JJF(浙) 1210-2025 激光平直度测量仪校准规范

JJF（浙）1210—2025激光平直度测量仪校准规范CalibrationSpecificationforLaserFlatnessandStraightnessMeasuringSystems2025–07–20发布 2025–10–20实施浙江省市场监督管理局发布JJF（浙）1210-2025JJF（浙）1210-2025JJF（浙）1210—2025激光平直度测量仪校准规范JJF（浙）1210—2025CalibrationSpecificationforLaserFlatnessandStraightnessMeasuringSystems—————————————————————————————归 口单位浙省市监督理局主起草位浙江省质量科学研究院参加起草单位：杭州徕之测量技术有限公司浙江理工大学本规范委托浙江省质量科学研究院负责解释本规程主要起草人：陈宁（浙江省质量科学研究院）王瑛辉（浙江省质量科学研究院）朱进（浙江省质量科学研究院）参加起草人：沈 斌杭州之测技术限公）祖飞（江理大学）郭祥（江省量科研究）卢 歆浙江质量学研院）目 录引言 （Ⅱ）1 范围 .1）2 引用文件 .1）3 概述 （1）计量特性 （1）位移示值误差 （2）位移重复性 （2）倾角示值误差 （2）校准条件 （2）5.1环境条件 ..2）5.2..2）校准项目和校准方法 （2）位移示值误差 .2）位移重复性 （3）倾角示值误差 .4）校准结果 （4）复校时间间隔 .4）附录A 激光平直度度测量仪校准原始记录格式 .5）附录B 激光平直度测量仪校准证书内（内页（7）附录C 位移示值误差校准结果测量不确定度评定示例 （8）附录D 倾角示值误差校准结果测量不确定度评定示例 （11）IJJF（浙）1210-2025JJF（浙）1210-2025引言JJFJJFJJF1059.1-2012JJF1094-2002本规范为首次发布。II激光平直度测量仪校准规范范围本规范适用于基于位置传感器或图像传感器原理且位移分辨力不高于0.1μm的激光平直度测量仪的校准。引用文件本规范引用下列文件：JJF1071-2010国家计量校准规范编写规则最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。概述（通常称作接收靶1所示。计量特性

激光发射器2.接收靶3.操作终端图1激光平直度测量仪结构示意图1位移示值误差位移示值最大允许误差：±（0.001mm+1%H），H：位移量示值。位移重复性位移重复性不超过0.001mm。倾角示值误差倾角示值最大允许误差：±2倍倾角分辨力。注：校准工作不判断合格与否，上述计量特性指标仅供参考。校准条件环境条件1℃/h75%照明条件稳定、无影响示值的空气扰动、振动、电磁干扰等因素。测量标准及其他设备推荐使用表1所列仪器，允许使用其他满足测量不确定度要求的测量标准。表1测量标准及其他设备序号设备名称技术要求1激光干涉仪MPE：±（0.03μm+1.510-6L）2分度头MPEV：20″校准项目和校准方法1h。位移示值误差500mm，调平接收靶。调整测量光路，使激光光轴方向与微位移平台的2l＜0.5mm时，+H、-H方向均匀选取不少于4个测量点进行测量，当测量区间l≥0.5mm时，+H、-H5个测量点进行测量，各点的示值误差li按公2式（1）计算。

lili-ls

（1）式中：li——各测量点的示值误差；li——接收靶第i个测量点的测量值；ls——第i个测量点的标准值；i——测量点序号，1，2，3，4，5……。激光干涉仪2.干涉镜3.参考镜4.反射镜5.接收靶6.微位移平台7.台架8.激光发射器图2水平方向位移示值误差校准示意图将接收靶旋转90°，按上述方法进行竖直方向位移示值误差校准。5m10m竖直方向位移示值误差校准。位移重复性n i(ln i(ll)2i1 n1s=式中：

（2）s——位移重复性，mm；3li——第i次的位移读数值，mm；l——n次位移读数平均值，mm；n——测量次数，n=10。倾角示值误差i i往 s i返 s将接收靶固定在分度头工作台面上，调整分度头，使接收靶的倾角至0°位置，此时分度头上显示的角度值即为起始读数。依此转动分度头至测量点角度值（相对于起始点），读取接收靶倾角示值，往、返方向各测量一次，取两次的测量结果的平均值作为该测量点的示值误差i i往 s i返 s式中：

12

（3）i——各测量点的示值误差；i返——接收靶第i个测量点的往、返向倾角示值；s——分度头对应各测量点的标准值；i——测量点序号，1，2，3，4，5……。16.1、6.226.1、6.2、6.3校准结果经校准的激光平直度测量仪出具校准证书。校准证书至少应包括JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》5.12条款中的信息。校准证书内页格式可参见附录B。复校时间间隔校单位可根据实际使用情况自主决定复校时间间隔。4附录A激光平直度测量仪校准原始记录格式位移示值误差测量点（mm）+H测量点（mm）-H测量值示值误差测量值示值误差测量点（mm）+V测量点（mm）-V测量值示值误差测量值示值误差注：接收靶与激光发射器的距离为：5测量重复性水平方向序号12345测量值（mm）序号678910测量值（mm）s=n（l2ii1n1竖直方向序号12345测量值（mm）序号678910测量值（mm）s=n（l2ii1n1倾角示值误差标准角度值（°）接收靶示值（°）往返示值误差（°）6JJF（浙）1210-2025JJF（浙）1210-2025附录B激光平直度测量仪校准证书（内页）格式位移示值误差测量点（mm）+H测量点（mm）-H测量值示值误差测量值示值误差测量点（mm）+V测量点（mm）-V测量值示值误差测量值示值误差注：接收靶与激光发射器的距离为：位移重复性方向水平方向（mm）竖直方向（mm）位移重复性倾角示值误差（°）测量值往返示值误差7附录C位移示值误差校准结果测量不确定度评定示例概述环境条件：温度：20.2℃1℃/h；相对湿度：55%。示值误差进行测量。测量模型依据本规范进行位移示值误差校准时，其测量模型见公式（C.1）：lili-lsli——各测量点的示值误差；

（C.1）li——接收靶第i个测量点的测量值；ls——第i个测量点的标准值；i——测量点序号，1，2，3，4，5……。标准不确定度分量评定激光干涉仪引入的标准不确定度分量激光干涉仪示值误差最大允许误差为±（0.03μm+1.510-6L），区间半宽为30.03μm+1.510-6L，当微位移平台与激光干涉仪距离为300mm时，按均匀分布取k ，则33u1=3

1.5106L

=0.277μm环境温度变化所引入的标准不确定度分量u21℃10mm3u2=3

℃10.5106/0

=0.061μm8测量重复性所引入的标准不确定度分量u30.1mm10次，得到测量列（0.1006，0.1001,0.1007,0.1008,0.1009,0.1002,0.1005,0.1002,0.1007,0.1005，则实验标准偏差i1i1n(ll)2in1则u3s=0.274μm。接收靶的分辨力所引入的标准不确定度分量u4接收靶的分辨力为0.0001mm，区间半宽为0.00005mm，按均匀分布，取3k ，则3

0.00005mm3u40.00005mm3

=0.029μm小于重复性引入的分量，因此u4舍去。合成标准不确定度uc标准不确定度一览表（见表C.1）表C.1 标准不确定度一览表标准不确定度分量不确定度分量来源不确定度分量的值ciu1激光干涉仪引入的标准不确定度分量0.277μm1u2环境温度变化所引入的标准不确定度分量0.061μm1u3测量重复性所引入的标准不确定度分量0.274μm1由于评定的各输入量相互独立互不相关，故合成标准不确定度uc为：uc

u2u2u2

0.394μm0.2772+0.0610.2772+0.0612+0.27421 2 9取k=2，则扩展不确定度为：U=k×uc=2×0.394μm=0.788μm≈0.8μm10附录D倾角示值误差校准结果测量不确定度评定示例概述环境条件：温度：20.2℃1℃/h；相对湿度：55%。测量模型依据本规范进行位移示值误差校准时，其测量模型见公式（D.1）：iis

（D.1）式中：i——各校准点示值误差；i——第个校准点的示值；s——分度头对应各校准点的转动角；i——测量点序号，1，2，3，4，5……。标准不确定度分量评定光学分度头引入的标准不确定度分量选用的光学分度头的最大允许误差MPEV:20″，区间半宽为10″，按均匀分布，则10″0.0028° °33 0.00233分辨力引入的标准不确定度分量u2由分辨力引入的不确定度分量u3，按均匀分布，则：13u1 0.029132 2测量重复性引入的标准不确定度分量u345°10次,得11则， in in)2i1n1取往、返向示值误差的平均值为该校准点的示值误差，则u3=

s 0.04°22 22 分辨力引入的不确定度分量大于由测量重复性引入的不确定度分量，则u3舍去。合成标准不确定度标准不确定度一览表（见表D.1）表D.1 标准不确定度一览表标准不确定度分量不确定