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文档简介

US7660686B1,2010.02.09本公开提供了一种监测机台运行状况的方的数量及所述数量阈值，判断是否产生报警信2根据所述产品制备工艺过程中的异常数据点，以机台为单位进行若所述目标异常数据点的数量超过所述数量阈值，则产生报若选择执行预约停止操作，则当所述目标异常根据所述产品制备工艺过程中的异常数据点，以机台为单位进行3行所述可执行指令来执行权利要求1-6任一项45[0026]若选择执行预约停止操作，则当所述目标异常数据点的数量超过所述数量阈值有利于快速确定该异常是否与具体的机台有关。本公开提供的监测机台运行状况的方法，监控数据集中提取出机台对应的机台异常数据点，在直观上将监控数据集中的某些数据6[0057]所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例7[0068]下面结合附图对本公开实施方式提供的监测机台运行状况的各步骤进行详细说[0070]在本公开示例性实施例中，基于统计过程控制系统实时8的数据点，或者是超出上规格限(Upperspecificationlimit，USL)或下规格限(Lower根据实际需求对影响产品质量的产品关键尺寸数据信息或影响过程质量的制备工艺关键过程数据信息进行分析，选择能代表产品质量或过程质量的主要数据信息作为控制对象，9设目标异常数据点对应的数量阈值(SpecCount)为12。在图8中，针对机台ID(ToolID)为据点为OOS，该实施例中OOS是指以产品关键尺寸(CD)为基础的超出上规格限的异常数据则不产生报警信号。在图10所示实施例中，目标异常数据点的数量为3，设定的数量阈值[0105]若选择执行预约停止操作，则当所述目标异常数据点的数量超过所述数量阈值预约停止操作是指机台按照预设的预约停止操作规则停止运行。在本公开一些实施例中，设模块140和判断模块150.[0114]上述监测机台运行状况的装置中各模块的具体细节已经在对应的监测机台运行块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单程序代码用于使终端设备执行本说明书上述描述的示例性实施[0122]可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本公开操作的程序算设备的情形中，远程计算设备可以通过任意种类的网络，包括局域网(LAN)或广域网[0125]下面参照图13来描述根据本公开的这种实施方式的电子设备300。图13显示的电[0128]存储单元320可以包括易失性存储单元形式的可读介质，例如随机存取存储单元[0129]存储单元320还可以包括具有一组(至少一个)程序模块3205的程序/实用工具[0130]总线330可以为表示几类总线结构中的一种或多种，包括存储单元总线或者存储[0131]电子设备300也可以与一个或多个外部设备400(例如键盘、指向设备、蓝牙设备和/或附图中提到或明显的两个或两个以上单独特征的所有可替代组合。所有这些不同的

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