YS-T1727-2024《高纯钛溅射环》

YS/TXXXX—XXXX

高纯钛溅射环

1范围

本文件规定了高纯钛溅射环的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、

运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于电子薄膜制造用的高纯钛溅射环（以下简称“钛环”）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅注日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1031产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T4698.7海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定

GB/T4698.14海绵钛、钛及钛合金化学分析方法碳量的测定

GB/T4698.15海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氢量的测定

GB/T6394金属平均晶粒度测定方法

YS/T891高纯钛化学分析方法痕量元素含量的测定辉光放电质谱法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

溅射环sputteringcoil

溅射沉积设备中的环形装置。

注：该装置在靶材溅射过程中修正参与溅射的分子、原子或离子的运动轨迹，并吸附大颗粒。

3.2

凸台knob/pin

环外侧用来安装固定环体的部分。

注：环与凸台可以通过焊接（如电子束焊等）、机械复合等方式连接。

4分类

4.1产品分类

4.1.1钛环按照化学成分分为2个牌号：4N5-Ti与5N-Ti。

4.1.2钛环通常分为一体型与拼接型两种（分别用A和S表示），如图1所示，或由需方提供图纸。

1

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凸台

环体

环体

凸台

a）A型环b）S型环

图1高纯钛溅射环结构示意图

5技术要求

5.1化学成分

钛环的化学成分应符合表1的规定。需方如对钛环的化学成分有特殊要求时，可由供需双方协商确

定并在订货单中注明。

表1化学成分

牌号4N5-Ti5N-Ti

a

Ti含量，不小于99.99599.999

%

Ag0.20.2

Al5.02.0

B0.10.1

Ca2.01.0

Co1.00.1

Cr5.01.0

Cu2.01.0

Fe15.07.0

K0.10.1

Li0.10.1

Mg1.00.1

杂质含量/10-4%，Mn1.00.3

不大于Mo4.00.5

Na0.20.1

Ni5.00.5

Pb2.00.1

Si5.02.0

Sn2.01.0

Th0.0010.001

U0.0010.001

V1.01.0

W1.00.5

Zn1.00.5

Zr5.01.0

C5040

H1010

气体杂质元素含量/10-4%，不大于N5050

O300250

S1010

aTi含量为100%减去表中所列“杂质总和”的余量（不含气体杂质元素）。

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5.2晶粒尺寸

钛环的晶粒尺寸应符合表2规定，需方如有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单中注明。

表2晶粒尺寸

单位为微米

平均值最大值

≤750≤1000

5.3表面粗糙度

钛环表面粗糙度Ra值应不大于0.8μm。需方有特殊要求时，由供需双方协商确定。

5.4外形尺寸

钛环外形尺寸一般,符合表3的规定。需方有特殊要求时，由供需双方协商确定。

表3外形尺寸

单位为毫米

外径厚度高度

284～2893～550～52

391～3926～776～77

5.5外观质量

钛环表面应清洁光滑，无指痕、油污、锈蚀、颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起

等缺陷。环与凸台一般通过电子束焊接，要求焊接处无气孔、孔洞、缝隙等缺陷。

6试验方法

6.1化学成分的分析方法

6.1.1金属杂质元素的测定按照YS/T891的规定进行，或由供需双方协商确定。

6.1.2化学元素C、N、O、H的分析按照GB/T4698.14、GB/T4698.7、GB/T4698.15的规定执行。元

素S采用红外碳硫分析仪进行检验。

6.2晶粒尺寸检验

钛环的晶粒尺寸检验按照GB/T6394进行观察、评定和确认。

6.3表面粗糙度检验

钛环的表面粗糙度检测通过粗糙度测量仪，按照GB/T1031规定进行测量，或按照供需双方约定的

方法测量。

6.4外形尺寸检验

钛环的外形尺寸采用三坐标测量仪、游标卡尺等进行检验，按照加工图纸标识尺寸进行测量。

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6.5外观质量检验

钛环外观质量采用目视法检验，必要时，用放大镜或显微镜进行检验。

7检验规则

7.1检验和验收

7.1.1产品由供方和第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定，并填写随行文件。

7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件（或订货合同）的规定不

符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需

双方在需方共同进行。

7.2组批

钛环应成批提交验收。每批应由同一原料、同一牌号和同一焊接结构的产品组成。

7.3检验项目、取样规定

7.3.1钛环应进行化学成分、晶粒尺寸、表面粗糙度、外形尺寸、外观质量的检验。

表4检测项目、取样位置及数量

检验项目取样位置取样数量要求的章节号检验的章节号

供方：铸锭端头

化学成分每批取1个样5.16.1

需方：成品

供方：板条边料

晶粒尺寸需方：成品每批取1个样5.26.2

取样位置见7.3.2

表面粗糙度成品逐件5.36.3

外形尺寸成品逐件5.46.4

外观质量成品逐件5.56.5

7.3.2晶粒尺寸的检测样品供需双方的取样位置如图2a)、图2b)所示。

取样位置取样位置

a)供方取样位置b)需方取样位置

图2取样位置示意图

7.4检验结果判定

7.4.1化学成分检验结果不合格时，则判该批产品不合格。

7.4.2晶粒尺寸检验结果合格，判该批产品合格；检验结果不合格时，应从该批产品（包括原受检产品）

中另取双倍数量的试样进行重复试验。重复试验结果全部合格，判该批产品合格。若重复试验结果中仍

有试样不合格，则判整批产品不合格。

7.4.3外形尺寸、表面粗糙度、外观质量检验不合格时，判该件产品不合格。

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8标志、包装、运输、贮存和随行文件

8.1标志

8.1.1应在检验合格的产品上，将公司标志、牌号及生产批号刻在产品指定位置。

8.1.2在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括：

a)供方名称或供方企业标志；

b)产品名称；

c)牌号；

d)订单编号；

e)生产批号；

f)出厂日期；

g)其他。

8.2包装、运输与贮存

8.2.1钛环的清洗、干燥及内包装应在百级洁净室内进行。钛环经过全面清洗，真空干燥后每片单独

真空包装，真空袋封口要平整无贯通，真空袋无真空泄露。

8.2.2外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有防碰撞措施。将质量证明书用塑封袋装好后粘贴

于包装盒上。

8.2.3包装产品应保存于清洁的环境中。

8.2.4运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。

8.3随行文件

每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、出厂日期或包装日期外，还宜包

括：

a）质量证明书：

·检验项目及其结果或检验结论；

·批号；

·检验日期；

·检验员签名或盖章。

b）产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等；

c）其他。

9订货单内容

需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出如下内容：

a)产品名称；

b)本文件编号；

c)牌号；

d)化学成分的特殊要求；

e)外形尺寸要求；

f)晶粒尺寸、表面粗糙度的特殊要求；

g)数量；

h)其他。

5

ICS77.150.50

CCSH64YS

中华人民共和国有色金属行业标准

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高纯钛溅射环

High-puritytitaniumsputteringcoil

（报批稿）

××××-××-××发布××××-××-××实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

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高纯钛溅射环

1范围

本文件规定了高纯钛溅射环的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、

运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于电子薄膜制造用的高纯钛溅射环（以下简称“钛环”）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅注日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1031产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T4698.7海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定

GB/T4698.14海绵钛、钛及钛合金化学分析方法碳量的测定

GB/T4698.15海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氢量的测定

GB/T6394金属平均晶粒度测定方法

YS/T891高纯钛化学分析方法痕量元素含量的测定辉光放电质谱法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

溅射环sputteringcoil

溅射沉积设备中的环形装置。

注：该装置在靶材溅射过程中修正参与溅射的分子、原子或离子的运动轨迹，并吸附大颗粒。

3.2

凸台knob/pin

环外侧用来安装固定环体的部分。

注：环与凸台可以通过焊接（如电子束焊等）、机械复合等方式连接。

4分类

4.1产品分类

4.1.1钛环按照化学成分分为2个牌号：4N5-Ti与5N-Ti。

4.1.2钛环通常分为一体型与拼接型两种（分别用A和S表示），如图1所示，或由需方提供图纸。

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凸台

环体

环体

凸台

a）A型环b）S型环

图1高纯钛溅射环结构示意图

5技术要求

5.1化学成分

钛环的化学成分应符合表1的规定。需方如对钛环的化学成分有特殊要求时，可由供需双方协商确

定并在订货单中注明。

表1化学成分

牌号4N5-Ti5N-Ti

a

Ti含量，不小于99.99599.999

%

Ag0.20.2

Al5.02.0

B0.10.1

Ca2.01.0

Co1.00.1

Cr5.01.0

Cu2.01.0

Fe15.07.0

K0.10.1

Li0.10.1

Mg1.00.1

杂质含量/10-4%，Mn1.00.3

不大于Mo4.00.5

Na0.20.1

Ni5.00.5

Pb2.00.1