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文档简介
22.根据权利要求1所述的化学镀铜液,其特3定剂N_甲基吗啉有效提升镀铜液的稳定性,但是其镀铜液的工作温度为30_50℃下才能达4C0C15烃基中的任二溴化1,1二(3,4二羧基苯亚甲5基苯基)4,4'二氯化联吡啶中的任意一种。6[0042]进一步地,所述聚乙二醇包括但不限于PEG500、PEG600、PEG800、PEG1000、[0043]进一步地,所述聚乙烯吡咯烷酮的数均分子量为5000_150000;优选为8000_78联吡啶替换为2,2'联吡啶;9[0097](3)使用H2SO4和H2O2体系在室温下超声处理2min,目的去除沾附基板上除胶渣后[0098](4)使用有机中和剂(SCC_A03H,广东硕成科技股份有限公司)在50℃下中和处理[0099](5)使用调整剂(SCC_A04H3,广东硕成科技股份有限公司)在50℃下调整处理[0100](6)使用80g/L的过硫酸钠和8wt%的硫酸的混合溶液(两者体积比为1:1)中在室32。[0109]从每个板切割的孔壁中挑选出多个1mm厚的侧面切片,每个基板的切片放在金相[0112]分别将实施例得到的化学镀铜液置于烧杯中,每100mL化学镀铜液加入20mL浓度
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