等离子清洗工艺调试技师（中级）考试试卷及答案

等离子清洗工艺调试技师（中级）考试试卷及答案一、填空题（每题1分，共10分）1.等离子体通常被称为物质的第______态。2.等离子清洗常用惰性气体有氩气、______等。3.等离子设备功率单位符号为______。4.真空度常用单位有Pa和______。5.气体电离产生的活性粒子包括离子、电子和______。6.去除金属氧化物常用活性气体是______。7.真空系统由真空泵、______和真空规组成。8.清洗时间过短会导致______。9.等离子清洗核心作用是除污和______。10.需定期检查______的密封性防止漏气。答案：1.四；2.氦气；3.W；4.Torr；5.自由基；6.氧气；7.真空腔；8.清洗不彻底；9.表面活化；10.真空腔门二、单项选择题（每题2分，共20分）1.适合金属氧化清洗的气体是？A.氩气B.氧气C.氮气D.氦气答案：B2.等离子清洗真空度一般控制在？A.10⁻¹~10⁻²PaB.10¹~10²PaC.10³~10⁴PaD.10⁵~10⁶Pa答案：B3.功率过高会导致？A.清洗不彻底B.表面刻蚀过度C.真空不稳定D.气体消耗少答案：B4.等离子清洗原理不包括？A.物理轰击B.化学反应C.热蒸发D.表面活化答案：C5.清洗后接触角变大的可能原因是？A.功率过高B.时间过长C.气体类型错D.真空过低答案：C6.安全操作要求是？A.运行时开腔门B.湿手操作面板C.确认气压力再启动D.不戴防护镜答案：C7.影响清洗均匀性的因素不包括？A.工件位置B.电极分布C.气体流量D.环境温度答案：D8.塑料清洗常用气体组合是？A.氩气+氧气B.氮气+氦气C.氢气+氩气D.CO₂+氩气答案：A9.真空泵油需更换的主因是？A.变质B.挥发C.混入污染物D.粘度变答案：C10.清洗后工件润湿性会？A.变好B.变差C.不变D.不确定答案：A三、多项选择题（每题2分，共20分）1.等离子清洗应用领域包括？A.电子制造B.半导体封装C.汽车零部件D.塑料处理答案：ABCD2.影响清洗效果的参数有？A.功率B.气压C.时间D.气体种类答案：ABCD3.设备主要组成部分有？A.真空系统B.电源系统C.气体供应D.控制系统答案：ABCD4.安全防护措施包括？A.戴防护镜B.气体泄漏报警C.设备接地D.定期通风答案：ABCD5.常见等离子体类型有？A.辉光放电B.电弧放电C.射频等离子体D.微波等离子体答案：ABCD6.污染物残留原因可能是？A.时间不足B.功率不够C.气体纯度低D.真空不够答案：ABCD7.活化作用表现为？A.引入极性基团B.增加粗糙度C.提高润湿性D.除油脂答案：AC8.真空抽不上去的原因？A.真空泵故障B.腔漏气C.油不足D.流量过大答案：ABC9.适合清洗的材料有？A.金属B.塑料C.陶瓷D.玻璃答案：ABCD10.工艺优化方法有？A.正交试验B.单因素变量法C.响应面法D.经验调整答案：ABCD四、判断题（每题2分，共20分）1.等离子清洗必须在真空下进行。（×）2.功率越大效果越好。（×）3.氧气等离子体除有机污染物。（√）4.时间越长活化越持久。（×）5.运行时可随意调气体流量。（×）6.氩气等离子体用于物理轰击。（√）7.真空越低等离子体密度越大。（×）8.等离子清洗不损伤工件。（×）9.维护时需关电源和气源。（√）10.不同材料需不同参数。（√）五、简答题（每题5分，共20分）1.简述等离子清洗基本原理。答案：利用低压气体电离产生等离子体，含离子、电子、自由基等活性粒子。通过物理轰击（离子剥离表面污染物）和化学反应（自由基与污染物生成挥发性物质）除污；同时活性粒子在表面引入极性基团，提高润湿性和结合力，实现清洗+活化。2.工艺参数选择依据是什么？答案：①工件材料：金属控功率防刻蚀，塑料选氩氧混合气；②污染物类型：有机用氧气，氧化物用氢/氧气，颗粒用氩气；③清洗要求：均匀性需调工件位置，活化需延长时间（避免过度刻蚀）；④设备限制：匹配设备功率、真空范围。3.如何排查清洗不均问题？答案：①检查工件：是否偏离中心、堆叠；②调参数：试调整功率、气压；③查设备：腔是否漏气、电极是否磨损、喷嘴是否堵；④验气体：换高纯气体；⑤重复试验：对比不同位置效果，确认问题解决。4.安全操作要点有哪些？答案：①开机前：查气压力、油位、腔密封性；②佩戴防护：镜、手套；③运行禁：开腔门、摸电极、调高压；④异常：漏气得关气源通风，报警停机；⑤维护后：确认无工具残留再开机；⑥接地：设备可靠接地。六、讨论题（每题5分，共10分）1.如何优化铝制汽车零部件的等离子清洗工艺？答案：①材料：铝表面有油脂+氧化膜；②气体：氩气（物理轰击）+氧气（除氧化膜）=3:1；③参数：真空10-20Pa，功率150W（防刻蚀），时间3min；④夹具：旋转夹具使均匀受轰击；⑤后处理：清洗后立即涂覆（防再污染）；⑥验证：接触角<30°、拉拔力>10MPa，若接触角大则增氧气比例，结合力不足则延长时间至4min。2.清洗后一周内润湿性变差的原因及措施？答案：原因：①表面再污染（暴露空气久