双方确认的《服务任务书》或相关书面文件为准。1.2服务方将采用符合行业先进水平的“2025精密加工”技术（以下简称“精密加工技术”）执行本协议项下的服务。精密加工技术的具体细节和参数以双方另行确认的技术文件为准。1.3服务内容的技术规格应符合以下要求：(1)加工精度：特征尺寸不超过______微米，定位精度达到______纳米级别，形貌均匀性偏差小于______%。(2)材料要求：原则上使用______材料制作的晶圆/基板，纯度不低于______%，具体材料型号及规格由委托方在《服务任务书》中明确。(3)设计文件：设计文件应采用______格式提交，符合______行业标准，并包含必要的工艺说明和技术要求。设计文件需经服务方审核确认后方可进行加工。(4)工艺路线：服务方将根据《服务任务书》的要求和实际情况，选择最适宜的精密加工工艺路线进行实施，并在关键工艺节点前与委托方沟通确认。第二条费用、支付与结算2.1本协议项下的服务费用按照以下方式确定：(1)主要服务费用为人民币______元（大写：____________元整），该费用包含服务方提供精密加工服务产生的设备使用、材料（除特殊约定外）、人工及管理成本。(2)如委托方需要额外的特殊材料或第三方提供的辅助服务，相关费用由委托方另行承担，具体金额由双方另行协商确定，并签订补充协议。2.2支付方式：(1)本协议生效后______日内，委托方应向服务方支付总服务费用的______%，即人民币______元（大写：____________元整），作为预付款。(2)样品加工完成并经委托方初步验收合格后______日内，委托方应向服务方支付总服务费用的______%，即人民币______元（大写：____________元整）。(3)项目最终验收合格后______日内，委托方应向服务方支付剩余的______%服务费用，即人民币______元（大写：____________元整）。2.3所有款项均应支付至服务方以下银行账户：开户行：户名：账号：2.4上述费用均以人民币计价和支付。如涉及税费，增值税按国家相关规定收取和抵扣，具体承担方式由双方在《服务任务书》中明确约定。第三条项目周期与交付3.1本协议项下的服务自委托方提交完整有效的《服务任务书》及设计文件，且服务方收到预付款之日起开始计算。3.2服务方预计在收到全部预付款后的______个工作日内完成样品制造或初步工艺开发成果，具体时间安排可根据《服务任务书》中的要求调整。3.3最终交付物为符合本协议第一条约定的技术规格的微纳结构样品______件（或具体描述），以及相关的工艺报告、测试数据（如适用）和设计文件备份各一份。交付方式为：服务方将样品通过快递方式寄送给委托方，运费由______方承担。委托方应在收到交付物后______日内进行验收。第四条验收与测试4.1验收标准：样品的验收标准以本协议第一条及《服务任务书》中约定的技术规格为准。服务方需提供相应的工艺过程记录和测试报告作为验收依据。4.2验收流程：委托方在收到最终交付物后______日内进行验收。如验收合格，委托方应书面通知服务方；如验收不合格，委托方应在上述期限内以书面形式详细说明不合格原因及具体要求，服务方应在收到通知后______日内予以回复和处理。处理完成后，委托方再次进行验收。4.3如委托方在上述验收期限内未提出任何异议，视为样品验收合格。4.4验收过程中产生的测试费用，由______方承担（根据第二条第2.2款约定确定）。第五条知识产权5.1双方在签署本协议前各自拥有的知识产权仍归各自所有。5.2在履行本协议过程中，服务方为完成委托方委托的服务任务而专门产生的新的知识成果（包括但不限于工艺方法改进、特定微纳结构设计、技术文档等），其知识产权归属______方所有。服务方有权在不泄露相关技术秘密的前提下，将该成果用于后续技术改进或学术交流（如适用），但需事先征得委托方同意。5.3委托方提供的设计文件及其在服务过程中产生的衍生设计文件，其知识产权仍归委托方所有。服务方仅为完成委托任务而使用。5.4双方同意，对于本协议项下产生的具有商业价值的知识产权，双方可以协商确定是否共同申请专利及后续的权益分配方式。如无特殊约定，相关费用由______方承担。第六条保密义务6.1任何一方对于在本协议履行过程中获悉的对方的商业秘密、技术信息、客户资料等未公开信息（以下简称“保密信息”）均负有保密义务。6.2未经对方书面同意，任何一方不得向任何第三方泄露保密信息，但法律法规另有规定或监管机构要求的除外。接收保密信息的第三方亦应承担同等保密义务。6.3本保密义务不因本协议的终止而解除，持续有效期限为本协议有效期内及终止后______年。6.4以下信息不属于保密信息：（1）接收方在披露前已合法知悉的信息；（2）接收方从非保密渠道合法获得的信息；（3）接收方独立开发且未使用披露方保密信息的信息；（4）接收方根据法律法规或有权机关要求必须披露的信息。第七条违约责任7.1若服务方未能按时完成服务或交付的样品不符合约定的技术规格，委托方有权要求服务方在合理期限内采取补救措施。若服务方在合理期限内仍未纠正或补救措施无效，委托方有权根据样品的实际价值或损失程度，要求服务方退还部分或全部已支付的服务费用，并有权要求服务方承担相应的违约责任（如支付违约金人民币______元或赔偿实际损失）。7.2若委托方未能按时支付服务费用，每逾期一日，应按逾期支付金额的______%向服务方支付违约金。逾期超过______日的，服务方有权暂停服务或解除本协议，并要求委托方支付全部应付费用及违约金。7.3任何一方违反本协议的保密义务，给对方造成损失的，应赔偿对方的全部损失。7.4因不可抗力导致本协议无法履行或延迟履行，根据不可抗力的影响，部分或全部免除责任，但应及时通知对方并采取措施减少损失。第八条期限、变更与终止8.1本协议自双方授权代表签字并加盖公司公章（或合同专用章）之日起生效，有效期为______年，自______年______月______日至______年______月______日止。如协议到期前双方无书面异议，本协议自动续展______年，续展次数不限（或具体约定续展次数）。8.2任何一方如需变更本协议内容，应提前书面通知对方，经双方协商一致并签署书面补充协议后，补充协议与本协议具有同等法律效力。8.3除本协议另有约定外，任何一方有权在提前______日书面通知对方的情况下单方解除本协议。解除协议后，双方应结清所有费用，返还或按照约定处理各自持有的与协议相关的资料和物品。第九条法律适用与争议解决9.1本协议的订立、效力、解释、履行及争议解决均适用中华人民共和国法律。9.2因本协议引起的或与本协议有关的任何争议，双方应首先通过友好协商解决。协商不成的，任何一方均有权将争议提交______（选择仲裁或诉讼）解决：(1)仲裁：提交______仲裁委员会，按照该会届时有效的仲裁规则进行仲裁。仲裁裁决是终局的，对双方均有约束力。(2)诉讼：向服务方所在地（或委托方所在地，或约定其他法院）有管辖权的人民法院提起诉讼。第十条其他条款10.1本协议构成双方就本协议主题达成的完整协议，取代此前所有口头或书面的协议、谅解、备忘录等。10.2本协议所有通知均应以书面形式，通过专人递送、挂号信、电子邮件或传真等方式发送至本协议首页载明的地址或联系方式。10.3若本协议任何条款被有管辖权的法院认定为无效或不可执行，不影响其他条款的效力。双方应协商替换为内容最接近、合法有效的条款。10.4本协议项下的任何权利或义务均不得由任何一方随意转让给第三方，除非获得另一方事先书