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文档简介

3《碳化硅长晶用多孔石墨材料》编制说明根据中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟的立项通知的要求，团体标准学，山东大学等单位建立了联合技术开发、产品42025年6月，参加中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟组织召开的立项2025年10月-12月，山东红点新材料有限公司联络并确定标准起草参与单2026年1月，参加中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟组织召开的初审56加工制品应同时符合附录A中单元素纯度要求。GB/T24203炭素材料体积密度、真密度、7根据目前客户提供其使用多孔石墨体密数据及多孔石墨本身理论密度确定取样位置：块材端部和中部各取4cm进行破坏性检测。在4cm检测样块中制取试样条(宽度×厚度×长度：15×15×50mm),每组有进行破坏性检测，针对4cm检测样块按上述标准进行电阻率检测。根据目前供货后客户可以使用的多孔石墨电）；平均孔径：检测报告中中值孔径Medianporediame根据目前客户供货后可以使用的多孔石墨孔隙率和平均孔径数据确定数据8注：测试装置由两块具有气体进口和出口不锈钢板夹具组成，样品放置在两夹具中间，上夹具形成气室，下夹具提供支撑并与大气相通。进气流量通过调节阀控制，气室与大气间的压力差通过微压差计测量，气体的流量由气体流量计(如:质量流量计、皂泡流量计或皮膜流量计)测量。在一定温度、压力下压制成边缘不漏气的样品/夹具组件。压制过程保证样品有效部分不变形、破损。夹具边缘使用硅胶密封圈进9Vpe——样品的透气性，单位为毫升毫米每平方厘米小时毫米汞柱2）；检测工具：辉光放电质谱仪。取样位置：纯产品由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本序号检测类检验项目取样频次技术要求试验方法1产品每件检测外观每件6.12体积密度每件6.23透气率加工制品每件6.64块状坯材批次检测弯折强度1件/批次6.351件/批次6.46孔隙率1件/月6.57平均孔径1件/月6.58孔径分布1件/月6.59透气率1件/批次6.6纯度1件/批次6.73.2.4.4.2.2本批次块状坯材产品性能合格后，可直接块状坯材发货或用于生产加3.2.4.4.3全项检验：所有检验项目均合格，综合判定产品合格；有1项及以上3.2.5.2.2产品防护：产品真空包装后，外部包b）其他需方明确要求的报告或文件。使该材料的采购周期缩短50%以上，与国外产品相比成本降低30%-40%，业的技术升级，促进多孔石墨材料在其他高端制整体下降20%以上（包括

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