电子净化工程师考试试卷及答案

电子净化工程师考试试卷及答案一、填空题（每题1分，共10分）1.初效过滤器主要去除______μm以上的颗粒物。2.GB50073中A级洁净室≥0.5μm粒子最大浓度为______个/m³。3.电子净化常用的静电消除设备是______。4.洁净室典型温度要求为______℃±2。5.HEPA过滤器针对______μm颗粒物过滤。6.酸性废气常用______吸收法处理。7.洁净室气流组织主要有乱流和______两种。8.静电放电（ESD）对电子元器件的主要危害是______。9.相邻洁净区压差不小于______Pa。10.活性炭过滤器主要去除空气中的______。二、单项选择题（每题2分，共20分）1.属于高效过滤器的是？A.G4B.F8C.H13D.M52.洁净等级最高的是？A.B级B.C级C.D级D.A级3.离子风机的作用是？A.过滤颗粒B.消除静电C.控温D.处理废气4.层流洁净室气流速度通常为？A.0.2-0.5m/sB.0.5-1m/sC.1-2m/sD.2-3m/s5.不属于电子工业废气的是？A.HClB.NH3C.O2D.氟利昂6.洁净室相对湿度典型要求为？A.30-40%B.40-60%C.60-70%D.70-80%7.初效过滤器更换周期一般为？A.1-3个月B.3-6个月C.6-12个月D.12-24个月8.人体接地电阻要求是？A.≤1MΩB.1-10MΩC.10-100MΩD.≥100MΩ9.适合洁净室地面的材料是？A.瓷砖B.地毯C.木质地板D.防静电PVC10.洁净室新风量占比不低于？A.10%B.20%C.30%D.40%三、多项选择题（每题2分，共20分）1.洁净室过滤系统组成包括？A.初效B.中效C.高效D.活性炭2.电子净化需控制的污染物有？A.悬浮粒子B.微生物C.静电D.有害气体3.层流洁净室特点是？A.气流均匀B.自净能力强C.能耗高D.高等级适用4.静电防护措施包括？A.离子风机B.接地C.防静电包装D.湿度控制5.废气处理常用方法有？A.吸收法B.吸附法C.燃烧法D.冷凝法6.压差控制目的是？A.防污染扩散B.减少能耗C.保证气流方向D.控温7.高效过滤器检漏方法有？A.扫描法B.光度计法C.粒子计数器法D.称重法8.电子工业常见有害气体有？A.HClB.NH3C.H2SD.CO29.洁净室气流组织形式包括？A.单向流B.非单向流C.混合流D.乱流10.洁净室维护内容包括？A.过滤器更换B.压差检测C.温湿度校准D.静电测试四、判断题（每题2分，共20分）1.高效过滤器可直接去除有害气体。（）2.洁净等级越高，气流速度越大。（）3.离子风机可完全消除静电。（）4.活性炭过滤器主要去除颗粒物。（）5.洁净区压差应高于非洁净区。（）6.中效过滤器效率比初效高。（）7.ESD仅损坏元器件，不引发火灾。（）8.洁净室新风量越大越好。（）9.层流自净时间比乱流短。（）10.微生物控制是电子净化重要内容。（）五、简答题（每题5分，共20分）1.简述洁净室三级过滤原理。答案：洁净室采用“初效→中效→高效”三级过滤。初效（G级）去除5μm以上大颗粒，保护后续过滤器；中效（F级）去除1-5μm颗粒，进一步净化；高效（H级/ULPA）去除0.3μm及以下微小颗粒，满足洁净要求。三级过滤逐级拦截，避免高效过滤器过早堵塞，延长寿命，保证洁净度。2.电子净化静电防护主要措施有哪些？答案：①接地：设备、人体、包装接地（电阻1-10MΩ）；②离子风机：中和空气静电；③防静电材料：用防静电PVC、服、鞋等；④湿度控制：保持40-60%RH，减少静电产生；⑤定期测试：检测设备、人员静电电位，确保符合要求。3.洁净室压差控制要求及目的？答案：要求：相邻洁净区≥5Pa，洁净区与非洁净区≥10Pa，等级越高压差越大。目的：①防污染扩散：气流从高洁净区流向低洁净区；②保证气流组织：维持合理方向，提升自净能力；③减少交叉污染：隔离不同工序区域。4.电子工业废气处理常用方法及适用范围？答案：①吸收法：碱液吸酸性（HCl）、酸液吸碱性（NH3）；②吸附法：活性炭吸有机废气（VOCs）；③燃烧法：高温烧可燃废气；④冷凝法：回收高浓度废气（有机溶剂）。适用：吸收法适合水溶性/反应性废气，吸附法适合低浓度有机废气，燃烧法适合可燃废气，冷凝法适合高浓度可回收废气。六、讨论题（每题5分，共10分）1.如何平衡洁净室能耗与洁净度？答案：①优化气流组织：选合适层流/乱流，避免过度送风；②合理选过滤器：按需选效率，不盲目用高效；③控制新风量：取≥10%的最小值，减少处理能耗；④压差控制：避免不必要高压差，减少泄漏；⑤定期维护：及时换堵塞过滤器，保持系统高效。通过这些措施，满足洁净度同时降低能耗。2.电子净化中微生物污染控制措施？答案：①空气过滤：高效过滤器拦截附着微生物的颗粒；②消毒灭菌：定期用紫外线、臭氧或化学剂消毒表面/空气；③人员控制：更衣、洗手、戴口罩，避免带入；④设备清洁：定期清洁设备，抑制滋生；⑤湿度控制：≤60%RH，抑制繁殖。同时定期检测微生物浓度，确保达标。答案一、填空题1.52.3523.离子风机4.225.0.36.碱液7.层流8.损坏元器件9.510.异味/有机污染物二、单项选择题1.C2.D3.B4.A5.C6.B7.A8.B9.D10.A三、多项