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金属氮化物薄膜超声波温度传感器及测温本申请公开了金属氮化物薄膜超声波温度率大小)表征温度的变化，以实时反馈出待测温22为1/3_4/1，腔内温度为80_250℃,沉积时间为2h_10h，靶材与3.根据如权利要求2所述测温方法，其特征在于，退火炉温度的上升速率为2℃/min_534400_1000℃。5[0036]测量金属氮化物薄膜超声波温度传感器所激发的超声波(包括但不限于超声信[0046](1)制备金属氮化物薄膜超声波温度传感器：采用射频磁控溅射技术在待测物表[0047](2)将待测物与金属氮化物薄膜超声波温度传感器转移至高温退火炉：设置退火6炉温度上升速率5℃/min为及最高温度900℃;[0051]延迟激发的声波的飞行时间随温度的变化如图3，随着环境温度(即不锈钢片温任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，

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